一种LED外延托盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种LED外延托盘，包括托盘本体，所述托盘本体上开设有若干开口槽，所述开口槽内安装有承载台，所述承载台用于放置所述LED外延片，所述托盘本体内设有中空腔，所述承载台通过连接柱连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台设置在所述托盘本体的中心位置，其余所述承载台环绕所述托盘本体的中心设置；活动筒，活动安装于所述承载台的外围，所述活动筒螺纹连接在所述开口槽中，以使所述活动筒可在所述承载台外围竖向移动，本申请通过活动筒将承载台分隔开，避免在LED外延片生长过程中出现粘连或者贴合的情况，省去了将LED外延片分开的工序，提高了加工效率。提高了加工效率。提高了加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种LED外延托盘


[0001]本技术属于LED外延的
，具体地涉及一种LED外延托盘。

技术介绍

[0002]在LED的外延生长过程中，通常需要将衬底放置在托盘上，并通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备在衬底上生长出N型层、有源层、P型层等，以形成LED外延片。
[0003]现有技术中的LED外延托盘，为了节省空间以及增加衬底的放置数量，通常将放置衬底的承载台相互连通设置，这样使得衬底的边缘会贴合在一起，但如此会导致在LED外延片的生长过程中，LED外延片会粘连或者贴合在一起，需要再次将其分离，增加了加工工序的同时又影响LED外延片的加工效率。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种LED外延托盘，用于解决现有技术LED外延片的生长过程中，LED外延片会粘连或者贴合在一起，需要再次将其分离，增加了加工工序的同时又影响LED外延片的加工效率的技术问题。
[0005]该技术提供以下技术方案，一种LED外延托盘，包括：
[0006]托盘本体，所述托盘本体上开设有若干开口槽，所述开口槽内安装有承载台，所述承载台用于放置所述LED外延片，所述托盘本体内设有中空腔，所述承载台通过连接柱连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台设置在所述托盘本体的中心位置，其余所述承载台环绕所述托盘本体的中心设置；
[0007]活动筒，活动安装于所述承载台的外围，所述活动筒螺纹连接在所述开口槽中，以使所述活动筒可在所述承载台外围竖向移动，所述活动筒的外壁设有外螺纹，所述开口槽上设有与所述外螺纹相适配的内螺纹，所述承载台与所述活动筒的内壁贴合；
[0008]其中，所述活动筒的高度等于所述承载台与所述连接柱的高度之和。
[0009]相比现有技术，本申请的有益效果为：本申请通过活动筒的阻挡，可将若干个承载台分隔开，使得每个承载台成为一个独立的个体，避免在LED外延片生长过程中出现粘连或者贴合的情况，省去了将LED外延片分开的工序，提高了LED外延片的加工效率。
[0010]较佳地，所述承载台的顶面高于所述托盘本体的顶面。
[0011]较佳地，所述托盘本体的表面开设有若干冷却孔，所述冷却孔与所述中空腔连通。
[0012]较佳地，所述托盘本体由单晶硅材料制成。
[0013]较佳地，相邻两个所述承载台之间留有分隔间隙。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以
根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术实施例提供的LED外延托盘的立体图；
[0016]图2为本技术实施例提供的托盘本体的立体图；
[0017]图3为本技术实施例提供的LED外延托盘的剖面图。
[0018]附图标记说明：
[0019]托盘本体1承载台2活动筒3冷却孔4开口槽5连接柱6
[0020]以下将结合附图对本技术实施例作进一步说明。
具体实施方式
[0021]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术的实施例，而不能理解为对本技术的限制。
[0022]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0024]在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0025]在本技术的实施例中，如图1
‑
图3所示，一种LED外延托盘，包括：托盘本体1以及活动安装在所述托盘本体1上的活动筒3。
[0026]其中，所述托盘本体1上开设有若干开口槽5，所述开口槽5内安装有承载台2，所述承载台2用于放置所述LED外延片，所述托盘本体1内设有中空腔，所述承载台2通过连接柱6连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台2设置在所述托盘本体1的中心位置，其余所述承载台2环绕所述托盘本体1的中心设置；
[0027]具体的，所述开口槽5具体为圆形结构，其用于安装同样为圆形结构的承载台2，在LED外延片生长过程中，首先将衬底放置在承载台2上，并依次在衬底上生长若干半导体层以形成LED外延片；
[0028]其中，承载台2安装在开口槽5中，在开口槽5中还设有一环形安装槽，所述环形安
装槽设置在所述承载台2外缘与所述开口槽5外缘之间，即所述环形安装槽设置在开口槽5中，活动筒3连接在环形安装槽中，且活动筒3的内壁与所述承载台2的外缘贴合，活动筒3的外壁与所述开口槽5的外围边缘贴合；
[0029]值得说明的是，承载台2通过连接柱6连接在中空腔的底部，所述托盘本体1的内部中空设置以形成所述中空腔，中空腔的设置一方面可以为活动筒3的活动留出足够空间，另一方面可以便于支撑所述承载台2，进一步的，所述连接柱6连接在所述承载台2的底面中心位置，且连接柱6的直径小于所述承载台2的直径，以保证连接柱6的边缘始终处于承载台2在底面的投影范围之内，使得连接柱6的边缘不会超出所述承载台2的边缘，确保连接柱6不会影响活动筒3的移动；
[0030]可理解的是，在本实施例中，所述开口槽设有七个，其中一个设置在托盘本体1的中心位置，其余六个环绕托盘本体1的中心设置，使得托盘本体1可同时生长七块LED外延片，大幅度提高了LED外延片的加工效率。
[0031]所述活动筒3活动安装于所述承载台2的外围，所述活动筒3螺纹连接在所述开口槽5中，以使所述活动筒3可在所述承载台2外围竖向移动，所述活动筒3的外壁设有外螺纹，所述开口槽5上设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED外延托盘，用于承载LED外延片的生长，其特征在于，包括：托盘本体，所述托盘本体上开设有若干开口槽，所述开口槽内安装有承载台，所述承载台用于放置所述LED外延片，所述托盘本体内设有中空腔，所述承载台通过连接柱连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台设置在所述托盘本体的中心位置，其余所述承载台环绕所述托盘本体的中心设置；活动筒，活动安装于所述承载台的外围，所述活动筒螺纹连接在所述开口槽中，以使所述活动筒可在所述承载台外围竖向移动，所述活动筒的外壁设有外螺纹，所述开口槽上设有与所述外螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：田丰，祝华锋，丁建中，黄伟，
申请(专利权)人：江西萤火虫微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：