激光打标装置和打标机制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光打标的技术领域，特别涉及一种激光打标装置和打标机。其中，激光打标装置包括壳体、激光器、反射镜组件、分光件及打标头组件，壳体内设有安装腔，激光器安装于安装腔一侧，反射镜组件包括第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜，第一反射镜设置于激光器的出光侧，分光件设置于第一反射镜一侧，并将第一反射镜的反射光束分成第一光束和第二光束，打标头组件设置于壳体一侧，打标头组件包括第一打标头和第二打标头，第二反射镜对应第一打标头设置，第三反射对应于第二打标头设置，激光器发射激光束经由第一反射镜、分光件分光至第二反射镜和第三反射镜，分别入射至第一打标头和第二打标头。本发明专利技术技术方案有利于提高打标装置适用性。标装置适用性。标装置适用性。

【技术实现步骤摘要】
激光打标装置和打标机


[0001]本专利技术涉及激光打标的
，特别涉及一种激光打标装置和打标机。

技术介绍

[0002]在IC行业中，应用激光技术对IC产品进行标记的方式越来越广泛。采用激光打标技术可以在IC产品表面制作出非常精细的标记且耐久性非常好。现有技术中，为了提高打标效率，通常会使用两个打标头来进行打标，激光器中发射出的激光束通过分光件分别到达两个打标头，为激光打标提供能量，安装腔内的零部件(比如，扩束镜、场镜等)一般是都是采用固定规格固定安装在安装腔内，不能随意更换，因此不能实现不同精度的打标要求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的是提供一种激光打标装置，旨在实现不同的打标精度。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提出一种激光打标装置，所述激光打标装置包括：
[0005]壳体，所述壳体内设有安装腔：
[0006]激光器，所述激光器可拆卸安装于所述安装腔一侧；
[0007]反射镜组件，包括第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜，所述第一反射镜设置于所述激光器的出光侧；
[0008]分光件，所述分光件设置于所述第一反射镜一侧，并将所述第一反射镜的反射光束分成第一光束和第二光束；及
[0009]打标头组件，所述打标头组件设置于所述壳体一侧，所述打标头组件包括第一打标头和第二打标头，所述第二反射镜对应所述第一打标头设置，并位于所述分光件远离所述第一反射镜的一侧；所述第三反射对应于所述第二打标头设置，所述第三反射镜位于所述分光件背离所述第二反射镜的一侧，所述激光器发射激光束经由所述第一反射镜、所述分光件分光至所述第二反射镜和第三反射镜，分别入射至所述第一打标头和第二打标头。
[0010]在本申请的一实施例中，所述安装腔内还设置有扩束镜组件，所述扩束镜组件包括：
[0011]第一扩束镜，所述第一扩束镜设置于所述第一打标头的入光口并用于调节所述第一光束的扩散角；
[0012]第二扩束镜，所述第二扩束镜设置于所述第二打标头的入光口并用于调节所述第二光束的扩散角；及
[0013]第三扩束镜，所述第三扩束镜设置于所述激光器的出光口，所述第三扩束镜用于调节激光束的质量。
[0014]在本申请的一实施例中，所述第一光束传播至所述第一打标头的光程等于所述第二光束传播至第二打标头的光程。
[0015]在本申请的一实施例中，定义所述第一光束由分光件传播至所述第二反射镜的光程为L1，所述第一光束由所述第二反射镜传播至所述第一打标头的光程为L2；所述第二光
束由分光件传播至所述第三反射镜的光程为D1，所述第二光束由第三反射镜传播至第二打标头的光程为D2，则L1+L2＝D1+D2。
[0016]在本申请的一实施例中，所述分光件具有分光面，所述激光束入射到所述分光面时的入射角为6度。
[0017]在本申请的一实施例中，所述激光束入射到所述第一反射镜时的入射角、所述第一光束入射到所述第二反射镜时的入射角和所述第二光束入射到所述第三反射镜时的入射角均为45度。
[0018]在本申请的一实施例中，所述第一反射镜、分光件和第二反射镜的反射点位于同一水平直线，所述第三反射镜位于所述水平直线和所述第二打标头之间。
[0019]在本申请的一实施例中，定义所述分光件与所述第一反射镜之间的距离为S1，所述分光件与所述第二反射镜之间的距离为S2，则S1>S2。
[0020]在本申请的一实施例中，所述第一打标头和所述第二打标头并排设置于所述安装腔远离所述激光器的一侧。
[0021]在本申请的一实施例中，所述第一打标头和所述第二打标头均包括扫描头和场镜，所述激光束先经过所述扫描头调整偏转角度，再经过所述场镜形成均匀大小的聚焦光斑并聚焦到产品上，对产品进行打标。
[0022]本专利技术还提供一种打标机，包括工作台和如上任意所述的激光打标装置，所述激光打标装置设于所述工作台，所述工作台上设置有用于放置待加工件的承载台，所述打标头组件相对所述承载台设置。
[0023]本专利技术技术方案通过在安装腔内合理布局安装激光器、反射镜组件、分光件和打标头组件，激光器发射出的激光束先经过第一反光镜反射后入射到分光件，分光件将激光束分为第一光束和第二光束，第一光束和第二光束经过第二反射镜和第三反射镜的反射分别入射到第一打标头和第二打标头进行激光打标。且可以相应更换不同规格激光器、反射镜组件、分光件和打标头组件，可以实现不同精度的打标需求，使激光打标装置适用性更强，降低生产制造成本。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术激光打标装置一实施例的外部结构示意图；
[0026]图2为本专利技术激光打标装置一实施例的内部结构示意图；
[0027]图3为本专利技术激光打标装置一实施例的内部结构俯视图；
[0028]图4为本专利技术激光打标装置光束传播示意图。
[0029]附图标号说明：
[0030][0031][0032]本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0034]需要说明，本专利技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0035]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0036]另外，在本专利技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B为例”，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光打标装置，其特征在于，所述激光打标装置包括：壳体，所述壳体内设有安装腔：激光器，所述激光器可拆卸安装于所述安装腔一侧；反射镜组件，包括第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜，所述第一反射镜设置于所述激光器的出光侧；分光件，所述分光件设置于所述第一反射镜一侧，并将所述第一反射镜的反射光束分成第一光束和第二光束；及打标头组件，所述打标头组件设置于所述壳体一侧，所述打标头组件包括第一打标头和第二打标头，所述第二反射镜对应所述第一打标头设置，并位于所述分光件远离所述第一反射镜的一侧；所述第三反射对应于所述第二打标头设置，所述第三反射镜位于所述分光件背离所述第二反射镜的一侧，所述激光器发射激光束经由所述第一反射镜、所述分光件分光至所述第二反射镜和第三反射镜，分别入射至所述第一打标头和第二打标头。2.如权利要求1所述的激光打标装置，其特征在于，所述安装腔内还设置有扩束镜组件，所述扩束镜组件包括：第一扩束镜，所述第一扩束镜设置于所述第一打标头的入光口并用于调节所述第一光束的扩散角；第二扩束镜，所述第二扩束镜设置于所述第二打标头的入光口并用于调节所述第二光束的扩散角；及第三扩束镜，所述第三扩束镜设置于所述激光器的出光口，所述第三扩束镜用于调节激光束的质量。3.如权利要求1所述的激光打标装置，其特征在于，定义所述第一光束由分光件传播至所述第二反射镜的光程为L1，所述第一光束由所述第二反射镜传播至所述第一打标头的光程为L2；所述第二光束由分光件传播至所述第三反射镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟恒，颜昱昕，于泽樟，钟仕贤，李文强，杨建新，朱霆，盛辉，周学慧，张凯，
申请(专利权)人：深圳泰德半导体装备有限公司，
类型：发明
国别省市：