一种极限扩容型石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开一种极限扩容型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置，所述支撑装置包括两组导电安装架；每组导电安装架均包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部和负极连接部包括多个石墨电极块，所述石墨电极块与石墨舟片侧边的距离为10mm

【技术实现步骤摘要】
一种极限扩容型石墨舟


[0001]本技术涉及一种光伏电池生产设备，具体涉及一种极限扩容型石墨舟。

技术介绍

[0002]石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行薄膜沉积的承载工具。
[0003]随着光伏行业的不断发展，市场竞争日益激烈，各大厂商电池片光电转换效率间差距越来越小，低成本化成为了行业共同追逐的目标，传统产线改造均陷入了设备改造和牺牲产量的矛盾中，无论选择哪种方向都与低成本化方向背道而驰，为改善此种状况，有必要对镀膜载具
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石墨舟做进一步的改进，以提高产量，降低成本。

技术实现思路

[0004]本技术目的在于克服现有技术的不足，提供一种极限扩容型石墨舟，该石墨舟在整体规格保持不变且镀膜设备不需改造的情况下，具有更大的容量，有效提高硅片的产能。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案实现：
[0006]一种极限扩容型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置，所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距且平行连接在所述两组导电安装架之间；每组导电安装架均包括正极连接部和负极连接部，相邻两片石墨舟片中，其中一片与所述正极连接部连接，另一片与所述负极连接部连接；所述正极连接部和负极连接部包括多个石墨电极块，所述石墨电极块与石墨舟片侧边的距离为10mm
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14mm；
[0007]所述多片石墨舟片之间设有两组加固结构，该两组加固结构分别设置在所述石墨舟片的上部和下部，每组加固结构均包括多条陶瓷杆，所述多条陶瓷杆沿石墨舟片的长度方向等间距排列设置且与所述石墨舟片相互垂直；相邻两片石墨片之间形成上下互通的镂空槽，所述两组加固结构将所述镂空槽分成多个用于存放硅片的承载单元，所述承载单元中设有用于装载固定硅片的支承结构；当硅片通过所述支承结构存放在所述承载单元中时，硅片的侧边与所述陶瓷杆的距离为3mm
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4mm。
[0008]上述极限扩容型石墨舟的工作原理是：
[0009]相邻两片石墨舟片之间形成一个矩形且较长的镂空槽，同时通过所述两组加固结构，穿插在多个镂空槽中并将每个镂空槽分隔成多个承载单元，从而在沿着石墨舟片的长度方向上，设有多列承载单元。待加工的硅片放置在所述承载单元中，并通过所述支承结构进行固定；在石墨舟上的每个承载单元装载硅片后，利用石墨舟将硅片运送至镀膜设备中，对硅片进行薄膜沉积加工。本技术中，由于将承载单元中硅片与陶瓷杆之间的间距设置得更小，具体为3mm
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4mm，使得两条陶瓷杆之间的间距进一步缩小，与此同时，正极连接部和负极连接部的石墨电极块与石墨舟片侧边的距离也进一步缩小，具体为10mm
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14mm，从而
在石墨舟的整体规格尺寸基本不改变的前提下，对于承载同尺寸硅片的石墨舟来说，能够将承载单元的列数增加一列，具体的，原来只能设置7列承载单元，改进后的石墨舟上的承载单元设有8列，其硅片承载数量明显提升，产能大大提高，且无需对镀膜设备进行改造，具有非常可观的经济效益。
[0010]本技术的一个优选方案，所述正极连接部和负极连接部还包括陶瓷连接杆，所述正极连接部和负极连接部的多个石墨电极块沿横向排列设置，且石墨电极块上设有通孔，所述陶瓷连接杆穿设在多个石墨电极块的通孔中。
[0011]本技术的一个优选方案，所述石墨电极块的内侧设有圆角。
[0012]本技术的一个优选方案，所述石墨舟片的两侧上端均设有扩展部，所述扩展部向外延伸设置；位于最外两侧的陶瓷杆穿设在所述扩展部上。
[0013]本技术的一个优选方案，石墨舟的总长度为1700mm
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1720mm；在镀膜过程中，所述两个导电安装架位于镀膜设备的恒温区的外部。
[0014]本技术的一个优选方案，在每个承载单元中，相邻的两片石墨舟片上均设有所述支承结构；所述支承结构包括多个限位圆柱，所述限位圆柱上设有限位槽，所述多个限位圆柱包括设置在承载单元两侧的侧部圆柱和设置在承载单元底部的底部圆柱。
[0015]优选地，所述限位圆柱包括中间段以及设置在中间段两侧的限位段，所述限位段与中间段之间构成所述限位槽，所述限位圆柱的中间段与所述石墨舟片连接，所述中间段两侧的限位段分别向两侧的承载单元延伸设置。
[0016]本技术的一个优选方案，垂直于石墨舟片长度的方向，位于两外侧的石墨舟片密闭设置，位于中部的石墨舟片上设有多个通气槽，所述通气槽与承载单元对应设置。
[0017]优选地，位于两外侧的石墨舟片上设有多个凹槽，所述凹槽与承载单元对应设置。
[0018]本技术的一个优选方案，所述陶瓷杆上设有多个陶瓷套，每个陶瓷套均设置在相邻两片石墨舟片之间。
[0019]本技术与现有技术相比具有以下有益效果：
[0020]本技术的极限扩容型石墨舟，在传统现有的石墨舟的基础上，同时不对镀膜设备改造，且石墨舟的整体规格尺寸基本保持不变的情况下，将承载硅片的空间进行极限扩容，充分利用镀膜设备恒温区的空间，在原有7列承载单元的基础上，再增加了一列承载单元，形成具有8列承载单元承载能力的石墨舟，具体地，从原有378pcs装载量提升至448pcs装载量，提升数量非常可观，硅片的产能大大提升，有效降低生产成本。
附图说明
[0021]图1为本技术的极限扩容型石墨舟的其中一种具体实施方式的立体结构示意图。
[0022]图2为图1的局部立体结构示意图。
[0023]图3为硅片装载在承载单元时的示意图。
[0024]图4为石墨电极块的立体图。
[0025]图5为限位圆柱的主视图。
具体实施方式
[0026]下面结合实施例和附图对本技术作进一步描述，但本技术的实施方式不仅限于此。
[0027]参见图1
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图4，本实施例的极限扩容型石墨舟，包括多片石墨舟片3以及支撑装置，所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片3等间距且平行连接在所述两组导电安装架之间；每组导电安装架均包括正极连接部1和负极连接部2，相邻两片石墨舟片3中，其中一片与所述正极连接部1连接，另一片与所述负极连接部2连接；所述正极连接部1和负极连接部2包括多个石墨电极块7，所述石墨电极块7与石墨舟片3侧边的距离B为10mm
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14mm。
[0028]所述多片石墨舟片3之间设有两组加固结构，该两组加固结构分别设置在所述石墨舟片3的上部和下部，每组加固结构均包括多条陶瓷杆5，所述多条陶瓷杆5沿石墨舟片3的长度方向等间距排列设置且与所述石墨舟片3相互垂直；相邻两片石墨片之间形成上下互通的镂空槽，所述两组加固结构将所述镂空槽分成多个用于存放硅片的承载单元4，所述承载单元4中设有用于装载固定硅片的支承结构；当硅片通过所述支承结构存本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种极限扩容型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置，所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距且平行连接在所述两组导电安装架之间；每组导电安装架均包括正极连接部和负极连接部，相邻两片石墨舟片中，其中一片与所述正极连接部连接，另一片与所述负极连接部连接；其特征在于，所述正极连接部和负极连接部包括多个石墨电极块，所述石墨电极块与石墨舟片侧边的距离为10mm
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14mm；所述多片石墨舟片之间设有两组加固结构，该两组加固结构分别设置在所述石墨舟片的上部和下部，每组加固结构均包括多条陶瓷杆，所述多条陶瓷杆沿石墨舟片的长度方向等间距排列设置且与所述石墨舟片相互垂直；相邻两片石墨片之间形成上下互通的镂空槽，所述两组加固结构将所述镂空槽分成多个用于存放硅片的承载单元，所述承载单元中设有用于装载固定硅片的支承结构；当硅片通过所述支承结构存放在所述承载单元中时，硅片的侧边与所述陶瓷杆的距离为3mm
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4mm。2.根据权利要求1所述的极限扩容型石墨舟，其特征在于，所述正极连接部和负极连接部还包括陶瓷连接杆，所述正极连接部和负极连接部的多个石墨电极块沿横向排列设置，且石墨电极块上设有通孔，所述陶瓷连接杆穿设在多个石墨电极块的通孔中。3.根据权利要求1或2所述的极限扩容型石墨舟，其特征在于，所述石墨电极块的内侧设有圆角。4.根据权利要求1所述的极限扩容型石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：隗柯，孙海龙，李文红，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：