一种红外镀膜石墨舟制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨舟技术领域，尤其是一种红外镀膜石墨舟，包括单元舟，所述单元舟的端面上开设有凹槽，所述凹槽的顶部连通有放置槽，所述凹槽的内部放置有风管，所述风管的顶部规则开设有真空孔，风管通过管件与外部真空装置连通，所述放置槽的内部放置有滤网及压框，压框位于所述滤网的上方，本实用新型专利技术的石墨舟，在现有技术的基础上，在单元舟的端面上开设放置槽，并通过压框将滤网压紧在放置槽中，从而解决了现有技术中杂质堵塞真空孔不便于清理的问题，同时通过设置的密封条卡接环槽B实现压框与放置槽的固定，同时，密封条能够实现对放置槽的密封，从而避免漏真空的情况，结构简单实用性强。构简单实用性强。构简单实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种红外镀膜石墨舟


[0001]本技术涉及石墨舟
，尤其涉及一种红外镀膜石墨舟。

技术介绍

[0002]中国专利公开号“CN214505457U”公开了一种镀膜石墨舟，石墨舟适于为硅片镀膜且包括：第一石墨片和第二石墨片，多片第二石墨片位于两片第一石墨片之间任意相邻的两个第二石墨片中，该相邻的两个第二石墨片上彼此相对的两个表面为第一表面和第二表面，其中一片第一石墨片到另一片第一石墨片的方向上，第奇数个第二石墨片构造出第一套射频电源装置，第偶数个第二石墨片构造出第二套射频电源装置，当第一套射频电源装置通电时，适于对硅片朝向第二表面的表面镀膜；当第二套射频电源装置通电时，适于对硅片朝向第一表面的表面镀膜。这样，通过在第一石墨片和第二石墨片上构造出第一套射频电源装置和第二套射频电源装置，分别对其进行通对硅片的相对两面进行镀膜。
[0003]该石墨舟虽能有效的对硅片两侧进行镀膜，但是其真空孔处没有设置过滤装置，因此在实际使用过程中，杂质极易堵塞真空孔，不仅不便于清理，同时影响镀膜时对硅片的吸附能力，实用性不强值得改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在上述缺点，而提出的一种红外镀膜石墨舟。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]设计一种红外镀膜石墨舟，包括单元舟，所述单元舟的端面上开设有凹槽，所述凹槽的顶部连通有放置槽，所述凹槽的内部放置有风管，所述风管的顶部规则开设有真空孔，风管通过管件与外部真空装置连通，所述放置槽的内部放置有滤网及压框，压框位于所述滤网的上方，所述压框的端面上开设有与真空孔上下对应的通孔，所述压框与所述放置槽之间设置有固定装置。
[0007]优选的，所述固定装置为密封条，所述压框的周侧设置有环槽A，所述密封条套设在环槽A的内侧并向外凸起，所述放置槽的内周侧开设有环槽B，所述密封条位于所述环槽A外侧的凸起能够卡接在环槽B的内侧。
[0008]优选的，所述单元舟位于放置槽的边侧设置有开设有拆卸缺口。
[0009]优选的，所述通孔呈锥台结构、且其直径较大的一端靠近所述滤网的顶部。
[0010]本技术提出的一种红外镀膜石墨舟，有益效果在于：本技术的石墨舟，在现有技术的基础上，在单元舟的端面上开设放置槽，并通过压框将滤网压紧在放置槽中，从而解决了现有技术中杂质堵塞真空孔不便于清理的问题，同时通过设置的密封条卡接环槽B实现压框与放置槽的固定，同时，密封条能够实现对放置槽的密封，从而避免漏真空的情况，结构简单实用性强，具有一定的商业推广价值。
附图说明
[0011]图1为本技术提出的一种红外镀膜石墨舟的结构示意图；
[0012]图2为本技术提出的一种红外镀膜石墨舟的压框结构示意图；
[0013]图3为本技术提出的一种红外镀膜石墨舟的A区放大结构示意图。
[0014]图中：1、单元舟；2、凹槽；3、放置槽；4、风管；5、真空孔；6、滤网；7、压框；8、通孔；9、密封条；10、环槽A；11、环槽B；12、缺口。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0016]参照图1
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3，一种红外镀膜石墨舟，包括单元舟1，单元舟1的端面上开设有凹槽2，凹槽2的顶部连通有放置槽3，凹槽2的内部放置有风管4，风管4的顶部规则开设有真空孔5，风管4通过管件与外部真空装置连通，放置槽3的内部放置有滤网6及压框7，压框7位于滤网6的上方，压框7的端面上开设有与真空孔5上下对应的通孔8，压框7与放置槽3之间设置有固定装置。
[0017]更详细来说。固定装置为密封条9，压框7的周侧设置有环槽A10，密封条9套设在环槽A10的内侧并向外凸起，放置槽3的内周侧开设有环槽B11，密封条9位于环槽A10外侧的凸起能够卡接在环槽B11的内侧，本技术中通过设置的密封条9卡接环槽B11实现压框7与放置槽3的固定，同时，密封条9能够实现对放置槽3的密封，从而避免漏真空的情况，结构简单实用性强。
[0018]再者，为了便于拆卸压框7，单元舟1位于放置槽3的边侧设置有开设有拆卸缺口12。
[0019]值得注意的是，通孔8呈锥台结构、且其直径较大的一端靠近滤网6的顶部，设置的锥台结构的通孔8用于形成一较大的底部空间，在杂质进入到通孔8的内部时，不会突然堵塞通孔8。
[0020]本技术的石墨舟，在现有技术的基础上，在单元舟1的端面上开设放置槽3，并通过压框7将滤网6压紧在放置槽3中，从而解决了现有技术中杂质堵塞真空孔5不便于清理的问题，同时通过设置的密封条9卡接环槽B11实现压框7与放置槽3的固定，由于现有技术采用PECVD工艺，因此在镀膜完成后可通过红外线检测镀膜情况，同时，密封条9能够实现对放置槽3的密封，从而避免漏真空的情况，结构简单实用性强，具有一定的商业推广价值。
[0021]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外镀膜石墨舟，包括单元舟(1)，其特征在于：所述单元舟(1)的端面上开设有凹槽(2)，所述凹槽(2)的顶部连通有放置槽(3)，所述凹槽(2)的内部放置有风管(4)，所述风管(4)的顶部规则开设有真空孔(5)，风管(4)通过管件与外部真空装置连通，所述放置槽(3)的内部放置有滤网(6)及压框(7)，压框(7)位于所述滤网(6)的上方，所述压框(7)的端面上开设有与真空孔(5)上下对应的通孔(8)，所述压框(7)与所述放置槽(3)之间设置有固定装置。2.根据权利要求1所述的一种红外镀膜石墨舟，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春辉，常飞，杜炳纯，张殿德，
申请(专利权)人：森霸传感科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：