一种晶圆干燥清洗设备制造技术

本申请涉及一种晶圆清洗干燥设备，由槽体、盖体、水气供给系统和晶圆升降机构，通过滚轮、连杆及导向块的作用，实现了晶圆篮支撑座和晶圆支撑座的共同升降和晶圆支撑座的单独升降，导向块上的第一导向面、第二导向面、第三导向面和第四导向面四段导向面使得滚轮滑动更顺畅，使整体运行更加平稳。使整体运行更加平稳。使整体运行更加平稳。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆干燥清洗设备


[0001]本申请属于晶圆清洗设备
，尤其是涉及一种晶圆干燥清洗设备。

技术介绍

[0002]中国专利文献CN213242515U公开了一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与凸轮连杆组、平台联动锁定单元连接，并通过平台联动锁定单元实现开锁分离，载具运动平台设于晶圆组运动平台之上，且在凸轮连杆组的带动下作上下运动，并将晶圆载具内的晶圆组顶出晶圆载具上方，以进入晶圆组导向单元内，晶圆组夹持单元对分离出的晶圆组进行轴向定位；该文献中的反应槽内晶圆组分离装置能够使载具与晶圆分离，晶圆进入顶部进行干燥，干燥完毕后再回到载具中以方便转移。然而，上述反应槽内晶圆组分离装置具有如下缺点：
[0003]1，文中记载使用凸轮机构导致运行不够稳定；
[0004]2，驱动滑块运动的螺杆位于侧面，导致晶圆篮支撑座两侧受力不同；
[0005]3，导向块有直线加弧形构成，在运动过程中尤其是直线向弧形过渡的过程容易出现晃动。

技术实现思路

[0006]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种运行更加稳定的晶圆干燥清洗设备。
[0007]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0008]一种晶圆清洗干燥设备，包括：
[0009]槽体；
[0010]盖体，设置在槽体上方，能够在平移机构带动下到达或者离开所述槽体的开口处，所述盖体内壁上设置有晶圆导向槽；
[0011]水气供给系统，用于向槽体通入清洗用水或者干燥用气体；
[0012]晶圆升降机构，用于承载晶圆篮并将晶圆带入槽体内，在干燥时，将晶圆顶入所述盖体内；
[0013]所述晶圆升降机构包括：
[0014]立柱，竖直设置在底座上；
[0015]动力组件，包括电机，设置于所述立柱上的螺杆；
[0016]滑轨，设置在立柱上，所述滑轨上滑动地设置有第一滑块和第二滑块，第一滑块设置在螺杆；
[0017]连杆，包括：第一连杆和第二连杆，第一连杆和第二连杆的连接处具有滚轮，第一连杆与第一滑块转动连接，第二连杆与第二滑块转动连接；
[0018]导向块，设置在立柱一侧，具有导向面并与滚轮配合，所述滚轮在导向面上移动，所述导向面从下至上包括第一导向面、第二导向面、第三导向面和第四导向面，第一导向面为竖直面，第二导向面、第三导向面为倾斜面，第四导向面为椭圆弧面，第三导向面的倾角大于第二导向面；
[0019]晶圆篮支撑座，通过第一连接杆与第二滑块连接；
[0020]晶圆支撑座，通过第二连接杆与第一滑块连接。
[0021]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述盖体呈半圆形。
[0022]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述滑轨为平行设置两条，所述螺杆设置在两条滑轨之间。
[0023]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述螺杆向远离导向块的位置偏离两条滑轨的中间线。
[0024]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述电机的输出轴朝下设置，与螺杆底部联动设置。
[0025]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述电机的输出轴上设置有第一皮带轮，螺杆底部设置有第二皮带轮，第一皮带轮与第二皮带轮通过皮带连接。
[0026]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述导向块的顶部还设置顶部限位块，用于防止滚轮超过第四导向面。
[0027]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述晶圆篮支撑座与晶圆支撑座分别通过Z形的连接杆与第二滑块和第一滑块连接，晶圆篮支撑座的连接杆为两根，晶圆支撑座的连接杆位于晶圆篮支撑座的连接杆之间。
[0028]优选地，本专利技术的晶圆清洗干燥设备，所述晶圆支撑座上设置有顶块，顶块上成型有容纳晶圆的凹槽。
[0029]本专利技术的有益效果是：
[0030]1，第一导向面、第二导向面、第三导向面和第四导向面四段导向面使得滚轮滑动更顺畅，使整体运行更加平稳。
[0031]2，螺杆设置在两条滑轨之间，提高空间利用率的同时使得第一滑块和第二滑块整体受力更加平衡，使运行更加平稳，更进一步设置螺杆向远离导向块的位置偏离，起到平衡导向块与滚轮作用力的作用。
附图说明
[0032]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0033]图1是本申请实施例的晶圆干燥设备的立体图；
[0034]图2是本申请实施例的晶圆升降机构的立体图；
[0035]图3是本申请实施例的晶圆升降机构的侧视图；
[0036]图4是本申请实施例的连杆机构的结构示意图；
[0037]图5是本申请实施例的晶圆升降机构中第一滑块运动到最高点时的立体图；
[0038]图中的附图标记为：
[0039]1 立柱；
[0040]2 动力组件；
[0041]9 底座；
[0042]11 滑轨；
[0043]12 导向块；
[0044]13 连杆；
[0045]20 电机；
[0046]21 螺杆；
[0047]25 晶圆篮支撑座；
[0048]26 晶圆支撑座；
[0049]111 第一滑块；
[0050]112 第二滑块
[0051]121 第一导向面；
[0052]122 第二导向面；
[0053]123 第三导向面；
[0054]124 第四导向面；
[0055]125 顶部限位块；
[0056]131 第一连杆；
[0057]132 第二连杆；
[0058]133 滚轮；
[0059]221 第一皮带轮；
[0060]222 第二皮带轮；
[0061]231 第一连接杆；
[0062]232 第二连接杆；
[0063]100 槽体；
[0064]200 盖体；
[0065]300 水气供给系统；
[0066]400 晶圆升降机构。
具体实施方式
[0067]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0068]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗干燥设备，其特征在于，包括：槽体(100)；盖体(200)，设置在槽体(100)上方，能够在平移机构带动下到达或者离开所述槽体(100)的开口处，所述盖体(200)内壁上设置有晶圆导向槽；水气供给系统(300)，用于向槽体(100)通入清洗用水或者干燥用气体；晶圆升降机构(400)，用于承载晶圆篮并将晶圆带入槽体(100)内，在干燥时，将晶圆顶入所述盖体(200)内；所述晶圆升降机构(400)包括：立柱(1)，竖直设置在底座(9)上；动力组件(2)，包括电机(20)，设置于所述立柱(1)上的螺杆(21)；滑轨(11)，设置在立柱(1)上，所述滑轨(11)上滑动地设置有第一滑块(111)和第二滑块(112)，第一滑块(111)设置在螺杆(21)；连杆(13)，包括：第一连杆(131)和第二连杆(132)，第一连杆(131)和第二连杆(132)的连接处具有滚轮(133)，第一连杆(131)与第一滑块(111)转动连接，第二连杆(132)与第二滑块(112)转动连接；导向块(12)，设置在立柱(1)一侧，具有导向面并与滚轮(133)配合，所述滚轮(133)在导向面上移动，所述导向面从下至上包括第一导向面(121)、第二导向面(122)、第三导向面(123)和第四导向面(124)，第一导向面(121)为竖直面，第二导向面(122)、第三导向面(123)为倾斜面，第四导向面(124)为椭圆弧面，第三导向面(123)的倾角大于第二导向面(122)；晶圆篮支撑座(25)，通过第一连接杆(231)与第二滑块(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，段彬彬，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：