半导体设备维护用梯及其设计方法和制作方法技术

本发明专利技术提供了一种半导体设备维护用梯及其设计方法和制作方法，涉及半导体维护设备的技术领域，包括以下步骤：设计载人平台、主体框架和步梯；沿着载人平台的周向设计有平台护栏；沿着步梯的两侧设计有步梯扶手；在平台护栏朝向步梯的一侧设置有平台安全门，平台安全门具有单向回弹功能，平台安全门朝向载人平台的区域内单向开启；通过提供一种标准化的半导体设备维护用梯的设计方法，运用符合人机工程学的结构保证使用，设计过程标准化，提高了工作的便携性，提高工作效率；自研自产，高度匹配需求，降低了成本；缓解了现有技术中存在的常规梯子无法满足半导体设备维护用梯使用，以及无法满足半导体制程设备安全准则的技术问题。无法满足半导体制程设备安全准则的技术问题。无法满足半导体制程设备安全准则的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备维护用梯及其设计方法和制作方法


[0001]本专利技术涉及半导体维护设备
，尤其是涉及一种半导体设备维护用梯及其设计方法和制作方法。

技术介绍

[0002]半导体设备是高精尖技术的集合体，半导体设备的HTM模块设备整体尺寸大高度高，工作人员的安装和维护工作需要频繁的登高，即从一个工作面到达另一个工作面，在这个过程中，对工作人员的精力和体力都有巨大的消耗；针对此类需求，一架便于移动、高安全性、符合人机工程学并减轻工作人员疲劳程度的维护用梯就成了首选。
[0003]现有技术中的梯子虽然可以实现升降、折叠以及可移动，但是针对半导体设备的维护过程中，均无法直接进行使用，针对半导体设备的安装和维护需求，需要满足半导体设备的尺寸，同时还需要满足SEMIS2半导体制程设备安全准则的维护用梯。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种半导体设备维护用梯及其设计方法和制作方法，以缓解现有技术中存在的常规梯子无法满足半导体设备维护用梯使用，以及无法满足半导体制程设备安全准则的技术问题。
[0005]本专利技术提供的一种半导体设备维护用梯设计方法，包括以下步骤：
[0006]设计载人平台、主体框架和步梯，以使载人平台、主体框架和步梯依次连接形成爬梯结构；
[0007]沿着载人平台的周向设计有平台护栏；
[0008]沿着步梯的两侧设计有步梯扶手；
[0009]在平台护栏朝向步梯的一侧设置有平台安全门，平台安全门具有单向回弹功能，其中，平台安全门朝向载人平台的区域内单向开启。
[0010]在本专利技术较佳的实施例中，所述设计载人平台的步骤包括：
[0011]根据已知使用情况和受力分析选取板材作为载人平台；
[0012]其中，载人平台的行走面或工作面应能支撑至少3.6KN/m2的在整个表面上的均布载荷，且人员站立或行走的位置，平台、行走面或工作面应至少能支撑1.3KN集中载荷施加在一个或多个结构件应力集中的每个位置(假设集中载荷施加在90mm*90mm正方形面积上)。
[0013]在本专利技术较佳的实施例中，所述设计步梯的步骤包括：
[0014]选用步梯的坡度值为45
°
，步梯的步距为190mm，步高为190mm；其中，步梯的步距范围为76mm至190mm，步高范围为90mm至279mm，步梯的坡度范围为45
°
至60
°
；
[0015]选用与载人平台的同样材质板材，并在步梯的表面设置有防滑纹；
[0016]设计步梯的宽度小于或等于载人平台的宽度，对步梯的板材的两侧进行弯折。
[0017]在本专利技术较佳的实施例中，所述设计主体框架的步骤包括：
[0018]依据载人平台的尺寸、步梯的坡度以及主体框架的负载选用管型材料焊接成型，形成主体框架的外轮廓结构；
[0019]在主体框架内焊接斜筋，构成三角形稳定结构；
[0020]在主体框架的最大承力点位置焊接斜筋；
[0021]在主体框架对应载人平台的平面上焊接有横梁。
[0022]在本专利技术较佳的实施例中，所述设计平台护栏以及所述设计步梯扶手的步骤包括：
[0023]选用截面尺寸范围为33mm
‑
56mm的圆钢管作为平台护栏和步梯扶手的主材质，对步梯扶手的末端进行防冲撞风险处理；
[0024]选用平台护栏和步梯扶手的高度范围为900mm
‑
1000mm；
[0025]设计步梯扶手的尾部距地面高度为1000mm，且步梯扶手的尾部距步梯的垂直间距为640mm；
[0026]设计平台护栏与步梯扶手之间具有缺口，缺口的间距范围为75mm
‑
120mm；
[0027]对平台护栏靠近载人平台焊接有挡板。
[0028]在本专利技术较佳的实施例中，所述在平台护栏朝向步梯的一侧设置有平台安全门的步骤包括：
[0029]平台安全门选用双扇门结构，并对每扇门选用弹簧铰链折页连接门扇与门框，以使平台安全门在0
°
至90
°
范围内开合；
[0030]设计两扇门之间具有空隙。
[0031]在本专利技术较佳的实施例中，还包括以下步骤：
[0032]设计移动轮组，以使移动轮组安装于主体框架远离载人平台的一侧；
[0033]依据维护用梯总重为G1，额外负载人及物预估G2，总负载G0＝G1+G2，安全系数K；在主体框内应布置有N个脚轮，即依单轮负载应大于G0*K/N数据，对脚轮进行选型；
[0034]选用三组六个脚轮组成移动轮组；其中，位于两端的两组选用带制动器的万向脚轮，位于二者之间的一组选用带制动器的定向脚轮，以定向脚轮为轴心配合两端的万向脚轮，以最小半径转动；
[0035]校核总负载G0的重力作用线与脚轮位置，确认10
°
以内为安全倾角范围。
[0036]在本专利技术较佳的实施例中，设计铭牌安装于维护用梯上。
[0037]本专利技术提供的一种半导体设备维护用梯的制作方法，基于所述的半导体设备维护用梯设计方法进行制作。
[0038]本专利技术提供的一种半导体设备维护用梯，通过所述的半导体设备维护用梯的制作方法制作得到。
[0039]本专利技术提供的一种半导体设备维护用梯设计方法，包括以下步骤：设计载人平台、主体框架和步梯，以使载人平台、主体框架和步梯依次连接形成爬梯结构；沿着载人平台的周向设计有平台护栏；沿着步梯的两侧设计有步梯扶手；在平台护栏朝向步梯的一侧设置有平台安全门，平台安全门具有单向回弹功能，其中，平台安全门朝向载人平台的区域内单向开启；通过提供一种标准化的半导体设备维护用梯的设计方法，运用符合人机工程学的结构保证使用，设计过程标准化，提高了工作的便携性，提高工作效率；自研自产，高度匹配需求，降低了成本；缓解了现有技术中存在的常规梯子无法满足半导体设备维护用梯使用，
以及无法满足半导体制程设备安全准则的技术问题。
附图说明
[0040]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0041]图1为本专利技术实施例提供的半导体设备维护用梯的整体结构示意图；
[0042]图2为本专利技术实施例提供的半导体设备维护用梯的平台护栏和步梯扶手的结构示意图；
[0043]图3为本专利技术实施例提供的半导体设备维护用梯的平台安全门的结构示意图；
[0044]图4为本专利技术实施例提供的半导体设备维护用梯的主体框架的结构示意图；
[0045]图5为本专利技术实施例提供的半导体设备维护用梯的步梯的结构示意图；
[0046]图6为本专利技术实施例提供的半导体设备维护用梯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备维护用梯设计方法，其特征在于，包括以下步骤：设计载人平台(100)、主体框架(200)和步梯(300)，以使载人平台(100)、主体框架(200)和步梯(300)依次连接形成爬梯结构；沿着载人平台(100)的周向设计有平台护栏(400)；沿着步梯(300)的两侧设计有步梯扶手(500)；在平台护栏(400)朝向步梯(300)的一侧设置有平台安全门(600)，平台安全门(600)具有单向回弹功能，其中，平台安全门(600)朝向载人平台(100)的区域内单向开启。2.根据权利要求1所述的半导体设备维护用梯设计方法，其特征在于，所述设计载人平台(100)的步骤包括：根据已知使用情况和受力分析选取板材作为载人平台(100)；其中，载人平台(100)的行走面或工作面应能支撑至少3.6KN/m2的在整个表面上的均布载荷，且人员站立或行走的位置，平台、行走面或工作面应至少能支撑1.3KN集中载荷施加在一个或多个结构件应力集中的每个位置。3.根据权利要求2所述的半导体设备维护用梯设计方法，其特征在于，设计步梯(300)的步骤包括：选用步梯(300)的坡度值为45
°
，步梯(300)的步距为190mm，步高为190mm；其中，步梯(300)的步距范围为76mm至190mm，步高范围为90mm至279mm，步梯(300)的坡度范围为45
°
至60
°
；选用与载人平台(100)的同样材质板材，并在步梯(300)的表面设置有防滑纹；设计步梯(300)的宽度小于或等于载人平台(100)的宽度，对步梯(300)的板材的两侧进行弯折。4.根据权利要求3所述的半导体设备维护用梯设计方法，其特征在于，设计主体框架(200)的步骤包括：依据载人平台(100)的尺寸、步梯(300)的坡度以及主体框架(200)的负载选用管型材料焊接成型，形成主体框架(200)的外轮廓结构；在主体框架(200)内焊接斜筋(201)，构成三角形稳定结构；在主体框架(200)的最大承力点位置焊接斜筋(201)；在主体框架(200)对应载人平台(100)的平面上焊接有横梁(202)。5.根据权利要求4所述的半导体设备维护用梯设计方法，其特征在于，设计平台护栏(400)以及设计步梯扶手(500)的步骤包括：选用截面尺寸范围...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕欣，吴凤丽，杨柳，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：