本实用新型专利技术公开了用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀腔体压载盘及安装在刻蚀腔体压载盘上用于刻蚀腔体压载盘固定螺丝，还包括多个防护套筒，各个所述防护套筒分别位于各个螺丝的上方，各个所述防护套筒上开设有安装孔及操作腔，所述安装孔与操作腔之间相通设置，各个所述防护套筒上设置有用于与螺丝限位固定的固定组件。本实用新型专利技术的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，刻蚀机刻蚀腔体内部压载盘在使用的过程中，将各个防护套筒分别套设在各个螺丝上并通过固定组件进行限位，通过各个防护套筒的隔热防护作用，避免刻蚀腔体压载盘上的螺丝由于加速离子轰击及高温的环境发生晃动甚至脱落。动甚至脱落。动甚至脱落。
【技术实现步骤摘要】
用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置
[0001]本技术涉及刻蚀机
，具体为用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置。
技术介绍
[0002]刻蚀是半导体行业内常用的一种技术，其刻蚀的可靠性和均匀性一直是业界对工艺良率、对产品的质量有着重要影响，同时刻蚀工艺对环境及机台本身的要求也不断提高。
[0003]半导体刻蚀机在使用的过程中，将晶圆放置在刻蚀腔体内部的压载盘上，而压载盘通过螺丝安装在刻蚀腔体的内部，但是由于刻蚀腔体内部加速离子轰击及高温的环境易造成螺丝发生晃动甚至脱落，不便于刻蚀腔体内部压载盘上晶圆的稳定刻蚀操作。
[0004]因此亟需用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的由于刻蚀腔体内部加速离子轰击及高温的环境易造成螺丝发生晃动甚至脱落，不便于刻蚀腔体内部压载盘上晶圆的稳定刻蚀操作的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀腔体压载盘及安装在刻蚀腔体压载盘上用于刻蚀腔体压载盘固定螺丝，还包括多个防护套筒，各个所述防护套筒分别位于各个螺丝的上方，各个所述防护套筒上开设有安装孔及操作腔，所述安装孔与操作腔之间相通设置，各个所述防护套筒上设置有用于与螺丝限位固定的固定组件。
[0007]所述防护套筒由陶瓷材料制成。
[0008]所述固定组件包括开设在操作腔与安装孔之间的多个滑动槽，所述滑动槽与操作腔及安装孔相通设置，各个所述滑动槽上滑动连接有推动板，所述操作腔的内部设置有用于推动板运动导向的导向组件，各个所述推动板相对的一端固定有弧形夹持板，所述操作腔的内部设置有用于各个推动板驱动的驱动组件。
[0009]各个所述弧形夹持板相对的一侧设置有防滑凸起。
[0010]所述导向组件包括开设在操作腔内壁上的T型滑槽，所述T型滑槽上滑动连接有T型滑块，所述T型滑块与推动板相固定。
[0011]所述驱动组件包括转动连接在操作腔内部的环形板，所述环形板靠向各个推动板的一侧设置有螺旋条，所述螺旋条上滑动连接有多个传动块，各个所述传动块分别与各个推动板相固定，所述防护套筒上设置有用于环形板转动的转动组件。
[0012]所述转动组件包括转动连接在防护套筒上的驱动杆，所述驱动杆位于操作腔内部的一端固定有蜗杆，所述驱动杆的另一端固定有转动销，所述环形板上固定有蜗轮，所述蜗杆与蜗轮之间相互啮合设置，所述环形板上设置有用于蜗杆稳定转动的支撑组件。
[0013]所述支撑组件包括固定在环形板上的固定板，所述固定板上转动连接有转动杆，所述转动杆的一端与蜗杆的一端相固定。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]本技术的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，刻蚀机刻蚀腔体内部压载盘在使用的过程中，将各个防护套筒分别套设在各个螺丝上并通过固定组件进行限位，通过各个防护套筒的隔热防护作用，避免刻蚀腔体压载盘上的螺丝由于加速离子轰击及高温的环境发生晃动甚至脱落。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体外形结构示意图；
[0017]图2为本技术的防护套筒内部结构示意图；
[0018]图3为本技术的固定组件内部结构示意图；
[0019]图4为本技术的驱动组件结构示意图。
[0020]图中：1、刻蚀腔体压载盘；2、螺丝；301、防护套筒；302、安装孔；303、操作腔；401、滑动槽；402、推动板；403、弧形夹持板；501、T型滑槽；502、T型滑块；601、环形板；602、螺旋条；603、传动块；701、蜗轮；702、驱动杆；703、蜗杆；704、转动销；801、固定板；802、转动杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀腔体压载盘1及安装在刻蚀腔体压载盘1上用于刻蚀腔体压载盘1固定螺丝2，还包括多个防护套筒301，各个防护套筒301分别位于各个螺丝2的上方，各个防护套筒301上开设有安装孔302及操作腔303，安装孔302与操作腔303之间相通设置，各个防护套筒301上设置有用于与螺丝2限位固定的固定组件，刻蚀机刻蚀腔体内部压载盘在使用的过程中，将各个防护套筒301分别套设在各个螺丝2上并通过固定组件进行限位，通过各个防护套筒301的隔热防护作用，避免刻蚀腔体压载盘1上的螺丝2由于加速离子轰击及高温的环境发生晃动甚至脱落。
[0023]防护套筒301由陶瓷材料制成，过陶瓷材料的防护套筒301提高对螺丝2的防护效果，使刻蚀腔体压载盘1保持稳定的操作使用。
[0024]固定组件包括开设在操作腔303与安装孔302之间的多个滑动槽401，滑动槽401与操作腔303及安装孔302相通设置，各个滑动槽401上滑动连接有推动板402，操作腔303的内部设置有用于推动板402运动导向的导向组件，各个推动板402相对的一端固定有弧形夹持板403，操作腔303的内部设置有用于各个推动板402驱动的驱动组件，整个固定过程操作简单、实施便捷，通过各个弧形夹持板403受力后的相互靠近运动，便于防护套筒301与不同外径尺寸的螺丝2进行安装固定，进一步的更加便于对刻蚀腔内部的螺丝2进行防护。
[0025]各个弧形夹持板403相对的一侧设置有防滑凸起，通过防滑凸起，增加摩擦力，便于防护套筒301更加稳定的与螺丝2相固定。
[0026]导向组件包括开设在操作腔303内壁上的T型滑槽501，T型滑槽501上滑动连接有T
型滑块502，T型滑块502与推动板402相固定，通过T型滑槽501及T型滑块502，对推动板402的运动进行导向。
[0027]驱动组件包括转动连接在操作腔303内部的环形板601，环形板601靠向各个推动板402的一侧设置有螺旋条602，螺旋条602上滑动连接有多个传动块603，各个传动块603分别与各个推动板402相固定，防护套筒301上设置有用于环形板601转动的转动组件，在环形板601转动的过程中，通过环形板601上螺旋条602与各个传动块603之间的相互啮合传动及T型滑槽501与T型滑块502对推动板402的导向作用，便于驱动各个推动板402进行相互靠近或是相互远离运动。
[0028]转动组件包括转动连接在防护套筒301上的驱动杆702，驱动杆702位于操作腔303内部的一端固定有蜗杆703，驱动杆702的另一端固定有转动销704，环形板601上固定有蜗轮701，蜗杆7本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括：刻蚀腔体压载盘(1)及安装在刻蚀腔体压载盘(1)上用于刻蚀腔体压载盘(1)固定的螺丝(2)，其特征在于，还包括：多个防护套筒(301)，各个所述防护套筒(301)分别位于各个螺丝(2)的上方，各个所述防护套筒(301)上开设有安装孔(302)及操作腔(303)，所述安装孔(302)与操作腔(303)之间相通设置，各个所述防护套筒(301)上设置有用于与螺丝(2)限位固定的固定组件。2.根据权利要求1所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述防护套筒(301)由陶瓷材料制成。3.根据权利要求1所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述固定组件包括开设在操作腔(303)与安装孔(302)之间的多个滑动槽(401)，所述滑动槽(401)与操作腔(303)及安装孔(302)相通设置，各个所述滑动槽(401)上滑动连接有推动板(402)，所述操作腔(303)的内部设置有用于推动板(402)运动导向的导向组件，各个所述推动板(402)相对的一端固定有弧形夹持板(403)，所述操作腔(303)的内部设置有用于各个推动板(402)驱动的驱动组件。4.根据权利要求3所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：各个所述弧形夹持板(403)相对的一侧设置有防滑凸起。5.根据权利要求3所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述导向组...
【专利技术属性】
技术研发人员：李国强，
申请(专利权)人：河源市艾佛光通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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