一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及超声清洗装置技术领域，尤其是一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，包括超声清洗箱，所述超声清洗箱内转动连接有轴线水平设置的圆盘支架，所述超声清洗箱外安装有带动圆盘支架缓慢转动的旋转电机，所述旋转电机连接有控制其进行反复正、反转及持续正转或者持续反转的控制开关，所述圆盘支架上安装有若干个悬挂杆，至少部分所述悬挂杆位于液位以上。本装置工作时不需要停机，整个过程连续不断，并且工人方便进行检查。并且工人方便进行检查。并且工人方便进行检查。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置


[0001]本技术涉及超声清洗装置
，尤其涉及一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置。

技术介绍

[0002]不锈钢部件应用于制造IC(集成电路)的干刻中的工艺腔体中，干刻工艺是将特定气体置于低压状态下施以电压，将其激发成plasma，对特定膜层加以化学刻蚀和等离子轰击，达到去膜的一种去膜刻蚀方式。
[0003]刻蚀后的膜层残留会附着在不锈钢部件表面，过后的沉积层会影响工艺的正常使用，故需进行清洗维护，一般清洗时需要经过多重清洗步骤：高压冲洗、酸洗、水洗、高压冲洗、超声清洗、检测、烘干等步骤。
[0004]超声清洗时，一般是将不锈钢部件放入超声清洗箱内，然后超声清洗3
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5分钟，然后再将清洗后的零部件取出，需要来回停机操作，并且操作步骤较为繁琐，检查清洗是否合格不方便。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决
技术介绍
中指出的问题，而提出的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，包括超声清洗箱，所述超声清洗箱内转动连接有轴线水平设置的圆盘支架，所述超声清洗箱外安装有带动圆盘支架转动的旋转电机，所述旋转电机连接有控制其进行反复正、反转及持续正转或者持续反转的控制开关，所述圆盘支架上安装有若干个悬挂杆，至少部分所述悬挂杆位于液位以上。
[0008]所述圆盘支架的转速0.2r/min
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1r/min。
[0009]所述圆盘支架轴线位置固接有支撑轴，所述支撑轴与所述超声清洗箱转动连接，所述超声清洗箱外壁固定安装所述旋转电机，所述旋转电机通过减速变速箱与所述支撑轴传动连接。
[0010]所述悬挂杆轴线与圆盘支架的轴线平行设置且悬挂杆贯穿圆盘支架，所述悬挂杆位于圆盘支架两侧对称悬挂待清洗部件。
[0011]所述悬挂杆上沿其长度方向设有若干个环形限位槽，所述待清洗部件悬挂在悬挂杆上且限位在环形限位槽内。
[0012]所述悬挂杆包括第一挂杆、第二挂杆，所述第一挂杆的环形限位槽及第二挂杆的环形限位槽分别位于圆盘支架两侧，所述第一挂杆一端开设有插孔，所述第二挂杆一端设有用于插入插孔的插杆，所述第一挂杆具有插孔的一端贯穿圆盘支架。
[0013]所述第一挂杆具有插孔的一端外圆周开设有环形卡槽，所述圆盘支架安装有玻珠螺丝，所述第一挂杆插入圆盘支架后，所述玻珠螺丝的珠体卡入所述环形卡槽内。
[0014]本技术提出的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，有益效果在于：本装置工作时不需要停机，整个过程连续不断，效率高，并且工人方便进行检查。
附图说明
[0015]图1为本技术的圆盘支架立体结构示意图；
[0016]图2为本技术的圆盘支架与超声清洗箱结构示意图；
[0017]图3为本技术的悬挂杆结构示意图。
[0018]图中：支撑轴1、圆盘支架2、环形限位槽3、悬挂杆4、玻珠螺丝5、超声清洗箱6、第一挂杆7、第二挂杆8、插孔9、环形卡槽10、插杆11。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
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3，一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，包括超声清洗箱6，超声清洗箱6内转动连接有轴线水平设置的圆盘支架2，超声清洗箱6外安装有带动圆盘支架2转动的旋转电机，旋转电机连接有控制其进行反复正、反转及持续正转或者持续反转的控制开关，圆盘支架2上安装有若干个悬挂杆4，至少部分悬挂杆4位于液位以上。
[0021]参考图2，将环状待清洗的不锈钢部件悬挂在悬挂杆4上，启动超声波清洗器，控制旋转电机使所有的不锈钢部件浸入液体中，通过旋转电机使整个圆盘支架2反复进行顺时针转动和逆时针转动，即使圆盘支架2进行左右旋转摇摆运动，该工作期间所有的不锈钢部件均位于液位以下，工作一段时间后，使部分不锈钢部件运动至液位以上，人员检查是否超声合格，不合格继续进行正反转运动，如果检查合格，使圆盘支架2持续正转或者持续反转，期间将露出液位以上的不锈钢部件取下，并放上新的待清洗的不锈钢部件即可，本装置工作时不需要停机，整个过程连续不断，并且工人方便进行检查。
[0022]其中，圆盘支架2的转速0.2r/min
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1r/min，作为一种优选方式，在每两个不锈钢部件之间悬挂一个亚克力板，将产品隔开，防止产品相互碰撞损坏。
[0023]作为一种实施方式，圆盘支架2轴线位置固接有支撑轴1，支撑轴1与超声清洗箱6转动连接，超声清洗箱6外壁固定安装旋转电机，旋转电机通过减速变速箱与支撑轴1传动连接，在减速变速箱作用下通过旋转电机带动支撑轴1慢速转动，使圆盘支架2在超声清洗箱6内转动。
[0024]悬挂杆4轴线与圆盘支架2的轴线平行设置且悬挂杆4贯穿圆盘支架2，悬挂杆4位于圆盘支架2两侧对称悬挂待清洗部件，将环状待清洗的不锈钢部件对称悬挂在圆盘支架2的两侧，尽量保证圆盘支架2两侧受力均匀。
[0025]参考图1，为了避免同一个悬挂杆4上的多个待清洗部件相互挤靠在一起，悬挂杆4上沿其长度方向设有若干个环形限位槽3，待清洗部件悬挂在悬挂杆4上且限位在环形限位槽3内。
[0026]由于本装置采用不停机操作，为了提高取出不锈钢部件的速度以及悬挂不锈钢部件的速度，参考图3，悬挂杆4包括第一挂杆7、第二挂杆8，第一挂杆7的环形限位槽3及第二
挂杆8的环形限位槽3分别位于圆盘支架2两侧，第一挂杆7一端开设有插孔9，第二挂杆8一端设有用于插入插孔9的插杆11，第一挂杆7具有插孔9的一端贯穿圆盘支架2。本装置悬挂杆4为两段式结构，取下清洗好的不锈钢部件时，直接将第二挂杆8从第一挂杆7拔出，然后将第一挂杆7从圆盘支架2拔出即可，同样，将待清洗的不锈钢部件提前悬挂在第一挂杆7、第二挂杆8上，然后将第一挂杆7插入圆盘支架2、将第二挂杆8插入第一挂杆7，快速的完成待清洗的不锈钢部件悬挂。
[0027]为了提高悬挂杆4与圆盘支架2安装的稳定性，第一挂杆7具有插孔9的一端外圆周开设有环形卡槽10，圆盘支架2安装有玻珠螺丝5，第一挂杆7插入圆盘支架2后，玻珠螺丝5的珠体卡入环形卡槽10内，插入第一挂杆7后，通过玻珠螺丝5的圆珠对第一挂杆7与圆盘支架2之间进行限位，然后将第二挂杆8插入第一挂杆7即可。
[0028]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变而得到的技术方案、构思、设计，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，包括超声清洗箱(6)，其特征在于，所述超声清洗箱(6)内转动连接有轴线水平设置的圆盘支架(2)，所述超声清洗箱(6)外安装有带动圆盘支架(2)转动的旋转电机，所述旋转电机连接有控制其进行反复正、反转及持续正转或者持续反转的控制开关，所述圆盘支架(2)上安装有若干个悬挂杆(4)，至少部分所述悬挂杆(4)位于液位以上。2.根据权利要求1所述的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，其特征在于，所述圆盘支架(2)的转速0.2r/min
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1r/min。3.根据权利要求1所述的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，其特征在于，所述圆盘支架(2)轴线位置固接有支撑轴(1)，所述支撑轴(1)与所述超声清洗箱(6)转动连接，所述超声清洗箱(6)外壁固定安装所述旋转电机，所述旋转电机通过减速变速箱与所述支撑轴(1)传动连接。4.根据权利要求1所述的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件超声清洗装置，其特征在于，所述悬挂杆(4)轴线与圆盘支架(2)的轴线平行设置且悬挂杆(4)贯穿圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：许杰，王益宝，刘军红，
申请(专利权)人：合肥升滕半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：