一种半导体生产加工用清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种半导体生产加工用清洗装置，包括超声波清洗机，所述超声波清洗机的下表面四角固定连接有用于支撑工作和防滑工作的支撑底脚，所述超声波清洗机的排污口安装有用于控制排污工作的控制阀排污管，所述超声波清洗机的进水口安装有用于连接外部水管的进水管，通过电动液压杆的伸长工作，就可以将装有原料的不锈钢网兜伸向超声波清洗机中的清洗槽内部，并且使得不锈钢网兜悬空在超声波清洗机中的清洗槽内部，从而就可以避免原料落入超声波清洗机中的清洗槽底部，同时通过服电机带动搅拌杆旋转，就可以搅拌不锈钢网兜内部的原料，使得原料可以在超声波清洗机中的清洗槽内部充分地清洗，缩短清洗时间，提高清洗效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产加工用清洗装置


[0001]本技术属于半导体生产加工设备相关
，具体涉及一种半导体生产加工用清洗装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，而半导体在进行生产加工工作的时候，就可以对生产原料进行清洗工作，从而就会使用到清洗装置。
[0003]现有的清洗装置在应用于半导体的生产原料清洗工作时候，虽然清洗装置可以对原料进行清洗工作，但是在清洗的过程中，原料就会容易沉在清洗槽底部，从而就会造成原料清洗不干净，需要多次进行清洗工作，这样就降低了清洗效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体生产加工用清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的降低了清洗效率问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产加工用清洗装置，包括超声波清洗机，所述超声波清洗机的下表面四角固定连接有用于支撑工作和防滑工作的支撑底脚，所述超声波清洗机的排污口安装有用于控制排污工作的控制阀排污管，所述超声波清洗机的进水口安装有用于连接外部水管的进水管，所述超声波清洗机上表面靠近进水管的一侧安装有控制面板，所述超声波清洗机上表面靠近控制面板的另一侧设有可调式搅拌机构。
[0006]优选的，所述可调式搅拌机构包括不锈钢网兜和中空支撑架，所述不锈钢网兜位于超声波清洗机的清洗槽内部，所述不锈钢网兜上端固定连接有支撑横梁，所述支撑横梁上表面两侧固定连接有卡柱式固定套座，所述支撑横梁上表面中部安装有伺服电机，且伺服电机的电机轴在贯穿支撑横梁后伸向不锈钢网兜内部，所述不锈钢网兜内部设有搅拌杆，且搅拌杆的顶部与伺服电机的电机轴驱动连接，所述中空支撑架固定在超声波清洗机的上表面，所述中空支撑架上表面两侧安装有电动液压杆，且两个电动液压杆的伸缩杆在贯穿中空支撑架后伸向卡柱式固定套座，两个所述电动液压杆的伸缩杆与两个卡柱式固定套座卡接。
[0007]优选的，所述卡柱式固定套座包括固定套柱，所述固定套柱两端中部开设有贯通防脱槽，两个所述贯通防脱槽内部滑动套接有十字形插柱，且十字形插柱的一端在贯穿贯通防脱槽后伸向固定套柱内部，两个所述十字形插柱另一侧外部套接有弹簧，且弹簧位于贯通防脱槽内部，两个所述十字形插柱另一端固定连接有把手，且把手与固定套柱的外壁接触。
[0008]优选的，所述控制面板通过数据线分别与两个电动液压杆、伺服电机和超声波清洗机电性连接，且与两个电动液压杆电性连接的数据线位于中空支撑架内部。
[0009]优选的，所述超声波清洗机上表面靠近中空支撑架的两侧底部开设有圆孔，且两个圆孔与中空支撑架连通，所述超声波清洗机与控制阀排污管的连接处设有密封圈。
[0010]优选的，所述支撑底脚的制作材料为硅胶材料，所述支撑底脚下表面开设有多个防滑槽。
[0011]与现有技术相比，本技术提供了一种半导体生产加工用清洗装置，具备以下有益效果：
[0012]1、本技术通过电动液压杆的伸长工作，就可以将装有原料的不锈钢网兜伸向超声波清洗机中的清洗槽内部，并且使得不锈钢网兜悬空在超声波清洗机中的清洗槽内部，从而就可以避免原料落入超声波清洗机中的清洗槽底部，同时通过服电机带动搅拌杆旋转，就可以搅拌不锈钢网兜内部的原料，使得原料可以在超声波清洗机中的清洗槽内部充分地清洗，缩短清洗时间，提高清洗效率；
[0013]2、本技术通过弹簧的伸缩，方便十字形插柱在贯通防脱槽内部往复滑动，使得十字形插柱可以快速的与电动液压杆的伸缩杆完成卡接工作和分离工作，从而方便工作人员可以快速的将不锈钢网兜拆解下来，也方便工作人员更换不锈钢网兜内部的生产原料，这样就可以节约工作人员的操作时间，也提高了清洗效率。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0015]图1为本技术提出的一种半导体生产加工用清洗装置结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的可调式搅拌机构立体结构示意图；
[0017]图3为图2的A部分放大结构示意图；
[0018]图4为本技术提出的卡柱式固定套座正视剖视结构示意图。
[0019]图中：1、控制阀排污管；2、支撑底脚；3、超声波清洗机；4、进水管；5、控制面板；6、可调式搅拌机构；61、搅拌杆；62、不锈钢网兜；63、支撑横梁；64、伺服电机；65、中空支撑架；66、电动液压杆；67、卡柱式固定套座；671、把手；672、弹簧；673、贯通防脱槽；674、十字形插柱；675、固定套柱。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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图4，本技术提供一种技术方案：一种半导体生产加工用清洗装置，包括超声波清洗机3，超声波清洗机3的下表面四角固定连接有用于支撑工作和防滑工作的支撑底脚2，超声波清洗机3的排污口安装有用于控制排污工作的控制阀排污管1，超声波清洗机3的进水口安装有用于连接外部水管的进水管4，超声波清洗机3上表面靠近进水管4的一侧安装有控制面板5，超声波清洗机3上表面靠近控制面板5的另一侧设有可调式搅拌机构6。
[0022]为了加快清洗效率，可调式搅拌机构6包括不锈钢网兜62和中空支撑架65，不锈钢网兜62位于超声波清洗机3的清洗槽内部，不锈钢网兜62上端固定连接有支撑横梁63，支撑横梁63上表面两侧固定连接有卡柱式固定套座67，支撑横梁63上表面中部安装有伺服电机64，且伺服电机64的电机轴在贯穿支撑横梁63后伸向不锈钢网兜62内部，不锈钢网兜62内部设有搅拌杆61，且搅拌杆61的顶部与伺服电机64的电机轴驱动连接，中空支撑架65固定在超声波清洗机3的上表面，中空支撑架65上表面两侧安装有电动液压杆66，且两个电动液压杆66的伸缩杆在贯穿中空支撑架65后伸向卡柱式固定套座67，卡柱式固定套座67包括固定套柱675，固定套柱675两端中部开设有贯通防脱槽673，两个贯通防脱槽673内部滑动套接有十字形插柱674，且十字形插柱674的一端在贯穿贯通防脱槽673后伸向固定套柱675内部，两个十字形插柱674另一侧外部套接有弹簧672，且弹簧672位于贯通防脱槽673内部，两个十字形插柱674另一端固定连接有把手671，且把手671与固定套柱675的外壁接触，通过卡柱式固定套座67，方便不锈钢网兜62可以快速的与两个电动液压杆66完成安装和拆解工作，从而方便工作人员可以快速的将不锈钢网兜62拆解下来，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产加工用清洗装置，包括超声波清洗机(3)，其特征在于：所述超声波清洗机(3)的下表面四角固定连接有用于支撑工作和防滑工作的支撑底脚(2)，所述超声波清洗机(3)的排污口安装有用于控制排污工作的控制阀排污管(1)，所述超声波清洗机(3)的进水口安装有用于连接外部水管的进水管(4)，所述超声波清洗机(3)上表面靠近进水管(4)的一侧安装有控制面板(5)，所述超声波清洗机(3)上表面靠近控制面板(5)的另一侧设有可调式搅拌机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用清洗装置，其特征在于：所述可调式搅拌机构(6)包括不锈钢网兜(62)和中空支撑架(65)，所述不锈钢网兜(62)位于超声波清洗机(3)的清洗槽内部，所述不锈钢网兜(62)上端固定连接有支撑横梁(63)，所述支撑横梁(63)上表面两侧固定连接有卡柱式固定套座(67)，所述支撑横梁(63)上表面中部安装有伺服电机(64)，且伺服电机(64)的电机轴在贯穿支撑横梁(63)后伸向不锈钢网兜(62)内部，所述不锈钢网兜(62)内部设有搅拌杆(61)，且搅拌杆(61)的顶部与伺服电机(64)的电机轴驱动连接，所述中空支撑架(65)固定在超声波清洗机(3)的上表面，所述中空支撑架(65)上表面两侧安装有电动液压杆(66)，且两个电动液压杆(66)的伸缩杆在贯穿中空支撑架(65)后伸向卡柱式固定套座(67)，两个所述电动液压杆(66...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹锺晚，吴耀辉，王献兵，金恩泽，胡县中，
申请(专利权)人：爱特微张家港半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：