一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟制造技术

本发明专利技术公开了一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟，属于太阳能电池片生产技术领域，包括石墨舟片、石墨卡点及连接结构，石墨舟片包括石墨外舟片及中间石墨舟片；中间石墨舟片包括舟片本体及电极连接板，舟片本体包括承载部及连接部；连接部上设连接孔及避空孔；绝缘套包括内层套、中层套及外层套，内层套包括安装孔、连接外壁及限位凸环；中层套包括第一套孔及第一容纳孔，第一容纳孔的直径大于限位凸环的直径，第一容纳孔的长度小于限位凸环的长度，第一容纳孔的内端面抵在限位凸环的一端；外层套包括第二套孔及第二容纳孔，第二容纳孔的直径大于中层套的外径，第二容纳孔的内端面抵紧在限位凸环的另一端。该石墨舟适用于导电、不导电的薄膜沉积。电的薄膜沉积。电的薄膜沉积。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟


[0001]本专利技术涉及太阳能电池片生产
，具体涉及一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟。

技术介绍

[0002]石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行薄膜沉积的承载工具。现有的石墨舟包括多片石墨舟片、多个石墨垫块、多个石墨舟脚、多根陶瓷棒、多根石墨杆、陶瓷圈以及石墨螺母；由于相邻的两石墨舟片中，其中一片连接电源负极，另一片连接电源正极，因此相邻的两石墨舟片通过陶瓷棒和陶瓷圈连接在一起，防止相邻的两石墨舟片导通。上述石墨舟中，相邻的两片石墨舟之间通过陶瓷套分隔开，当需要沉积的薄膜是导电材料后，由于沉积的导电薄膜会附着在陶瓷套表面，使得陶瓷套导电，由于陶瓷套的两端分别抵紧在相邻的两片石墨舟片之间，因此陶瓷套导电导致相邻的石墨舟片导电，不符合等离子体增强型化学气相沉积工艺的要求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟，该石墨舟不仅适用于不导电的薄膜沉积，而且适用于导电的薄膜沉积。
[0004]本专利技术解决上述技术问题的技术方案是：
[0005]一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟，包括舟片组件、设置在舟片组件上的石墨卡点以及将舟片组件连接起来的连接结构，其中，所述舟片组件包括两片设置在最外侧的石墨外舟片以及设置在石墨外舟片之间的中间石墨舟片，在相邻的两片石墨舟片中，其中一片与电源正极连接，另一片与电源负极连接；
[0006]所述中间石墨舟片包括舟片本体以及用于连接电极的电极连接板，其中，所述舟片本体包括用于承载硅片的承载部以及用于与其它石墨舟片连接的连接部；所述连接部上设有用于容纳连接杆的连接孔，所述连接部上设有用于避开隔套的避空部，在石墨舟装配完成后，所述避空部与相反电极的石墨舟片上的连接孔位置相对应；
[0007]所述连接结构包括石墨螺母、隔套、绝缘套以及用于将石墨片连接起来的陶瓷连接杆，所述陶瓷连接杆穿过相同极性的石墨舟片上的连接孔，所述隔套套设在所述陶瓷连接杆上且位于相邻的相同极性的石墨舟片之间，且该隔套位于相反极性的石墨舟片上的避空部处；所述石墨螺母锁紧在陶瓷连接杆的两端，将舟片组件连接固定；
[0008]所述绝缘套包括内层套、中层套以及外层套，所述内层套、中层套及外层套均为绝缘材料，其中，所述内层套包括用于与绝缘连接杆匹配的安装孔、用于与中层套及外层套连接的连接外壁以及设置在连接外壁上的限位凸环；
[0009]所述中层套包括用于与所述连接外壁相匹配的第一套孔以及第一容纳孔，所述第一容纳孔的直径大于限位凸环的直径，且第一容纳孔的长度小于限位凸环的长度，所述第
一容纳孔的内端面抵紧在限位凸环的一端；
[0010]所述外层套包括用于与所述连接外壁相匹配的第二套孔以及第二容纳孔，所述第二容纳孔的直径大于中层套的外径，且所述第二容纳孔的内端面抵紧在限位凸环的另一端。
[0011]上述石墨舟的工作原理是：
[0012]在装配绝缘套时，首先将中层套从内层套的一端套进去，将第一套孔套合在连接外壁上，并使得第一容纳孔的内端面抵紧限位凸环的一端；然后将外层套从内层套的另一端套进去，将第二套孔套合在连接外壁上，并使得第二容纳孔的内端面抵紧限位凸环的另一端，完成绝缘套的装配；在装载石墨舟时，将连接正电极的石墨舟片与连接负电极的石墨舟片交错排列，在将陶瓷连接杆穿过石墨舟片的连接孔，从而将多片石墨舟片连接起来；其中，在相同极性的石墨舟片之间设置了隔套，该隔套套设在连接杆上，并且一端抵紧其中一片石墨舟片，另一端抵紧另一片石墨舟片，从而将相同极性的石墨舟片按照隔套长度的间隔固定连接起来；从外向内的方向，将绝缘套设置在最外层的石墨外舟片与第二层石墨舟片之间，连接杆分别穿过最外层的石墨舟片、内层套的安装孔与其它石墨舟片连接。在石墨舟中，正极石墨舟片与负极石墨舟片交错排列，这样隔套将相同极性的石墨舟片连接起来后，隔套会横跨相反极性的石墨舟片，由于石墨舟片的连接部上设有避空孔，并且该避空孔的位置与相反极性的石墨舟片上的连接孔位置向对应，因此在石墨舟装配完成后，隔套并不会与相反极性的石墨舟片相连。在薄膜沉积时，对于导电材料的沉积薄膜，在沉积镀膜的过程中，导电的薄膜同样会沉积在隔套上导致隔套导电，避空孔的设置使得相反电极的石墨舟片避免与隔套接触，保证相邻的两片石墨舟片极性相反；在上述绝缘套中，第一容纳孔的直径大于限位凸环的之间，这样第一容纳孔与限位凸环之间形成一个小间隙；第二容纳孔的直径大于中层套的外径，这样在第二容纳孔与中层套之间同样形成一个间隙；第一容纳孔的长度小于限位凸环的长度，在第一容纳孔的内端面抵紧限位凸环的情况下，第一容纳孔的外端距离限位凸环的另一端有段小距离，由于第二容纳孔的内端抵紧限位凸环的另一端，因此在第一容纳孔的外端与第二容纳孔的内端之间也存在一个间隙，并且该间隙与前两个间隙之间互相连通，从而使得绝缘套的内部形成一个腔体。由于中层套、内层套及外层套之间互相包合且在内部存在一个连通的腔体，因此在薄膜沉积时，即使导电材料的薄膜沉积在绝缘套的外表面，而内部腔体的部分不会薄膜沉积，从而保证绝缘套始终能够保持绝缘。由此可见，在石墨舟片上设置避空孔、并在石墨外舟片与相邻的石墨舟片中设置了绝缘套，对导电材料的薄膜沉积及非导电材料的薄膜沉积均能适用，极大地提高了石墨舟的适用范围，提高石墨舟的使用率，降低生产成本。
[0013]本专利技术的一个优选方案，所述电极连接板有两块，两块所述电极连接板分别设置在舟片本体的两侧。
[0014]本专利技术的一个优选方案，所述连接部包括位于舟片本体上方的上连接部以及位于舟片本体下方的下连接部；其中，所述上连接部上设有多个连接孔及多个避空部；所述下连接部上亦设有多个连接孔及多个避空部。
[0015]本专利技术的一个优选方案，沿着舟片本体的长度方向，多个所述连接孔均匀排布在所述连接部上；多个所述避空部均匀排布在所述连接部上，且多个所述连接孔与避空部交错排列。
[0016]本专利技术的一个优选方案，所述避空部为破边孔。
[0017]本专利技术的一个优选方案，所述承载部包括多个承载位，多个所述承载位上设有用于安装石墨卡点的卡位孔。
[0018]优选地，所述承载位设置在舟片本体的中部位置，位于上连接部与下连接部之间；多个所述承载位沿着舟片本体的长度方向均匀排列。
[0019]本专利技术的一个优选方案，所述承载位上还设有矩形孔，所述卡位孔设置在所述矩形孔的周围。
[0020]本专利技术的一个优选方案，在每一个承载位上设置三个卡位孔，三个卡位孔中，包括设置在位于矩形孔下方的支撑卡位孔以及设置在矩形孔两侧的侧边卡位孔。
[0021]本专利技术的一个优选方案，所述石墨舟片包括用于与正电极连接的正极石墨舟片以及用于与负电极连接的负极石墨舟片；在正极石墨舟片中，所述电极连接板为正电极连接板，两块所述正电极连接板分别设置在舟片本体的两侧，且位于舟片本体的上部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟，包括舟片组件、设置在舟片组件上的石墨卡点以及将舟片组件连接起来的连接结构，其中，所述舟片组件包括两片设置在最外侧的石墨外舟片以及设置在石墨外舟片之间的中间石墨舟片，在相邻的两片石墨舟片中，其中一片与电源正极连接，另一片与电源负极连接；其特征在于，所述中间石墨舟片包括舟片本体以及用于连接电极的电极连接板，其中，所述舟片本体包括用于承载硅片的承载部以及用于与其它石墨舟片连接的连接部；所述连接部上设有用于容纳连接杆的连接孔，所述连接部上设有用于避开隔套的避空部，在石墨舟装配完成后，所述避空部与相反电极的石墨舟片上的连接孔位置相对应；所述连接结构包括石墨螺母、隔套、绝缘套以及用于将石墨片连接起来的陶瓷连接杆，所述陶瓷连接杆穿过相同极性的石墨舟片上的连接孔，所述隔套套设在所述陶瓷连接杆上且位于相邻的相同极性的石墨舟片之间，且该隔套位于相反极性的石墨舟片上的避空部处；所述石墨螺母锁紧在陶瓷连接杆的两端，将舟片组件连接固定；所述绝缘套包括内层套、中层套以及外层套，所述内层套、中层套及外层套均为绝缘材料，其中，所述内层套包括用于与绝缘连接杆匹配的安装孔、用于与中层套及外层套连接的连接外壁以及设置在连接外壁上的限位凸环；所述中层套包括用于与所述连接外壁相匹配的第一套孔以及第一容纳孔，所述第一容纳孔的直径大于限位凸环的直径，且第一容纳孔的长度小于限位凸环的长度，所述第一容纳孔的内端面抵紧在限位凸环的一端；所述外层套包括用于与所述连接外壁相匹配的第二套孔以及第二容纳孔，所述第二容纳孔的直径大于中层套的外径，且所述第二容纳孔的内端面抵紧在限位凸环的另一端。2.根据权利要求1所述的一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟，其特征在于，所述连接部包括位于舟片本体上方的上连接部以及位于舟片本体下方的下连接部；其中，所述上连接部上设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：南志华，孙海龙，李文红，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：