风机检测结构和风机装置制造方法及图纸

本公开涉及一种风机检测结构和风机装置，风机检测结构可包括支架、转动件和检测元件。其中，转动件活动连接在支架上，转动件的至少部分朝向风机的出风口设置，转动件的转动量与出风口的风速对应设置；检测元件设置于转动件和/或支架上，用于检测转动件的转动量，以确定出风口的风速。本方案的风机检测结构和风机装置能够及时检测风机的工作情况，且提高了检测效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
风机检测结构和风机装置


[0001]本公开属于风冷设备检测
，具体涉及一种风机检测结构和风机装置。

技术介绍

[0002]在半导体的制造过程中，需要经过多步工艺，例如初次氧化、化学气相沉积镀膜、化学机械研磨、光刻、退火、离子注入等。而在这些工艺中常常需要用到高温炉或者氧化扩散炉。其中，高温炉或者氧化扩散炉上均设有用于排热的风机装置，为保证风机装置正常工作，因此，需要检测人员定期爬上高温炉或者氧化扩散炉以对风机装置进行巡检，以确认风机装置是否正常工作，但该检测方法大量浪费人工，效率低，且检测人员爬上高温炉或者氧化扩散炉会存在安全隐患。

技术实现思路

[0003]本公开的目的在于提供一种风机检测结构和风机装置，能够及时检测风机的工作情况，且提高了检测效率。
[0004]本公开第一方面提供了一种风机检测结构，包括：
[0005]支架；
[0006]转动件，活动连接在所述支架上，所述转动件的至少部分朝向风机的出风口设置，所述转动件的转动量与所述出风口的风速对应设置；
[0007]检测元件，设置于所述转动件和/或所述支架上，用于检测所述转动件的转动量，以确定所述出风口的风速。
[0008]在本公开的一种示例性实施例中，所述转动件具有依次排布的主动部、中间连接部和从动部，所述主动部与所述出风口相对设置，所述中间连接部与所述支架进行转动连接，所述从动部与所述出风口错位设置。
[0009]在本公开的一种示例性实施例中，所述检测元件设置于所述从动部上和所述支架上。/>[0010]在本公开的一种示例性实施例中，所述检测元件包括触发部和感应部，所述触发部连接在所述从动部上，所述感应部连接在所述支架上，其中，
[0011]所述触发部与所述感应部之间的间距大于一预设值时，所述感应部不会接收到感应信号；
[0012]所述触发部与所述感应部之间的间距小于或等于所述预设值时，所述感应部能够接收到感应信号。
[0013]在本公开的一种示例性实施例中，所述触发部为磁吸件，所述感应部为干簧管，其中，
[0014]所述磁吸件与所述干簧管之间的间距小于所述预设值时，所述干簧管内的两电极簧片相断开；
[0015]所述磁吸件与所述干簧管之间的间距大于或等于所述预设值时，所述干簧管内的
两电极簧片导电连接。
[0016]在本公开的一种示例性实施例中，所述检测元件包括光发射器、光接收器和检测盘，所述光发射器与所述光接收器连接在所述支架上，所述检测盘可转动地连接在所述支架上，并能够随着所述从动部转动，其中，
[0017]所述检测盘上设有多个通光孔，各所述通光孔绕着所述检测盘的圆心设置；
[0018]所述光发射器发射出的光信号通过所述通光孔后，所述光接收器能够接收到所述光信号。
[0019]在本公开的一种示例性实施例中，所述从动部与所述支架之间设有弹性限位件。
[0020]在本公开的一种示例性实施例中，所述主动部包括挡风顶板和挡风侧板，所述挡风侧板倾斜连接在所述挡风顶板靠近所述出风口的一侧，所述挡风侧板与所述挡风顶板之间形成夹角α，90
°
＜α≤160
°
；和/或，
[0021]所述主动部除了与所述中间连接部相接的一侧之外的其余侧均设置有所述挡风侧板。
[0022]在本公开的一种示例性实施例中，所述支架包括第一安装座和固定板，所述转动件转动连接于所述第一安装座的顶部，所述固定板连接于所述第一安装座的侧周部上，并凸出于所述第一安装座设置，所述固定板相对于所述第一安装座的底部更靠近于所述第一安装座的顶部，其中，
[0023]所述支架通过所述第一安装座的底部与所述风机固定连接；或者，
[0024]所述支架通过所述固定板与所述风机固定连接。
[0025]本公开第二方面提供了一种风机装置，包括风机以及上述的风机检测结构，所述风机检测结构连接在所述风机的外壳上。
[0026]本公开方案的有益效果：
[0027]本公开通过将转动件转动连接在支架上，且转动件的至少部分朝向风机的出风口设置，这样使得转动件的转动量会受风机的风速影响；而检测元件设置于转动件和/或支架上，用于检测转动件的转动量，若检测到转动件的转动量达到设定值时(例如，风机正常工作的风速为a时，而转动件对应风速为a时的转动量为b，那么检测元件检测到转动件的转动量大于b时)，则证明风机正常工作；若转动件的转动量小于设定值(例如，风机正常工作的风速为a时，而转动件对应风速为a时的转动量为b，那么检测元件检测到转动件的转动量小于b时)，则说明转动件基本处于静止状态，则证明风机不工作或者产生的气流较小，风机出现了故障，因此，本申请利用此风机检测结构对风机进行检测，代替了人工巡检，提高了效率，且能够更及时的发现风机的异常情况。
[0028]本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
[0029]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
[0030]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开
的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1示出了本公开实施例一所述的风机检测结构的立体结构示意图；
[0032]图2示出了本公开实施例一所述的支架的放大结构示意图；
[0033]图3示出了本公开实施例一所述的转动件的放大结构示意图；
[0034]图4示出了本公开实施例二所述的风机检测结构的立体结构示意图；
[0035]图5示出了本公开实施例二所述的风机检测结构的俯视结构示意图；
[0036]图6示出了本公开实施例三所述的风机装置的立体结构示意图。
[0037]附图标记说明：
[0038]10、风机检测结构；11、支架；111、固定板；112、第一安装座；1121、第一安装板；1122、第二安装板；1123、第三安装板；1124、第四安装板；113、第二安装座；12、转动件；121、主动部；1211、挡风顶板；1212、挡风侧板；122、中间连接部；1221、连接板；1222第一耳板；1223第二耳板；123、从动部；13、检测元件；131、触发部；132、感应部；133、检测盘；134、光发射器；14、弹性限位件；20、风机。
具体实施方式
[0039]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。
[0040]在本公开中，术语“第一”、“第二”仅用于描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种风机检测结构，其特征在于，包括：支架；转动件，活动连接在所述支架上，所述转动件的至少部分朝向风机的出风口设置，所述转动件的转动量与所述出风口的风速对应设置；检测元件，设置于所述转动件和/或所述支架上，用于检测所述转动件的转动量，以确定所述出风口的风速。2.根据权利要求1所述的风机检测结构，其特征在于，所述转动件具有依次排布的主动部、中间连接部和从动部，所述主动部与所述出风口相对设置，所述中间连接部与所述支架进行转动连接，所述从动部与所述出风口错位设置。3.根据权利要求2所述的风机检测结构，其特征在于，所述检测元件设置于所述从动部上和所述支架上。4.根据权利要求3所述的风机检测结构，其特征在于，所述检测元件包括触发部和感应部，所述触发部连接在所述从动部上，所述感应部连接在所述支架上，其中，所述触发部与所述感应部之间的间距大于预设值时，所述感应部未接收到感应信号；所述触发部与所述感应部之间的间距小于或等于所述预设值时，所述感应部能够接收到感应信号。5.根据权利要求4所述的风机检测结构，其特征在于，所述触发部为磁吸件，所述感应部为干簧管，其中，所述磁吸件与所述干簧管之间的间距大于所述预设值时，所述干簧管内的两电极簧片相断开；所述磁吸件与所述干簧管之间的间距小于或等于所述预设值时，所述干簧管内的两电极簧片导电连接。6.根据权利要求2所述的风机检测结构，其特征在于，所述检测元件包括光发射器、光接收器和检测盘，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋修扬，孙玉群，赵利，孙军旗，任宏志，
申请(专利权)人：北海惠科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：