一种薄片晶圆测试保护治具制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆技术领域，且公开了一种薄片晶圆测试保护治具，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接承载板，所述承载板的内部固定安装有圆形吸盘，所述圆形吸盘的顶部设置有晶圆，所述工作台的底部固定安装有电动推杆。该薄片晶圆测试保护治具，通过L型夹板和夹板可以将晶圆进行夹持固定，然后通过电动推杆工作，使得电动推杆伸长，并带动连接板向下移动，使得连接条一同向下移动，进而可以带动夹板向下移动，使得夹板位于矩形槽的内部，同时低的两个滑块在滑槽的内部向下移动，且上面的滑块与滑槽的内顶壁搭接，进而可以对L型夹板进行固定，从而可以通过夹板向上移动，且弹簧收缩，进而可以提高对晶圆的夹持固定效果。进而可以提高对晶圆的夹持固定效果。进而可以提高对晶圆的夹持固定效果。

【技术实现步骤摘要】
一种薄片晶圆测试保护治具


[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种薄片晶圆测试保护治具。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆在生产后需要对其进行测试，然而现有的测试治具在对晶圆进行固定时，大多都是通过单一的吸盘来对晶圆进行吸附，从而容易导致晶圆在吸盘上出现位置偏移，且在对晶圆进行测试时，不便于对晶圆的正反两面进行测试，需要通过人工手动将晶圆进行翻面，操作较为繁琐，且增加了人力，因此需要提出一种薄片晶圆测试保护治具来解决上述所出现的问题。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种薄片晶圆测试保护治具，具备可以提高对晶圆的夹持固定效果，减小晶圆在吸盘上出现位置偏移的情况，且便于对晶圆的正反两面进行测试，操作更加便利等优点，解决了容易导致晶圆在吸盘上出现位置偏移，且在对晶圆进行测试时，不便于对晶圆的正反两面进行测试，需要通过人工手动将晶圆进行翻面，操作较为繁琐，且增加了人力的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种薄片晶圆测试保护治具，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接承载板，所述承载板的内部固定安装有圆形吸盘，所述圆形吸盘的顶部设置有晶圆，所述工作台的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接有连接板，所述连接板的顶部设置有两个夹持机构，所述夹持机构包括连接条，所述连接条的侧表面转动连接有活动块，所述活动块远离连接条的一侧设置有L型夹板和夹板，所述L型夹板和夹板相对的一侧均固定连接有橡胶垫，所述夹板的顶部固定连接有活动杆，所述活动杆的顶部固定连接挡板，所述L型夹板的顶部开设有槽口，所述L型夹板的底部开设有凹槽，所述凹槽的内部固定连接有弹簧。
[0007]优选的，所述活动块远离连接条一侧开设有滑槽，所述L型夹板和夹板靠近活动块的一侧均固定连接滑块，所述滑块与滑槽的内部滑动连接，从而使得L型夹板和夹板可以进行上下移动。
[0008]优选的，所述承载板的顶部开设有两个矩形槽，所述承载板设置为圆形，两个所述矩形槽关于承载板的圆心左右对称，两个所述矩形槽分别与承载板的左右两侧连通，所述夹板位于矩形槽的内部，从而可以对夹板进行收纳，使得晶圆的底部可以与圆形吸盘的顶部搭接，从而可以提高对晶圆的吸附效果。
[0009]优选的，两个所述夹持机构关于连接条的中轴线左右对称，所述连接条的底部与连接板的顶部固定连接，两个所述连接条分别位于工作台的左右两侧，从而使得连接条上下移动可以带动两个连接条一同进行上下移动。
[0010]优选的，所述L型夹板位于夹板的正上方，所述晶圆位于L型夹板和夹板之间，所述橡胶垫与晶圆的侧表面搭接，从而可以通过L型夹板和夹板对晶圆进行夹持固定，进而可以提高对晶圆的固定效果。
[0011]优选的，所述活动杆与凹槽的内部活动插接，所述凹槽与槽口相互连通，所述挡板的底部与槽口的内底壁搭接，所述弹簧的底端与夹板的顶部固定连接，所述弹簧与活动杆活动套接，在弹簧的作用下，可以将L型夹板和夹板进行固定，使得夹板从矩形槽的内部移动出来后，也可以将晶圆进行夹持固定，防止晶圆出现脱落现象。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种薄片晶圆测试保护治具，具备以下有益效果：
[0013]1、该薄片晶圆测试保护治具，通过将晶圆放置在圆形吸盘的顶部，且使得晶圆位于L型夹板和夹板之间，进而可以通过L型夹板和夹板可以将晶圆进行夹持固定，然后通过电动推杆工作，使得电动推杆伸长，并带动连接板向下移动，使得连接条一同向下移动，进而可以带动夹板向下移动，使得夹板位于矩形槽的内部，同时低的两个滑块在滑槽的内部向下移动，且上面的滑块与滑槽的内顶壁搭接，进而可以对L型夹板进行固定，从而可以通过夹板向上移动，且弹簧收缩，进而可以提高对晶圆的夹持固定效果。
[0014]2、该薄片晶圆测试保护治具，通过电动推杆工作，使得电动推杆收缩，并带动连接板和连接条向上移动，从而可以带动晶圆一同向上移动，当晶圆移动到一定高度时，则可以将活动块转动一百八十度，则可以实现对晶圆进行翻面，从而可以对晶圆的正反两面进行测试，操作更加便利，且可以节省人力。
附图说明
[0015]图1为本技术正面结构剖视图；
[0016]图2为本技术图1中A处结构放大图；
[0017]图3为本技术夹持机构结构俯视图。
[0018]其中：1、工作台；2、承载板；3、圆形吸盘；4、晶圆；5、电动推杆；6、连接板；7、连接条；8、活动块；9、L型夹板；10、夹板；11、橡胶垫；12、滑槽；13、滑块；14、活动杆；15、挡板；16、槽口；17、凹槽；18、弹簧；19、矩形槽。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，一种薄片晶圆测试保护治具，包括工作台1，工作台1包括工作台板和支撑架，工作台1的顶部固定连接承载板2，承载板2的内部固定安装有圆形吸盘3，圆形吸盘3的顶部与承载板2的顶部位于同一水平高度，圆形吸盘3的顶部设置有晶圆4，工作台1的底部固定安装有电动推杆5，电动推杆5的底端固定连接有连接板6，连接板6的顶部设置有两个夹持机构，夹持机构包括连接条7，两个夹持机构关于连接条7的中轴线左右对称，连接条7的底部与连接板6的顶部固定连接，两个连接条7分别位于工作台1的左右两侧，进而使
得工作台1不会对连接条7产生影响，使得连接板6上下移动可以带动连接条7一同进行上下移动，连接条7的侧表面转动连接有活动块8，两个连接条7相对的一侧均转动连接有活动块8，活动块8远离连接条7的一侧设置有L型夹板9和夹板10，通过L型夹板9和夹板10之间的相互配合，使得L型夹板9和夹板10之间形成放置槽，L型夹板9和夹板10相对的一侧均固定连接有橡胶垫11，L型夹板9位于夹板10的正上方，晶圆4位于L型夹板9和夹板10之间，通过L型夹板9和夹板10可以对晶圆4进行夹持固定，且通过左右两侧的夹持机构可以对晶圆4的左右两侧进行夹持固定，进而可以防止晶圆4的位置出现偏移，橡胶垫11与晶圆4的侧表面搭接，通过设置橡胶垫11可以提高L型夹板9和夹板10与晶圆4之间的夹持固定效果，且可以防止对晶圆4的表面产生磨损情况，活动块8远离连接条7一侧开设有滑槽12，L型夹板9和夹板10靠近活动块8的一侧均固定连接滑块13，滑块13与滑槽12的内部滑动连接，同一侧的L型夹板9和夹板10上的滑块13与同一个滑槽12的内部滑动连接，夹板10的顶部固定连接有活动杆14，每个夹板10的顶部均固定连接有两个活动杆14，活动杆14的顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄片晶圆测试保护治具，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接承载板(2)，所述承载板(2)的内部固定安装有圆形吸盘(3)，所述圆形吸盘(3)的顶部设置有晶圆(4)，所述工作台(1)的底部固定安装有电动推杆(5)，所述电动推杆(5)的底端固定连接有连接板(6)，所述连接板(6)的顶部设置有两个夹持机构，所述夹持机构包括连接条(7)，所述连接条(7)的侧表面转动连接有活动块(8)，所述活动块(8)远离连接条(7)的一侧设置有L型夹板(9)和夹板(10)，所述L型夹板(9)和夹板(10)相对的一侧均固定连接有橡胶垫(11)，所述夹板(10)的顶部固定连接有活动杆(14)，所述活动杆(14)的顶部固定连接挡板(15)，所述L型夹板(9)的顶部开设有槽口(16)，所述L型夹板(9)的底部开设有凹槽(17)，所述凹槽(17)的内部固定连接有弹簧(18)。2.根据权利要求1所述的一种薄片晶圆测试保护治具，其特征在于：所述活动块(8)远离连接条(7)一侧开设有滑槽(12)，所述L型夹板(9)和夹板(10)靠近活动块(8)的一侧均固定连接滑块(13)，所述滑块(13)与滑槽(12)的内部滑动连...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴灿煌，陈圣育，殷小罕，张福亮，王金永，
申请(专利权)人：合肥芯测半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：