本发明专利技术涉及一种非金属膜厚仪保护装置及应用方法，非金属膜厚仪保护装置包括壳体和光照组件，壳体用于罩设在膜厚仪上，壳体内形成有保护腔，保护腔用于容置膜厚仪上的晶圆，壳体上开设有与保护腔相连通的取放口；光照组件设置在保护腔的内壁上，光照组件用于朝向取放口的方向照射晶圆。将非金属膜厚仪保护装置罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔内。壳体能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时光照组件能够朝向取放口的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。对晶圆的检测效率。对晶圆的检测效率。
【技术实现步骤摘要】
一种非金属膜厚仪保护装置及应用方法
[0001]本专利技术涉及精密仪器设备
，特别是涉及一种非金属膜厚仪保护装5置及应用方法。
技术介绍
[0002]在测量的晶圆或镜面上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜
[0003]的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射。这时薄膜0表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。在膜厚仪工作过程中，传送单元整体暴露在外面，极易发生工作人员碰撞箱体导致晶圆碎裂，或者碰撞机器导致损坏，造成不必要的经济损失。而在膜厚仪上设置防护壳不便于工作人员在试验时对晶圆进行观察。
5
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对上述膜厚仪暴露在外面极易损坏，设置防护壳不便观察的问题，提供一种非金属膜厚仪保护装置及应用方法。
[0005]一种非金属膜厚仪保护装置，包括壳体和光照组件，所述壳体用于罩设在膜厚仪上，所述壳体内形成有保护腔，所述保护腔用于容置所述膜厚仪上的晶0圆，所述壳体上开设有与所述保护腔相连通的取放口；所述光照组件设置在所述保护腔的内壁上，所述光照组件用于向朝向所述取放口的方向照射所述晶圆。
[0006]在一个实施例中，所述光照组件包括光照件和连接件，所述连接件的一端部连接在所述保护腔的内壁上，所述光照件设置在所述连接件的另一端上，所述光照件能够通过所述连接件相对于所述保护腔的内壁转动。
[0007]在一个实施例中，所述连接件包括连接部和安装部，所述光照件能够转动地安装在所述安装部上，所述连接部连接在所述保护腔的内壁上，所述安装部能够移动地连接在所述连接部上。
[0008]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括第一驱动件，所述第一驱动件安装在所述安装部上，所述光照件与所述第一驱动件传动连接，所述第一驱动件用于驱动所述光照件相对所述安装部转动。
[0009]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括第二驱动件，所述第二驱动件安装在所述连接部或所述安装部上，所述第二驱动件用于驱动所述安装部相对所述连接部移动。
[0010]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括控制件和识别件，所述识别件安装在所述保护腔的内壁上，并与所述控制件电性连接，所述第一驱动件和所述第二驱动件均与所述控制件电性连接，所述识别件用于识别所述晶圆并生成控制信息，所述识别件向所述控制件传递所述控制信息，所述控制件用于通过所述控制信息控制所述第一驱动件和所述第二驱动件调节所述光照件的位置使光照件能够照射所述晶圆。
[0011]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括门体，所述门体能够移动地盖设在所述取放口上。
[0012]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括第三驱动件，所述第三驱动件设置在所述壳体或所述门体上，所述第三驱动件能够驱动所述门体相对所述壳体移动。
[0013]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括监测件，所述监测件设置在所述壳体或所述门体上，并与所述控制件电性连接，所述第三驱动件和所述控制件电性连接，所述监测件用于监测人体，并生成开关信息，所述监测件向所述控制件传递所述开关信息，所述控制件通过所述开关信息控制所述第三驱动件调节所述门体盖设在所述取放口上。
[0014]在一个实施例中，所述非金属膜厚仪保护装置还包括消除组件，所述消除组件设置在所述保护腔内，所述消除组件用于消除所述保护腔内的杂质和静电；所述消除组件为离子风扇，所述离子风扇安装在所述保护腔朝向所述膜厚仪的一侧内壁上，所述离子风扇的气流朝向所述膜厚仪流动。
[0015]一种非金属膜厚仪保护装置的应用方法，所述应用方法包括如上所述的非金属厚膜仪保护装置，所述方法包括以下步骤：
[0016]将晶圆放入保护腔内；
[0017]识别所述晶圆并生成控制信息；
[0018]根据所述控制信息控制所述光照件调节位置，使所述光照件照射所述晶圆。
[0019]上述非金属膜厚仪保护装置及应用方法，将非金属膜厚仪保护装置罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔内。壳体能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时，设置取放口便于工作人员取放晶圆。而光照组件能够朝向取放口的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。提高了非金属膜厚仪保护装置的实用性和可靠性。
附图说明
[0020]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为一实施例中的非金属膜厚仪保护装置的结构示意图；
[0023]图2为图1实施例中的非金属膜厚仪保护装置另一视角的结构示意图；
[0024]图3为图1实施例中的非金属膜厚仪保护装置的侧视图。
[0025]图中各元件标记如下：
[0026]10、非金属膜厚仪保护装置；100、壳体；110、保护腔；120、取放口；200、光照组件；210、光照件；220、连接件；300、消除组件。
具体实施方式
[0027]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0028]参阅图1和图3，一实施例中的非金属膜厚仪保护装置10，包括壳体100和光照组件200，所述壳体100用于罩设在膜厚仪上，所述壳体100内形成有保护腔110，所述保护腔110用于容置所述膜厚仪上的晶圆，所述壳体100上开设有与所述保护腔110相连通的取放口120；所述光照组件200设置在所述保护腔110的内壁上，所述光照组件200用于朝向所述取放口120的方向照射所述晶圆。
[0029]将非金属膜厚仪保护装置10罩设在膜厚仪上，使膜厚仪上的晶圆位于保护腔110内。壳体100能够对膜厚仪上的晶圆进行保护，避免工作人员碰撞导致晶圆碎裂。同时，设置取放口120便于工作人员取放晶圆。而光照组件200能够朝向取放口120的方向照射晶圆，便于工作人员在取放晶圆时，能够更加方便地观测到晶圆状态，对晶圆进行初步的目检工作，而不用将晶圆取出后再单独转移至其他地方进行目检。进一步提高了对晶圆的检测效率。提高了非金属膜厚仪保护装置10的实用性和可靠性。
[0030]在一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，所述非金属膜厚仪保护装置包括：壳体，所述壳体用于罩设在膜厚仪上，所述壳体内形成有保护腔，所述保护腔用于容置所述膜厚仪上的晶圆，所述壳体上开设有与所述保护腔相连通的取放口；及光照组件，所述光照组件设置在所述保护腔的内壁上，所述光照组件用于向朝向所述取放口的方向照射所述晶圆。2.根据权利要求1所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，所述光照组件包括光照件和连接件，所述连接件的一端部连接在所述保护腔的内壁上，所述光照件设置在所述连接件的另一端上，所述光照件能够通过所述连接件相对于所述保护腔的内壁转动。3.根据权利要求2所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，所述连接件包括连接部和安装部，所述光照件能够转动地安装在所述安装部上，所述连接部连接在所述保护腔的内壁上，所述安装部能够移动地连接在所述连接部上。4.根据权利要求3所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括第一驱动件，所述第一驱动件安装在所述安装部上，所述光照件与所述第一驱动件传动连接，所述第一驱动件用于驱动所述光照件相对所述安装部转动。5.根据权利要求4所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括第二驱动件，所述第二驱动件安装在所述连接部或所述安装部上，所述第二驱动件用于驱动所述安装部相对所述连接部移动。6.根据权利要求5所述的非金属膜厚仪保护装置，其特征在于，还包括控制件和识别件，所述识别件安装在所述保护腔的内壁上，并与所述控制件电性连接，所述第一驱动件和所述第二驱动件均与所述控制件电性连接，所述识别...
【专利技术属性】
技术研发人员：李国强，
申请(专利权)人：河源市艾佛光通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。