一种半导体加工用冷却设备制造技术

本申请涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体加工用冷却设备，包括底座，所述底座的上端固定连接有多根支撑柱，多根所述支撑柱的上端固定连接有同一个托板，所述托板的上端一侧固定连接有升降机构，所述升降机构上固定套接有固定管，所述固定管的下端固定卡接有插接管，所述插接管的下端固定连通有V形冷风管，所述V形冷风管的下侧固定连通有多个冷风头，所述托板的上端还固定连接有冷风机，所述冷风机的出风口通过通风管与固定管的上端连通。本申请能够对风冷高度进行快速调节，能够实现对V形冷风管的快速拆装，使得整个装置的放置更加稳固，提高了结构稳固性。提高了结构稳固性。提高了结构稳固性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用冷却设备


[0001]本申请属于半导体加工
，尤其涉及一种半导体加工用冷却设备。

技术介绍

[0002]半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。
[0003]半导体在生产时需要进行冷却操作，目前直接通过冷风机进行冷却操作，但整个冷却设备的位置固定，机动性差，冷却高度不便于调节，不能很好的满足实际使用需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述的问题，而提出的一种半导体加工用冷却设备。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0006]一种半导体加工用冷却设备，包括底座，所述底座的上端固定连接有多根支撑柱，多根所述支撑柱的上端固定连接有同一个托板，所述托板的上端一侧固定连接有升降机构，所述升降机构上固定套接有固定管，所述固定管的下端固定卡接有插接管，所述插接管的下端固定连通有V形冷风管，所述V形冷风管的下侧固定连通有多个冷风头，所述托板的上端还固定连接有冷风机，所述冷风机的出风口通过通风管与固定管的上端连通；
[0007]所述底座的底部四角处均固定连接有万向滚轮，所述底座的上端侧壁对称固定连接有四个固定块，所述固定块的表面开设有通孔，且通孔内通过轴承转动套接有调节螺杆，所述调节螺杆的下端外侧螺纹套接有升降螺筒，所述升降螺筒的下端固定连接有支撑垫块，所述固定块的外壁固定连接有导向滑杆，所述升降螺筒的上端外壁固定连接有与导向滑杆滑动套接的导向滑筒，所述底座的上端固定连接有用于驱动四根调节螺杆转动的驱动机构。
[0008]优选的，所述升降机构包括固定连接在托板上端的立板，所述立板的上端侧壁开设有矩形开口，所述立板对应矩形开口的上下相对一侧内壁通过轴承转动连接有转动螺杆，所述立板的上端固定连接有旋转电机，所述旋转电机的下端输出轴与转动螺杆的上端固定连接，所述转动螺杆的杆壁螺纹套接有升降板。
[0009]优选的，所述固定管的下端外侧固定套接有抵撑在插接管上端的环形挡板，所述插接管的上端外侧对称固定连接有多个L形卡杆，所述环形挡板的表面开设有多个与L形卡杆匹配插接的卡口，所述L形卡杆的上端杆壁开设有定位口，所述L形卡杆对应定位口内插接有定位块，所述定位块抵触在环形挡板的上侧。
[0010]优选的，所述L形卡杆的上端开设有插孔，且插孔内活动插设有卡紧杆，所述定位块的上侧开设有与卡紧杆匹配插接的卡紧槽，所述卡紧杆的上端固定连接有卡紧拉板，所述卡紧拉板的下端和L形卡杆的上端固定连接有套设在卡紧杆外的卡紧弹簧。
[0011]优选的，所述底座的上端通过轴承对称转动连接有四根连接杆，所述底座的上端
固定嵌设有驱动电机，所述驱动电机的上端输出轴固定连接有第一主动锥齿轮，所述连接杆的一端固定连接有与第一主动锥齿轮啮合的第一从动锥齿轮，所述连接杆的另一端固定连接有第二主动锥齿轮，所述调节螺杆的上端固定连接有与第二主动锥齿轮啮合的第二从动锥齿轮。
[0012]优选的，所述冷风机的底部四角处均固定连接有减震垫块。
[0013]优选的，所述升降板的一端固定连接有配重块。
[0014]优选的，所述定位块的两端上侧均设为斜面。
[0015]优选的，所述通风管具体为伸缩软管。
[0016]与现有技术相比，本申请提供了一种半导体加工用冷却设备，具备以下有益效果：
[0017]1、该半导体加工用冷却设备，通过设有的升降机构，将整个装置通过万向滚轮移动至半导体传输带处时，使得V形冷风管对准传输带的上侧进行风冷操作，根据需要风冷的高度启动旋转电机，旋转电机带动主动螺杆转动，通过转动螺杆和升降板的螺纹套接作用使得升降板带动V形冷风管上下移动，能够对风冷高度进行快速调节，便于使用。
[0018]2、该半导体加工用冷却设备，通过设有的固定管和插接管，根据风冷需求选择合适构造的V形冷风管，将插接管插套在固定管的下端外侧，实现对V形冷风管的相对快速安装，此时插接管的上端抵触在环形挡板的下端，此时L形卡杆插入环形挡板表面的卡口内，再将定位块插入L形卡杆上端侧壁的定位口内，实现L形卡杆和环形挡板之间的稳固卡接固定，此时卡紧杆对准卡紧槽，卡紧弹簧下拉卡紧拉板，卡紧拉板将卡紧杆推进卡紧槽内即可实现对定位块的稳固卡接固定，保证了结构稳固性，能够实现对V形冷风管的快速拆装，便于维护更换使用。
[0019]3、该半导体加工用冷却设备，通过设有的驱动机构和支撑垫块，在将整个装置移动至合适的位置后，启动驱动电机，驱动电机带动第一主动锥齿轮转动，通过第一主动锥齿轮和第一从动锥齿轮的啮合作用带动连接杆转动，进而带动第二主动锥齿轮转动，在通过第二主动锥齿轮和第二从动锥齿轮的啮合作用带动四根调节螺杆同步转动，通过调节螺杆和升降螺筒的螺纹套接作用以及导向滑杆和导向滑筒的滑动限位作用，使得升降螺筒带动支撑垫块稳定下移，将整个底座支撑起来，使得整个装置的放置更加稳固，提高了结构稳固性。
[0020]而且该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本申请能够对风冷高度进行快速调节，能够实现对V形冷风管的快速拆装，使得整个装置的放置更加稳固，提高了结构稳固性。
附图说明
[0021]图1为本申请提出的一种半导体加工用冷却设备的结构示意图；
[0022]图2为图1中A部分的放大图；
[0023]图3为图1中B部分的放大图；
[0024]图4为图1中C部分的放大图。
[0025]图中：1、底座；2、支撑柱；3、托板；4、固定管；5、插接管；6、V形冷风管；7、冷风头；8、冷风机；9、通风管；10、万向滚轮；11、固定块；12、调节螺杆；13、升降螺筒；14、支撑垫块；15、导向滑杆；16、导向滑筒；17、立板；18、矩形开口；19、转动螺杆；20、旋转电机；21、升降板；
22、环形挡板；23、L形卡杆；24、定位口；25、定位块；26、卡紧杆；27、卡紧槽；28、卡紧拉板；29、卡紧弹簧；30、连接杆；31、驱动电机；32、第一主动锥齿轮；33、第一从动锥齿轮；34、第二主动锥齿轮；35、第二从动锥齿轮；36、配重块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]参照图1
‑
4，一种半导体加工用冷却设备，包括底座1，底座1的上端固定连接有多根支撑柱2，多根支撑柱2的上端固定连接有同一个托板3，托板3的上端一侧固定连接有升降机构，升降机构上固定套接有固定管4，固定管4的下端固定卡接有插接管5，插接管5的下端固定连通有V形冷风管6，V形冷风管6的下侧固定连通有多个冷风头7，托板3的上端还固定连接有冷风机8，冷风机8的出风口通过通风管9与固定管4的上端连通；
[0028]底座1的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用冷却设备，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端固定连接有多根支撑柱(2)，多根所述支撑柱(2)的上端固定连接有同一个托板(3)，所述托板(3)的上端一侧固定连接有升降机构，所述升降机构上固定套接有固定管(4)，所述固定管(4)的下端固定卡接有插接管(5)，所述插接管(5)的下端固定连通有V形冷风管(6)，所述V形冷风管(6)的下侧固定连通有多个冷风头(7)，所述托板(3)的上端还固定连接有冷风机(8)，所述冷风机(8)的出风口通过通风管(9)与固定管(4)的上端连通；所述底座(1)的底部四角处均固定连接有万向滚轮(10)，所述底座(1)的上端侧壁对称固定连接有四个固定块(11)，所述固定块(11)的表面开设有通孔，且通孔内通过轴承转动套接有调节螺杆(12)，所述调节螺杆(12)的下端外侧螺纹套接有升降螺筒(13)，所述升降螺筒(13)的下端固定连接有支撑垫块(14)，所述固定块(11)的外壁固定连接有导向滑杆(15)，所述升降螺筒(13)的上端外壁固定连接有与导向滑杆(15)滑动套接的导向滑筒(16)，所述底座(1)的上端固定连接有用于驱动四根调节螺杆(12)转动的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用冷却设备，其特征在于，所述升降机构包括固定连接在托板(3)上端的立板(17)，所述立板(17)的上端侧壁开设有矩形开口(18)，所述立板(17)对应矩形开口(18)的上下相对一侧内壁通过轴承转动连接有转动螺杆(19)，所述立板(17)的上端固定连接有旋转电机(20)，所述旋转电机(20)的下端输出轴与转动螺杆(19)的上端固定连接，所述转动螺杆(19)的杆壁螺纹套接有升降板(21)。3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用冷却设备，其特征在于，所述固定管(4)的下端外侧固定套接有抵撑在插接管(5)上端的环形挡板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹锺晚，金恩泽，缪新海，吴耀辉，
申请(专利权)人：爱特微张家港半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：