一种校正VCSEL测试设备的方法技术

本发明专利技术涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种校正VCSEL测试设备的方法，包括以下步骤，S1、制作校准样品，将相同产品芯片固晶到PCB板上；S2、待校准设备测试，将校准样品放到待校准的测试设备载台上，对校准样品进行LIV测试，并记录测量结果A；S3、标准测量设备安装；S4、标准测量设备测试，用功率计和探头在与S2步骤中相同的测试条件下，测量校准样品，并记录测量结果S；S5、计算校准系数；S6、用校准系数乘以待校准设备的补偿系数，得到待校准设备校准后的补偿系数。其目的是：用来解决在研发创新多种不同类型芯片时，对测试设备进行补偿校正的问题，节约了生产成本，且能够高效的对测试设备进行补偿校正。进行补偿校正。进行补偿校正。

【技术实现步骤摘要】
一种校正VCSEL测试设备的方法


[0001]本专利技术涉及芯片测试
，尤其涉及一种校正VCSEL测试设备的方法。

技术介绍

[0002]随着半导体VCSEL不断研发和实验生产中，有很多不同类型的VCSEL(Vertical
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Cavity Surface
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Emitting Laser，简称VCSEL，又译垂直共振腔面射型激光)。每种类型的VCSEL由于性能不同对测试设备的数据补偿也不同。每种不同类型的VCSEL都需对测试设备进行补偿值校正，从而达到测试数据准确无误。
[0003]现在常见校正方法是购买标准校正芯片放入测试设备测试然后进行校正，但随着芯片产品类型不断的研发与创新，每研发一种类型的芯片都需从新购买相对应的标准校正芯片进行设备校正。某些新型研发创新的产品可能无法购买到标准校正芯片对设备进行校正，并且对于主要进行研发和创新的公司，购买很多不同的标准校正芯片会产生很多不必要的费用。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种校正VCSEL测试设备的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种校正VCSEL测试设备的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、制作校准样品，将相同产品芯片固晶到PCB板上；S2、待校准设备测试，将校准样品放到待校准的测试设备载台上，对校准样品进行LIV测试，并记录测量结果A；S3、标准测量设备安装，将功率计的探头安装到磁力底座，并调节探头高度与测试设备相同，将探头中心对准待测样品，再将功率探头连接到功率计；S4、标准测量设备测试，用功率计和探头在与S2步骤中相同的测试条件下，测量校准样品，并记录测量结果S；S5、计算校准系数，校准系数＝测量结果S/测量结果A，以功率计测试结果为基准，校正测试设备补偿值；S6、用校准系数乘以待校准设备的补偿系数，得...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘奇，平登宏，谢翔，孙肖亭，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：