用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置制造方法及图纸

技术编号:35434629 阅读:15 留言:0更新日期:2022-11-03 11:41
用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置,包括炉体,炉体内设置有加热装置,炉体上端通过轴承转动连接有第一电动推杆,第一电动推杆输出端通过轴承转动连接有支撑板,支撑板底端中心处固定连接有衔接杆,两个衔接杆之间转动连接有转动块,转动块底端固定连接有支撑杆,支撑杆底侧设置有转动杆,转动杆底端通过轴承转动连接有第一坩埚,支撑板底端一侧固定连接有固定座,固定座底侧设置有第一齿轮,利用转动块上的驱动电机带动转动块转动,能够带动转动杆实现水平上的移动,且利用第一坩埚及内部溶液的重力,保持垂直状态,能够在便于清理的同时,能够便于调节,且同时利用第一齿轮及第二齿轮的啮合,能够使得第一坩埚呈转动状态,能够便于均匀加热。于均匀加热。于均匀加热。

【技术实现步骤摘要】
用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体涉及用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种用于惰性气体环境中给多晶硅等多晶材料融化,并用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]现阶段用于单晶炉内的石英坩埚在炼化材料后需要利用导杆对石英坩埚进行升降,但现有结构通常在竖直方向上调节较难,同时无法倾转,导致清理比较困难。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题:现阶段用于单晶炉内的石英坩埚在炼化材料后需要利用导杆对石英坩埚进行升降,但现有结构通常在竖直方向上调节较难,同时无法倾转,导致清理比较困难的问题,因此提出用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置。
[0005]本技术解决技术问题采用的技术方案是:用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置,包括炉体,所述炉体内设置有加热装置,所述炉体上端通过轴承转动连接有第一电动推杆,所述第一电动推杆输出端通过轴承转动连接有支撑板,所述支撑板底端中心处固定连接有衔接杆,两个衔接杆之间转动连接有转动块,所述转动块底端固定连接有支撑杆,所述支撑杆底侧设置有转动杆,所述转动杆底端通过轴承转动连接有第一坩埚。
[0006]作为本技术的一种优选的技术方案,所述支撑板底端一侧固定连接有固定座,所述固定座底侧设置有第一齿轮,便于驱动第一齿轮转动。
[0007]作为本技术的一种优选的技术方案,所述第一齿轮啮合有第二齿轮,所述第二齿轮通过轴承转动连接有支撑杆,能够便于衔接转动杆。
[0008]作为本技术的一种优选的技术方案,所述第二齿轮底端一侧固定连接有第二电动推杆,所述第二电动推杆的底端固定连接有压板,能够使得第一坩埚倾斜。
[0009]作为本技术的一种优选的技术方案,所述压板底端固定连接有斜杆,所述斜杆底侧固定连接有衔接块能够使得第一坩埚偏移。
[0010]作为本技术的一种优选的技术方案,所述斜杆上固定连接有角度调节器,所述角度调节器有调节铰链构成,能够便于调节倾转角度。
[0011]作为本技术的一种优选的技术方案,所述转动块与固定座上均固定连接有驱动电机,能够驱动转动块转动。
[0012]本技术具有以下优点:利用转动块上的驱动电机带动转动块转动,能够带动转动杆实现水平上的移动,且利用第一坩埚及内部溶液的重力,保持垂直状态,能够在便于清理的同时,能够便于调节,且同时利用第一齿轮及第二齿轮的啮合,能够使得第一坩埚呈转动状态,能够便于均匀加热。
附图说明
[0013]图1是本技术一优选实施例的用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置的俯视结构示意图;
[0014]图2是本技术一优选实施例的用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置的底框三维立体结构示意图;
[0015]图3是本技术一优选实施例的用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置的盖板三维结构示意图。
[0016]附图标记说明:1、炉体;2、加热装置;3、第一电动推杆;4、支撑板;5、衔接杆;6、转动块;7、支撑杆;8、转动杆;9、第一坩埚;10、固定座;11、第一齿轮;12、第二齿轮;13、第二电动推杆;14、压板;15、斜杆;16、衔接块。
具体实施方式
[0017]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0018]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0020]请结合参阅图1

3所示的用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置,包括炉体1,炉体1内设置有加热装置2,能够对第一坩埚9进行加热,炉体1上端通过轴承转动连接有第一电动推杆3,第一电动推杆 3输出端通过轴承转动连接有支撑板4,支撑板4底端中心处固定连接有衔接杆5,利用衔接杆5能够对转动块6进行支撑,同时能够便于驱动电机进行驱动,从而能够通过转动杆8进行转动,两个衔接杆 5之间转动连接有转动块6,转动块6底端固定连接有支撑杆7,通过支撑杆7能够连接第二齿轮12,便于驱动电机的驱动,支撑杆7 底侧设置有转动杆8,转动杆8底端通过轴承转动连接有第一坩埚9,能够通过转动块6带动支撑杆7及转动杆8转动,从而能够实现第一坩埚9水平上的移动,且能够贴合炉体1边缘,便于清理。
[0021]其中,第一齿轮11位于固定座10的底侧,固定座10固定连接在支撑板4底端一侧,驱动电机能够驱动第一齿轮11转动。
[0022]其中,支撑杆7通过轴承转动连接第二齿轮12,第二齿轮12与第一齿轮11啮合,能够通过齿轮见的啮合结构进行传动,并带动转动杆8转动,从而能够使得第一坩埚9转动,提升加热的均匀性。
[0023]其中,压板14固定连接在第二电动推杆13的底端,第二电动推杆13固定连接在第二齿轮12底端一侧,正常情况下,第二电动推杆 13处于收缩状态,能够远离加热区,同时在
第一坩埚9移至炉体1 边缘时使得第一坩埚9倾斜,实现取料便捷。
[0024]其中,衔接块16固定连接在斜杆15底侧,斜杆15固定连接在压板14底端,能够使第一坩埚9倾斜。
[0025]其中,调节铰链构成角度调节器,角度调节器固定连接在斜杆 15上,能够便于调节倾转角度。
[0026]其中,驱动电机分别固定连接转动块6与固定座10,能够提供驱动。
[0027]具体的,在加热过程中,可以驱动固定座10下的驱动电机带动第一坩埚9转动,能够实现均匀加热,第一坩埚9在炉体1内加热完成后,第一电动推杆3伸展,能够带动支撑板4上移,从而同步带动衔接杆5及固定座10上移,转动转动块6能够带动支撑杆7抓的弄,从而能够是哦转动杆8同步转动,由于第一坩埚9内设置有溶液,能够在上移的过程中保持垂直,并利用第二电动推杆13的移动挤压第一坩埚9,从而能够推动第一坩埚9倾斜,从而能够便于取料。
[0028]以上仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对本
的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
[00本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置,包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有加热装置(2),所述炉体(1)上端通过轴承转动连接有第一电动推杆(3),其特征在于,所述第一电动推杆(3)输出端通过轴承转动连接有支撑板(4),所述支撑板(4)底端中心处固定连接有衔接杆(5),两个衔接杆(5)之间转动连接有转动块(6),所述转动块(6)底端固定连接有支撑杆(7),所述支撑杆(7)底侧设置有转动杆(8),所述转动杆(8)底端通过轴承转动连接有第一坩埚(9)。2.如权利要求1所述的用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置,其特征在于,所述支撑板(4)底端一侧固定连接有固定座(10),所述固定座(10)底侧设置有第一齿轮(11)。3.如权利要求2所述的用于单晶炉石英坩埚的导杆升降装置,其特征在于,所述第一齿轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹国兴杭文伟曹军
申请(专利权)人:江苏新合益机械有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1