一种改进型石墨埚托制造技术

技术编号:35116143 阅读:19 留言:0更新日期:2022-10-01 17:48
本实用新型专利技术公开了一种改进型石墨埚托,涉及单晶炉技术领域,包括坩埚本体和埚托本体,坩埚本体的底部固定设有安装环,安装环的两侧均固定设有限位块,埚托本体的中部开设有与坩埚本体的底部相匹配的凹槽,埚托本体的顶端固定设有限位板,限位板的中部开设有与两个限位块滑动连接的限位槽,埚托本体的底端固定设有安装盘,安装盘的底端设有安装组件,本实用新型专利技术的有益效果是:通过设置的限位块与限位槽的滑动配合便于对坩埚本体的位置进行限位,并且通过设置的安装槽便于将限位块安装在限位槽的内部,便于坩埚本体的拆装,使坩埚本体不易上下移位。上下移位。上下移位。

【技术实现步骤摘要】
一种改进型石墨埚托


[0001]本技术涉及一种埚托,特别涉及一种改进型石墨埚托,属于单晶炉


技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。多晶体硅料经加热熔化,待硅料全熔化完全后,经过籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤,完成一根单晶棒的拉制;埚托作为直拉单晶炉中重要的组成部分,主要用来支撑石墨坩埚;
[0003]其中申请号为“201921977854.X”的
“ꢀ
一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托”也是日益成熟的技术,其“包括埚托本体,所述埚托本体上方连接石英坩埚,所述埚托本体下方连接托杆,所述埚托本体下部设置有凹槽,所述托杆的上端插入所述凹槽内,所述托杆带动所述埚托本体转动,通过内嵌式的连接方式有效的降低了埚托的厚度,在厚度减薄的基础上,有效的增加了埚托在转动情况下的稳定性,进而增加了坩埚的下限位距离,进而可以增加投料量,来提高大尺寸单晶的产出”,但是在实际使用时存在以下缺陷:
[0004]1)不便于对坩埚的位置进行限位,坩埚的位置容易发生移动;
[0005]2)不便于对埚托的位置进行限定。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种改进型石墨埚托,以解决上述
技术介绍
中提出的不便于对坩埚的位置进行限位的问题。
[0007]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种改进型石墨埚托,包括坩埚本体和埚托本体,所述坩埚本体的底部固定设有安装环,所述安装环的两侧均固定设有限位块,所述埚托本体的中部开设有与坩埚本体的底部相匹配的凹槽,所述埚托本体的顶端固定设有限位板,所述限位板的中部开设有与两个限位块滑动连接的限位槽,所述埚托本体的底端固定设有安装盘,所述安装盘的底端设有安装组件。
[0008]优选的,所述安装组件包括三个转动座、三个连接板、三个连接架和三个安装座,三个所述转动座分别固定设置在所述安装盘的底端,三个所述转动座的底部均开设有转动孔,三个所述连接板的一端均固定设有连接螺杆,三个所述连接螺杆分别与三个转动孔穿插连接,三个所述连接螺杆的两端均螺纹连接有固定螺母,三个所述连接板均通过调节结构分别与三个连接架滑动连接,三个所述连接架的一端均固定设有连接轴,三个所述安装座顶端的的中部均固定设有转动块,三个所述转动块分别与三个连接轴转动连接。
[0009]优选的,三个所述安装座的四个边角均开设有安装孔。
[0010]优选的,三个所述调节结构均包括调节螺杆和调节槽,三个所述调节螺杆分别固定设置在三个所述连接板的另一端,三个所述调节槽分别开设在三个所述连接架的中部,三个所述调节槽分别与三个调节螺杆滑动连接,三个所述调节螺杆的两端均螺纹连接有锁紧螺母。
[0011]优选的,所述埚托本体的中部开设有转动槽,所述坩埚本体底端的中部固定设有转动柱。
[0012]优选的,所述限位板顶端的两侧均开设有与两个限位块相对应的安装槽。
[0013]优选的,所述安装盘通过四个固定螺栓与所述埚托本体的底端固定连接。
[0014]与相关技术相比较,本技术提供的一种改进型石墨埚托具有如下有益效果:
[0015]1、通过设置的限位块与限位槽的滑动配合便于对坩埚本体的位置进行限位,并且通过设置的安装槽便于将限位块安装在限位槽的内部,便于坩埚本体的拆装,使坩埚本体不易上下移位;
[0016]2、通过设置的安装组件便于对埚托本体的位置进行固定,连接板的角度以及安装座的角度便于调整,并且再通过连接板与连接架之间的滑动配合,便于安装在不同的位置。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图;
[0018]图2为本技术的底部结构示意图;
[0019]图3为本技术图2的A处放大结构示意图;
[0020]图4为本技术调节结构的放大结构示意图;
[0021]图5为本技术坩埚本体的结构示意图;
[0022]图6为本技术埚托本体的结构示意图。
[0023]图中:1、坩埚本体;2、安装环;3、限位块;4、转动柱;5、埚托本体;501、凹槽;6、转动槽;7、限位板;8、限位槽;9、安装槽;10、安装盘;11、固定螺栓;12、安装组件;1201、转动座;1202、连接螺杆;1203、固定螺母;1204、连接板;1205、连接架;1206、连接轴;1207、转动块;1208、安装座;1209、安装孔;13、调节结构;1301、调节螺杆;1302、调节槽;1303、锁紧螺母。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例1:
[0026]请参阅图1

6,本技术提供了一种改进型石墨埚托,包括坩埚本体1和埚托本体5,坩埚本体1的底部固定设有安装环2,安装环2的两侧均固定设有限位块3,埚托本体5的中部开设有与坩埚本体1的底部相匹配的凹槽501,埚托本体5的顶端固定设有限位板7,限位板7的中部开设有与两个限位块3滑动连接的限位槽8,埚托本体5的底端固定设有安装盘10,安装盘10的底端设有安装组件12;
[0027]埚托本体5的中部开设有转动槽6,坩埚本体1底端的中部固定设有转动柱4;
[0028]限位板7顶端的两侧均开设有与两个限位块3相对应的安装槽9;
[0029]安装盘10通过四个固定螺栓11与埚托本体5的底端固定连接;
[0030]请参阅图1

6,一种改进型石墨埚托还包括有安装组件12,安装组件12包括三个转动座1201、三个连接板1204、三个连接架1205和三个安装座1208,三个转动座1201分别固定
设置在安装盘10的底端,三个转动座1201的底部均开设有转动孔,三个连接板1204的一端均固定设有连接螺杆1202,三个连接螺杆1202分别与三个转动孔穿插连接,三个连接螺杆1202的两端均螺纹连接有固定螺母1203,三个连接板1204均通过调节结构13分别与三个连接架1205滑动连接,三个连接架1205的一端均固定设有连接轴1206,三个安装座1208顶端的的中部均固定设有转动块1207,三个转动块1207分别与三个连接轴1206转动连接;
[0031]三个安装座1208的四个边角均开设有安装孔1209;
[0032]具体的,如图1、图2、图3所示,首先拧松固定螺母1203,调整连接板1204的角度,再拧紧固定螺母1203对连接板1204的位置进行限定,接着调整连接架1205的位置,调整完成后,拧紧锁紧螺母1303对连接架1205的位置进行限定,接着将安装座120本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改进型石墨埚托,包括坩埚本体(1)和埚托本体(5),其特征在于,所述坩埚本体(1)的底部固定设有安装环(2),所述安装环(2)的两侧均固定设有限位块(3),所述埚托本体(5)的中部开设有与坩埚本体(1)的底部相匹配的凹槽(501),所述埚托本体(5)的顶端固定设有限位板(7),所述限位板(7)的中部开设有与两个限位块(3)滑动连接的限位槽(8),所述埚托本体(5)的底端固定设有安装盘(10),所述安装盘(10)的底端设有安装组件(12)。2.根据权利要求1所述的一种改进型石墨埚托,其特征在于:所述安装组件(12)包括三个转动座(1201)、三个连接板(1204)、三个连接架(1205)和三个安装座(1208),三个所述转动座(1201)分别固定设置在所述安装盘(10)的底端,三个所述转动座(1201)的底部均开设有转动孔,三个所述连接板(1204)的一端均固定设有连接螺杆(1202),三个所述连接螺杆(1202)分别与三个转动孔穿插连接,三个所述连接螺杆(1202)的两端均螺纹连接有固定螺母(1203),三个所述连接板(1204)均通过调节结构(13)分别与三个连接架(1205)滑动连接,三个所述连接架(1205)的一端均固定设有连接轴(1206),三个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:张文娟
申请(专利权)人:山东晶悦碳素制品有限公司
类型:新型
国别省市:

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