一种涂胶显影机的故障检测方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种涂胶显影机的故障检测方法和装置。所述方法包括当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成印版到位信号，反馈至控制器；印版移动单元响应于印版到位信号，将印版移动至印版检测单元；在印版检测单元中，温湿度检测组件对印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；以及厚度检测组件对印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；根据温湿度检测结果和厚度检测结果对涂胶显影机的故障情况进行判断。以此方式，可以对涂胶显影机工序执行完成后的印版进行检测，识别出印版的非标情况，从而对涂胶显影机的故障情况及时发现。情况及时发现。情况及时发现。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机的故障检测方法和装置


[0001]本专利技术一般涉及半导体领域，并且更具体地，涉及一种涂胶显影机的故障检测方法和装置。

技术介绍

[0002]涂胶显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。一般由传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统、程序控制系统等部分组成。
[0003]当前，在涂胶显影机工作过程中，不便于对设备故障进行识别和检测，例如当印版涂胶后，无法及时检测涂胶厚度是否达标、干燥是否充分，一旦不达标，则会使影响了后续的显影和清洗工作。

技术实现思路

[0004]根据本专利技术的实施例，提供了一种涂胶显影机的故障检测方案。本方案能够对涂胶显影机工序执行完成后的印版进行检测，识别出印版的非标情况，从而对涂胶显影机的故障情况及时发现。
[0005]在本专利技术的第一方面，提供了一种涂胶显影机的故障检测方法。所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述方法包括：
[0006]当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成印版到位信号，反馈至控制器；并由所述控制器将所述印版到位信号发送至印版移动单元；
[0007]所述印版移动单元响应于所述印版到位信号，将所述印版移动至印版检测单元；
[0008]在所述印版检测单元中，温湿度检测组件对所述印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；以及厚度检测组件对所述印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；
[0009]所述控制器判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内，若是，则所述加热单元无故障；否则所述加热单元存在故障；以及，判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内，若是，则所述出胶单元无故障；否则所述出胶单元存在故障。
[0010]在本专利技术的第二方面，提供了一种涂胶显影机的故障检测装置。所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述装置包括控制器、印版移动单元和印版检测单元；
[0011]所述印版移动单元，用于响应所述印版到位信号，将印版移动至印版检测单元；所述印版到位信号为当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成，并由所述控制器发送至印版移动单元；
[0012]所述印版检测单元，包括温湿度检测组件和厚度检测组件；其中，所述温湿度检测组件用于对所述印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；所述厚度检测组件用于对所述印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；
[0013]所述控制器，用于判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内，若是，则所述加热单元无故障；否则所述加热单元存在故障；
[0014]以及，用于判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内，若是，则所述出胶单元无故障；否则所述出胶单元存在故障。
[0015]进一步地，所述印版移动单元，包括第一直线模组、第二直线模组、电动伸缩杆和夹料组件；其中，所述第一直线模组和第二直线模组相互连接且垂直设置，使所述第二直线模组在所述第一直线模组上滑动；所述第一直线模组和第二直线模组所在平面为第一平面；所述电动伸缩杆与所述第二直线模组底部连接，能够跟随所述第二直线模组移动；所述电动伸缩杆与所述第二直线模组所在平面为第二平面，且所述第二平面垂直与所述第一平面；所述夹料组件连接于所述电动伸缩杆下部。
[0016]进一步地，所述印版检测单元中，所述温湿度检测组件设置于所述第一平面下方，且在所述夹料组件的移动范围内，对所述夹料组件夹取的印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；
[0017]所述厚度检测组件设置于所述第一平面下方，且在所述夹料组件的移动范围内，对所述夹料组件夹取的印版进行厚度检测，得到厚度检测结果。
[0018]进一步地，所述夹料组件包括夹具壳，所述电动伸缩杆的活塞杆底部末端固定连接有夹具壳，所述电动伸缩杆的两侧底部均固定连接有限位块，所述夹具壳的顶部两端均固定连接有滑杆，两个所述滑杆分别与两个限位块滑动连接，所述夹具壳的一侧固定安装有马达，所述夹具壳的内部转动连接有双向丝杆，所述马达的输出轴延伸至夹具壳内且与双向丝杆同轴连接，所述双向丝杆的外侧对称螺纹连接有滑块，所述滑块与夹具壳的内部滑动连接，所述夹具壳的底部还对称设有夹板，所述夹板的顶部延伸至夹具壳的内部且与滑块的底部固定连接。
[0019]进一步地，所述夹板为弧形结构，且两个所述夹板相靠近一侧底部均设有凸缘。
[0020]进一步地，所述温湿度检测组件包括第一放置座，用于承载所述印版；所述第一放置座的顶部中部安装有温湿度传感器；所述温湿度传感器连接所述控制器，用于获取印版的温湿度检测结果，反馈至所述控制器。
[0021]进一步地，所述厚度检测组件包括第二放置座和侧板，所述第二放置座用于承载所述印版；所述侧板的一侧固定安装有旋转气缸，所述旋转气缸的输出轴延伸至所述侧板的另一侧且固定连接有转杆，所述转杆的上端且靠近所述第二放置座的一侧通过万向球头连接有压盘，所述转杆上设置厚度检测传感器，所述厚度检测传感器连接所述控制器，用于获取所述压盘处于压紧状态时的高度，转换为印版的厚度检测结果，反馈至所述控制器。
[0022]进一步地，所述转杆的转动轴位置高于所述第二放置座的顶面，带动所述压盘到达压紧状态时，所述压盘位于所述第二放置座的正上方。
[0023]进一步地，所述第一放置座和第二放置座在放置印版状态下，顶面均被印版完全覆盖；
[0024]所述第一放置座和第二放置座的顶面均贴有离型纸。
[0025]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本专利技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0026]结合附图并参考以下详细说明，本专利技术各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：
[0027]图1示出了根据本专利技术的实施例的涂胶显影机故障检测方法的流程图；
[0028]图2示出了根据本专利技术的实施例的涂胶显影机故障检测装置的原理示意图；
[0029]图3示出了根据本专利技术的实施例的涂胶显影机故障检测装置的结构示意图；
[0030]图4是图3中的A处放大图；
[0031]图5是根据本专利技术的实施例的涂胶显影机故障检测装置的夹料组件的结构示意图；
[0032]图6是根据本专利技术的实施例的涂胶显影机故障检测装置的温湿度检测组件的结构示意图；
[0033]图7是根据本专利技术的实施例的涂胶显影机故障检测装置的厚度检测组件的结构示意图；
[0034]图8是图7的B处放大图；
[0035]其中，1、机箱；2、第一直线模组；3、第二直线模组；4、电动伸缩杆；5、夹料组件；51、夹具壳；52、限位块；53、滑杆；54、马达；55、双向丝杆；56、滑块；57、夹板；6、温湿度检测组件；61、第一底板；62、第一放置座；63、温湿度传感器；7、厚度检测组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机故障检测方法，其特征在于，所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述方法包括：当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成印版到位信号，反馈至控制器；并由所述控制器将所述印版到位信号发送至印版移动单元；所述印版移动单元响应于所述印版到位信号，将所述印版移动至印版检测单元；在所述印版检测单元中，温湿度检测组件(6)对所述印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；以及厚度检测组件(7)对所述印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；所述控制器判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内，若是，则所述加热单元无故障；否则所述加热单元存在故障；以及，判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内，若是，则所述出胶单元无故障；否则所述出胶单元存在故障。2.一种涂胶显影机故障检测装置，其特征在于，所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元；所述装置包括控制器、印版移动单元和印版检测单元；所述印版移动单元，用于响应所述印版到位信号，将印版移动至印版检测单元；所述印版到位信号为当印版处于第一位置时，触发位置传感器生成，并由所述控制器发送至印版移动单元；所述印版检测单元，包括温湿度检测组件(6)和厚度检测组件(7)；其中，所述温湿度检测组件(6)用于对所述印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；所述厚度检测组件(7)用于对所述印版进行厚度检测，得到厚度检测结果；所述控制器，用于判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内，若是，则所述加热单元无故障；否则所述加热单元存在故障；以及，用于判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内，若是，则所述出胶单元无故障；否则所述出胶单元存在故障。3.根据权利要求2所述的涂胶显影机故障检测装置，其特征在于，所述印版移动单元，包括第一直线模组(2)、第二直线模组(3)、电动伸缩杆(4)和夹料组件(5)；其中，所述第一直线模组(2)和第二直线模组(3)相互连接且垂直设置，使所述第二直线模组(3)在所述第一直线模组(2)上滑动；所述第一直线模组(2)和第二直线模组(3)所在平面为第一平面；所述电动伸缩杆(4)与所述第二直线模组(3)底部连接，能够跟随所述第二直线模组(3)移动；所述电动伸缩杆(4)与所述第二直线模组(3)所在平面为第二平面，且所述第二平面垂直与所述第一平面；所述夹料组件(5)连接于所述电动伸缩杆(4)下部。4.根据权利要求2所述的涂胶显影机故障检测装置，其特征在于，所述印版检测单元中，所述温湿度检测组件(6)设置于所述第一平面下方，且在所述夹料组件(5)的移动范围内，对所述夹料组件(5)夹取的印版进行温度检测和湿度检测，得到温湿度检测结果；所述厚度检测组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏猛，胡延兵，宋文博，王震，杜莹，
申请(专利权)人：芯达半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：