一种蓄能装置制造方法及图纸

本技术提供了一种蓄能装置，包括：气缸主体，所述气缸主体内设有蓄能腔，所述蓄能腔用于气体填充；活塞主体，所述活塞主体设于所述气缸主体一侧，所述活塞主体用于连通腐蚀性物质；调节机构，所述调节机构用于调节蓄能腔腔体尺寸；所述调节机构包括调节主体，所述调节主体与所述气缸主体另一侧连接，所述气缸主体内还包括气缸轴；所述气缸轴设置于所述蓄能腔内，所述气缸轴一侧为长轴、另一侧为短轴，所述气缸轴上设有挡块，所述挡块与所述气缸主体内壁紧密相抵。本技术通过通入腐蚀性物质，带动活塞杆与气缸轴轴向移动，进而增大、减小蓄能腔内的气体压力，从而达到蓄能、释放的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术的实施例一般涉及液压气动系统领域，并且更具体地，涉及一种应用于腐蚀性管路中的蓄能装置。

技术介绍

1、目前，随着在半导体制成的多样化设备中很多清洗刻蚀显影等设备的工艺很复杂，在半导体清洗剥离工艺中会应用一些具有腐蚀性化学品经过加压装置如高压泵，喷洒在晶圆表面，为保证工艺稳定性，维持管路中压力恒定，管路中常常设置有蓄能器进行压力补偿。

2、现有技术中存在的问题：首先，化学品中经常会含有一些具有腐蚀性的化学品，在蓄能器长期使用中，会对蓄能器造成腐蚀。其次现有的蓄能器常常采用弹性的气囊充斥气体，然后在使用中，弹性气囊材料多数不具备耐腐蚀性，在使用过程中会发生气囊损坏，降低其使用寿命，针对现有技术中，为了维持管路中的压力恒定，避免腐蚀性化学品腐蚀损坏蓄能器，造成其内弹性气囊损坏，造成工艺缺陷，使晶圆良率降低，影响后续晶圆性能，并影响正常使用，提高晶圆检查成本与蓄能器维修成本。

技术实现思路

1、根据本技术的实施例，提供了一种蓄能装置，解决了为了维持管路中的压力恒定，避免腐蚀性化学品腐蚀损坏蓄能器，造本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蓄能装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蓄能装置，其特征在于，所述调节机构还包括：

3.根据权利要求1所述的蓄能装置，其特征在于，所述活塞杆(21)受力端一侧上依次设有垫片(22)，活塞(23)和锁紧螺母(24)；

4.根据权利要求1所述的蓄能装置，其特征在于，所述活塞主体(2)还包括排气通道(25)；

【技术特征摘要】

1.一种蓄能装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蓄能装置，其特征在于，所述调节机构还包括：

3.根据权利要求1所述的蓄能装置，其特征在于，所述活...

【专利技术属性】
技术研发人员：王阳，魏猛，张佳男，
申请(专利权)人：芯达半导体设备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：