一种石墨片线切割机的自动化收料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种石墨片线切割机的自动化收料装置，包括取料翻转机构以及转移搬运机构；所述取料翻转机构包括翻转架、设置在翻转架上的取料吸附组件、驱动所述翻转架在水平姿态和竖立姿态之间进行翻转切换的翻转驱动机构以及驱动所述翻转架横向移动以靠近或远离石墨片的横向驱动机构，当翻转架处于竖立姿态时，所述取料吸附组件与待收料的石墨片对应；所述转移搬运机构包括运动架、设置在运动架上的转移吸附组件以及驱动所述运动架进行多轴运动的转移驱动机构，所述转移吸附组件设置在所述运动架的底部；所述取料吸附组件和转移吸附组件均与真空设备连接。本实用新型专利技术实现对石墨片的自动化收料，从而提高生产效率，减少劳动力。少劳动力。少劳动力。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨片线切割机的自动化收料装置


[0001]本技术涉及一种石墨片生产设备，具体涉及一种石墨片线切割机的自动化收料装置。

技术介绍

[0002]在硅片镀膜生产加工过程中，一般会采用石墨舟作为载体装置，以便实现批量硅片的镀膜加工。石墨舟一般包括多个等间距排列设置的石墨舟片，每个石墨舟片上均设有多个承载位置，石墨舟的两端均设有凸出部以便固定连接，石墨舟片上的承载位置由镂空的承载槽构成。
[0003]采用线切割机对石墨舟片进行线切割生产，能够提高石墨舟片的生产效率和裁切精度。在本申请人的在先申请中，公开了一种石墨舟片的生产工艺，其具体是利用特定设计的吸附夹具对预处理后的石墨块进行装夹，并采用线切割的方式对石墨块进行切割，即可完成石墨舟片的生产。
[0004]为了进一步提升石墨舟片的生产效率和降低人工参与，实现石墨舟片的自动化制造，现提出一种自动化收料装置，从而对完成切割加工的独立的石墨舟片的进行机械化收料处理。

技术实现思路

[0005]本技术目的在于克服现有技术的不足，提供一种石墨片线切割机的自动化收料装置，该装置实现对石墨片的自动化收料，从而提高生产效率，减少劳动力。
[0006]本技术的目的通过以下技术方案实现：
[0007]一种石墨片线切割机的自动化收料装置，其特征在于，包括取料翻转机构以及转移搬运机构；其中，所述取料翻转机构包括翻转架、设置在翻转架上的取料吸附组件、驱动所述翻转架在水平姿态和竖立姿态之间进行翻转切换的翻转驱动机构以及驱动所述翻转架横向移动以靠近或远离石墨片的横向驱动机构，当翻转架处于竖立姿态时，所述取料吸附组件与待收料的石墨片对应；所述转移搬运机构包括运动架、设置在运动架上的转移吸附组件以及驱动所述运动架进行多轴运动的转移驱动机构，所述转移吸附组件设置在所述运动架的底部；所述取料吸附组件和转移吸附组件均与真空设备连接。
[0008]上述石墨片线切割机的自动化收料装置的工作原理是：
[0009]当线切割机从石墨块上切割处一块独立的石墨片后，所述横向驱动机构驱动翻转架向前移动(向靠近线切割机的一侧)，并在真空设备的作用下，通过取料吸附组件将该石墨片吸住，随后横向驱动机构驱动翻转架向后移动(向远离线切割的一侧)，使得翻转架与线切割机上的石墨块之间留有一定的空间，让翻转架具有足够的空间进行翻转运动；紧接着，所述翻转驱动机构驱动翻转架向上翻转九十度，使得翻转架从竖立姿态转换为水平姿态，此时被吸附在翻转架上的石墨片也处于水平朝上的姿态。接着，在转移驱动机构的驱动下，所述运动架运动至翻转架的上方，且使得运动架上的转移吸附组件与翻转架上的石墨
片对应，并通过所述转移吸附组件吸住石墨片的顶面，同时翻转架上的取料吸附组件松开石墨片，完成石墨片的交接。最后，通过转移驱动机构将运动架驱动至指定的放料位置，转移吸附组件松开石墨片，完成整个收料过程。
[0010]本技术的一个优选方案，所述转移驱动机构包括用于驱动所述运动架沿竖向方向移动的Z驱动机构以及用于驱动运动架沿纵向方向移动的Y驱动机构。
[0011]优选地，所述转移驱动机构还包括用于驱动所述运动架沿横向方向移动的X驱动机构。
[0012]优选地，所述Z驱动机构上设有用于驱动运动架旋转的旋转驱动机构。
[0013]本技术的一个优选方案，还包括收料架，该收料架设置在线切割机的一侧，且所述收料架沿纵向方向延伸设置。
[0014]本技术的一个优选方案，所述取料翻转机构还包括安装架，该安装架固定设置在机架上；所述安装架上设有纵向延伸设置的固定杆，所述翻转架与所述固定杆连接；所述翻转驱动机构包括两个翻转动力源，所述两个翻转动力源分别设置在所述固定杆的两端，且分别与固定杆的两端连接。
[0015]本技术的一个优选方案，所述取料吸附组件和转移吸附组件均包括多组真空吸盘，所述多组真空吸盘沿纵向方向排列设置，同组的两个真空吸盘沿竖向方向排列设置且分别与石墨片的上下边缘对应。
[0016]优选地，所述翻转架和运动架上均设有纵向延伸设置的安装槽，每组真空吸盘均通过安装件连接在所述安装槽上，所述安装件的上下两端均设有调节槽，所述真空吸盘设置在所述调节槽上。
[0017]本技术的一个优选方案，所述安装架与机架之间设有横向导向机构，该横向导向机构包括横向导轨和横向滑块，所述横向导轨固定设置在机架上，所述横向滑块固定连接在所述安装架底部，所述横向导轨和横向滑块配合连接。
[0018]本技术的一个优选方案，沿着石墨片的出料方向，所述石墨片的前方设有定位推料机构，该定位推料机构包括柔性推料块以及驱动所述柔性推料块前后移动的推料驱动机构。
[0019]本技术与现有技术相比具有以下有益效果：
[0020]1、本技术实现对石墨片的自动化收料，有效提高石墨片线切割生产的效率，减少劳动力。
[0021]2、采用真空吸附的方式对石墨片进行自动化搬运转移，精度高，且有利于对石墨片进行保护，避免被损坏。
附图说明
[0022]图1
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图2为本技术的石墨片线切割机的自动化收料装置的其中一种具体实施方式的结构示意图，其中，图1为主视图，图2为立体图。
[0023]图3
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图5为取料翻转机构的结构示意图，其中，图3为侧视图，图4为第一视角立体图，图5为第二视角立体图。
[0024]图6为转移搬运机构的立体图。
具体实施方式
[0025]下面结合实施例和附图对本技术作进一步描述，但本技术的实施方式不仅限于此。
[0026]参见图1
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图6，本实施例的石墨片线切割机的自动化收料装置，包括取料翻转机构4以及转移搬运机构3；其中，所述取料翻转机构4包括翻转架5、设置在翻转架5上的取料吸附组件6、驱动所述翻转架5在水平姿态和竖立姿态之间进行翻转切换的翻转驱动机构以及驱动所述翻转架5横向移动以靠近或远离石墨片的横向驱动机构8，当翻转架5处于竖立姿态时，所述取料吸附组件6与待收料的石墨片对应；所述转移搬运机构3包括运动架17、设置在运动架17上的转移吸附组件18以及驱动所述运动架17进行多轴运动的转移驱动机构，所述转移吸附组件18设置在所述运动架17的底部；所述取料吸附组件6和转移吸附组件18均与真空设备连接。
[0027]参见图6，所述转移驱动机构包括用于驱动所述运动架17沿竖向方向移动的Z驱动机构19以及用于驱动运动架17沿纵向方向移动的Y驱动机构20。所述转移驱动机构还包括用于驱动所述运动架17沿横向方向移动的X驱动机构21。这样，实现运动架17的横向、纵向以及竖向的移动，提升运动架17的移动灵活性，从而提高运动架17的转移运动能力，以便将石墨片转移至指定的位置。
[0028]参见图1、图2和图6，所述Z驱动机构19上设有用于驱动运动架17旋转的旋转驱动机构22。具体地，本实施例中，所述旋转驱动机构22为旋转气缸；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨片线切割机的自动化收料装置，其特征在于，包括取料翻转机构以及转移搬运机构；其中，所述取料翻转机构包括翻转架、设置在翻转架上的取料吸附组件、驱动所述翻转架在水平姿态和竖立姿态之间进行翻转切换的翻转驱动机构以及驱动所述翻转架横向移动以靠近或远离石墨片的横向驱动机构，当翻转架处于竖立姿态时，所述取料吸附组件与待收料的石墨片对应；所述转移搬运机构包括运动架、设置在运动架上的转移吸附组件以及驱动所述运动架进行多轴运动的转移驱动机构，所述转移吸附组件设置在所述运动架的底部；所述取料吸附组件和转移吸附组件均与真空设备连接。2.根据权利要求1所述的石墨片线切割机的自动化收料装置，其特征在于，所述转移驱动机构包括用于驱动所述运动架沿竖向方向移动的Z驱动机构以及用于驱动运动架沿纵向方向移动的Y驱动机构。3.根据权利要求2所述的石墨片线切割机的自动化收料装置，其特征在于，所述转移驱动机构还包括用于驱动所述运动架沿横向方向移动的X驱动机构。4.根据权利要求3所述的石墨片线切割机的自动化收料装置，其特征在于，所述Z驱动机构上设有用于驱动运动架旋转的旋转驱动机构。5.根据权利要求1所述的石墨片线切割机的自动化收料装置，其特征在于，还包括收料架，该收料架设置在线切割机的一侧，且所述收料架沿纵向方向延伸设置。6.根据权利要求1所述的石墨片线切割机的自动化收...

【专利技术属性】
技术研发人员：李一栋，李文红，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：