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本技术提供了一种蓄能装置，包括：气缸主体，所述气缸主体内设有蓄能腔，所述蓄能腔用于气体填充；活塞主体，所述活塞主体设于所述气缸主体一侧，所述活塞主体用于连通腐蚀性物质；调节机构，所述调节机构用于调节蓄能腔腔体尺寸；所述调节机构包括调节主体，...
该专利属于芯达半导体设备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯达半导体设备（苏州）有限公司授权不得商用。

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