一种涂胶显影机的故障检测方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种涂胶显影机的故障检测方法和装置。所述方法包括当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成印版到位信号，反馈至控制器；印版移动单元响应于印版到位信号，将印版移动至印版检测单元；在印版检测单元中，温湿度检测组件对印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；以及厚度检测组件对印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；根据温湿度检测结果和厚度检测结果对涂胶显影机的故障情况进行判断。以此方式，可以对涂胶显影机工序执行完成后的印版进行检测，识别出印版的非标情况，从而对涂胶显影机的故障情况及时发现。情况及时发现。情况及时发现。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机的故障检测方法和装置


[0001]本专利技术一般涉及半导体领域，并且更具体地，涉及一种涂胶显影机的故障检测方法和装置。

技术介绍

[0002]涂胶显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。一般由传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统、程序控制系统等部分组成。
[0003]当前，在涂胶显影机工作过程中，不便于对设备故障进行识别和检测，例如当印版涂胶后，无法及时检测涂胶厚度是否达标、干燥是否充分，一旦不达标，则会使影响了后续的显影和清洗工作。

技术实现思路

[0004]根据本专利技术的实施例，提供了一种涂胶显影机的故障检测方案。本方案能够对涂胶显影机工序执行完成后的印版进行检测，识别出印版的非标情况，从而对涂胶显影机的故障情况及时发现。
[0005]在本专利技术的第一方面，提供了一种涂胶显影机的故障检测方法。所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述方法包括：
[0006]当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成印版到位信号，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机故障检测方法，其特征在于，所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述方法包括：当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成印版到位信号，反馈至控制器；并由所述控制器将所述印版到位信号发送至印版移动单元；所述印版移动单元响应于所述印版到位信号，将所述印版移动至印版检测单元；在所述印版检测单元中，温湿度检测组件(6)对所述印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；以及厚度检测组件(7)对所述印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；所述控制器判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内，若是，则所述加热单元无故障；否则所述加热单元存在故障；以及，判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内，若是，则所述出胶单元无故障；否则所述出胶单元存在故障。2.一种涂胶显影机故障检测装置，其特征在于，所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述装置包括控制器、印版移动单元和印版检测单元；所述印版移动单元，用于响应所述印版到位信号，将印版移动至印版检测单元；所述印版到位信号为当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成，并由所述控制器发送至印版移动单元；所述印版检测单元，包括温湿度检测组件(6)和厚度检测组件(7)；其中，所述温湿度检测组件(6)用于对所述印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；所述厚度检测组件(7)用于对所述印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；所述控制器，用于判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内，若是，则所述加热单元无故障；否则所述加热单元存在故障；以及，用于判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内，若是，则所述出胶单元无故障；否则所述出胶单元存在故障。3.根据权利要求2所述的涂胶显影机故障检测装置，其特征在于，所述印版移动单元，包括第一直线模组(2)、第二直线模组(3)、电动伸缩杆(4)和夹料组件(5)；其中，所述第一直线模组(2)和第二直线模组(3)相互连接且垂直设置，使所述第二直线模组(3)在所述第一直线模组(2)上滑动；所述第一直线模组(2)和第二直线模组(3)所在平面为第一平面；所述电动伸缩杆(4)与所述第二直线模组(3)底部连接，能够跟随所述第二直线模组(3)移动；所述电动伸缩杆(4)与所述第二直线模组(3)所在平面为第二平面，且所述第二平面垂直与所述第一平面；所述夹料组件(5)连接于所述电动伸缩杆(4)下部。4.根据权利要求2所述的涂胶显影机故障检测装置，其特征在于，所述印版检测单元中，所述温湿度检测组件(6)设置于所述第一平面下方，且在所述夹料组件(5)的移动范围内，对所述夹料组件(5)夹取的印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；所述厚度检测组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏猛，胡延兵，宋文博，王震，杜莹，
申请(专利权)人：芯达半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：