一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构制造技术

本实用新型专利技术提出一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构，包括导向支承构件、转接承载构件、动力驱转构件、配接定位构件及定位切换构件，该自动定位机构将承载座板通过转接滑块安装于支承座架的导向轨杆上，并在承载座板下方设置驱动电机，驱动电机通过传动丝杆及传动螺母带动承载座板沿导向轨杆移动，使承载座板上的晶圆盒可与解锁机构准确对接，还设置由切换气缸驱动的定位夹爪对置于承载座板顶部的晶圆盒进行定位，避免晶圆盒在解锁过程中滑移，从而提升解锁过程的准确性和稳定性，提高解锁效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构


[0001]本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构。

技术介绍

[0002]在一种晶圆盒解锁设备的运行过程中，晶圆盒的定位机构较为固定，设备长期使用后容易发生微量偏移，同时晶圆盒的规格发生变化后，解锁设备也难以即时进行调整适配，使得解锁机构与晶圆盒的配合状态不够紧密，增加解锁故障，并造成设备损坏。因此，有必要设计一种晶圆盒定位机构，以克服上述缺陷。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构，以便于对晶圆盒进行定位，提高解锁效率。
[0004]本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构包括：
[0006]导向支承构件，该导向支承构件安装于机架上；
[0007]转接承载构件，该转接承载构件通过活动连接结构安装于导向支承构件上，可在导向支承构件上移动，转接承载构件上具有放置晶圆盒的空间；
[0008]动力驱转构件，该动力驱转构件安装于机架上，并与转接承载构件配合，由动力驱转构件带动转接承载构件在导向支承构件上移动；
[0009]配接定位构件，该配接定位构件通过活动连接结构安装于转接承载构件上，并与晶圆盒适配，由配接定位构件对晶圆盒进行定位；
[0010]定位切换构件，该定位切换构件安装于转接承载构件上，并与配接定位构件配合，由定位切换构件对配接定位构件的定位状态进行切换。
[0011]导向支承构件包括：r/>[0012]支承座架，该支承座架设有一对，各支承座架分别安装于机架上，并相互平行；
[0013]导向轨杆，该导向轨杆设有一对，各导向轨杆分别安装于支承座架顶部，并沿支承座架的长度方向延伸。
[0014]转接承载构件包括：
[0015]承载座板，该承载座板位于导向轨杆上方，其顶部具有放置晶圆盒的空间；
[0016]转接滑块，该转接滑块设有两对，各对转接滑块分别安装于承载座板底部，并与导向轨杆配合，承载座板可通过转接滑轨沿导向轨杆移动。
[0017]动力驱转构件包括：
[0018]驱动电机，该驱动电机安装于机架上，并位于承载座板下方；
[0019]传动丝杆，该传动丝杆连接于驱动电机的动力输出轴末端，并与导向轨杆平行；
[0020]传动螺母，该传动螺母安装于承载座板底部，并与传动丝杆配合，驱动电机通过传
动丝杆及传动螺母带动承载座板沿导向轨杆移动。
[0021]配接定位构件包括：
[0022]装配座块，该装配座块安装于承载座板底部；
[0023]定位夹爪，该定位夹爪中部通过转轴安装于装配座块上，承载座板中开设有避位槽口，定位夹爪顶部穿过避位槽口后延伸至承载座板上方，使定位夹爪可在装配座块上偏转，由定位夹爪对置于承载座板顶部的晶圆盒进行定位。
[0024]定位切换构件包括：
[0025]切换气缸，该切换气缸的缸体安装于承载座板底部，其活塞杆末端与定位夹爪底部铰接，由切换气缸带动定位夹爪切换偏转位置。
[0026]本技术的优点在于：
[0027]该自动定位机构将承载座板通过转接滑块安装于支承座架的导向轨杆上，并在承载座板下方设置驱动电机，驱动电机通过传动丝杆及传动螺母带动承载座板沿导向轨杆移动，使承载座板上的晶圆盒可与解锁机构准确对接，还设置由切换气缸驱动的定位夹爪对置于承载座板顶部的晶圆盒进行定位，避免晶圆盒在解锁过程中滑移，从而提升解锁过程的准确性和稳定性，提高解锁效率。
附图说明
[0028]图1是本技术提出的用于晶圆盒解锁的自动定位机构正面的结构示意图；
[0029]图2是该自动定位机构的背面结构示意图。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]如图1、图2所示，本技术提出的用于晶圆盒解锁的自动定位机构包括导向支承构件、转接承载构件、动力驱转构件、配接定位构件及定位切换构件，导向支承构件安装于机架上，转接承载构件通过活动连接结构安装于导向支承构件上，可在导向支承构件上移动，转接承载构件上具有放置晶圆盒的空间，动力驱转构件安装于机架上，并与转接承载构件配合，由动力驱转构件带动转接承载构件在导向支承构件上移动，配接定位构件通过活动连接结构安装于转接承载构件上，并与晶圆盒适配，由配接定位构件对晶圆盒进行定位，定位切换构件安装于转接承载构件上，并与配接定位构件配合，由定位切换构件对配接定位构件的定位状态进行切换。在本实施例中，导向支承构件包括支承座架110及导向轨杆120，支承座架设有一对，各支承座架分别安装于机架上，并相互平行，导向轨杆设有一对，各导向轨杆分别安装于支承座架顶部，并沿支承座架的长度方向延伸。转接承载构件包括
承载座板210及转接滑块220，承载座板位于导向轨杆上方，其顶部具有放置晶圆盒的空间，转接滑块设有两对，各对转接滑块分别安装于承载座板底部，并与导向轨杆配合，承载座板可通过转接滑轨沿导向轨杆移动。动力驱转构件包括驱动电机310、传动丝杆320及传动螺母330，驱动电机安装于机架上，并位于承载座板下方，传动丝杆连接于驱动电机的动力输出轴末端，并与导向轨杆平行，传动螺母安装于承载座板底部，并与传动丝杆配合，驱动电机通过传动丝杆及传动螺母带动承载座板沿导向轨杆移动。配接定位构件包括装配座块410及定位夹爪420，装配座块安装于承载座板底部，定位夹爪中部通过转轴安装于装配座块上，承载座板中开设有避位槽口，定位夹爪顶部穿过避位槽口后延伸至承载座板上方，使定位夹爪可在装配座块上偏转，由定位夹爪对置于承载座板顶部的晶圆盒进行定位。定位切换构件包括切换气缸500，切换气缸的缸体安装于承载座板底部，其活塞杆末端与定位夹爪底部铰接，由切换气缸带动定位夹爪切换偏转位置。该自动定位机构将承载座板通过转接滑块安装于支承座架的导向轨杆上，并在承载座板下方设置驱动电机，驱动电机通过传动丝杆及传动螺母带动承载座板沿导向轨杆移动，使承载座板上的晶圆盒可与解锁机构准确对接，还设置由切换气缸驱动的定位夹爪对置于承载座板顶部的晶圆盒进行定位，避免晶圆盒在解锁过程中滑移，从而提升解锁过程的准确性和稳定性，提高解锁效率。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构，其特征在于，包括：导向支承构件，该导向支承构件安装于机架上；转接承载构件，该转接承载构件通过活动连接结构安装于导向支承构件上，可在导向支承构件上移动，转接承载构件上具有放置晶圆盒的空间；动力驱转构件，该动力驱转构件安装于机架上，并与转接承载构件配合，由动力驱转构件带动转接承载构件在导向支承构件上移动；配接定位构件，该配接定位构件通过活动连接结构安装于转接承载构件上，并与晶圆盒适配，由配接定位构件对晶圆盒进行定位；定位切换构件，该定位切换构件安装于转接承载构件上，并与配接定位构件配合，由定位切换构件对配接定位构件的定位状态进行切换。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构，其特征在于，导向支承构件包括：支承座架，该支承座架设有一对，各支承座架分别安装于机架上，并相互平行；导向轨杆，该导向轨杆设有一对，各导向轨杆分别安装于支承座架顶部。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭东，郭晓婷，
申请(专利权)人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：