一种储液槽及设有该储液槽的清洗机制造技术

本实用新型专利技术提供一种储液槽，包括具有内腔的本体，所述本体内构设有储液区一和储液区二，所述储液区一与所述储液区二之间设有隔板；在所述储液区一中构造有用于加热溶液的加热装置；所述储液区二中设置有排液口。本实用新型专利技术还提出一种采用该储液槽的清洗机。本实用新型专利技术采用分区设置的储液方式，使加热和喷淋分开设置，同时改进具有喷淋功能的储液区二的结构，保证溢流时持续有水使用，同时还可对储液区二的溶液进行二次增温加热，提高清洗质量；同时还增设储液区三，以防止储液位过高而溢出储液槽。储液槽。储液槽。

【技术实现步骤摘要】
一种储液槽及设有该储液槽的清洗机


[0001]本技术属于清洗用辅助设备
，尤其是涉及一种硅片清洗用储液槽及设有该储液槽的清洗机。

技术介绍

[0002]清洗硅片是硅片加工的重要工序之一，在清洗过程中有一工序是快排清洗，就是需要在1
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2s中快速向清洗槽内喷淋一定温度的溶液进行消泡，同时还要持续地对清洗槽进行溢流换水。现有储水箱只有一个内腔，加热、蓄水一体设置，喷淋和溢流同步工作时，储水箱中的溶液被快速排出，造成加热装置干烧，有时还会造成溢流断水，不仅会产生安全风险，而且影响硅片清洗效果。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种储液槽及设有该储液槽的清洗机，解决了现有储液槽中容易干烧加热装置、溢流断水的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种储液槽，包括具有内腔的本体，所述本体内构设有储液区一和储液区二，所述储液区一与所述储液区二之间设有隔板；
[0006]在所述储液区一中构造有用于加热溶液的加热装置；
[0007]所述储液区二中设置有排液口。
[0008]进一步的，所述加热装置配置在所述储液区一的端部并插值于所述储液区一内。
[0009]进一步的，所述储液区二中也配置有所述加热装置，且所述储液区二中的所述加热装置与所述储液区一中的所述加热装置均构设在所述本体的同一端面。
[0010]进一步的，所述加热装置包括若干加热管，所述储液区二中的所述加热管的数量不大于所述储液区一中的所述加热管的数量；
[0011]所有所述加热装置的位置均低于所述隔板的高度；
[0012]且所述隔板的高度低于所述本体的壁面高度。
[0013]进一步的，所述储液区一和所述储液区二内均设有液位控件；
[0014]所述储液区一中的所述液位控件的高度高于所述储液区一中的所述加热装置的高度且低于所述隔板的高度；
[0015]所述储液区二中的所述液位控件的高度高于所述储液区二中的所述加热装置的高度且低于所述隔板的高度。
[0016]进一步的，所述本体仅构造有一个进液口，且该进液口被置于所述储液区一的内腔中；
[0017]配置于所述储液区一中的进液口和排液口均位于其底面；
[0018]且所述储液区一中的进液口的直径大于其排液口的直径。
[0019]进一步的，所述储液区二中构设有两个排液口且均位于所述储液区二的底面；
[0020]在所述储液区二内腔中，其中一个排液口的高度低于另一个排液口的高度。
[0021]进一步的，还包括构设于所述本体中远离所述加热装置一端的储液区三；
[0022]所述储液区三横跨所述储液区一和所述储液区二的宽度设置，并通过连扳与所述储液区一和所述储液区二连接；
[0023]且所述连扳的高度高于所述隔板的高度。
[0024]进一步的，在所述储液区三的底面和侧壁面均设有排液口。
[0025]一种清洗机，配置有如上任一项所述的储液槽。
[0026]采用本技术设计的一种储液槽，采用分区设置的储液方式，使加热和喷淋分开设置，同时改进具有喷淋功能的储液区二的结构，保证溢流时持续有水使用，同时还可对储液区二的溶液进行二次增温加热，提高清洗质量；同时还增设储液区三，以防止储液位过高而溢出储液槽。本技术还提出一种配置有该储液槽的清洗机。
附图说明
[0027]图1是本技术一实施例中的一种储液槽的立体图；
[0028]图2是储液槽的前侧立体图；
[0029]图3是储液槽中储液区一和储液区二的横截面示意图；
[0030]图4是储液槽的后侧立体图；
[0031]图5是本技术另一实施例中配设有盖帽的储液槽的立体图。
[0032]图中：
[0033]100、储液槽
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10、本体
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11、隔板
[0034]20、储液区一
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21、加热装置
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22、安装孔
[0035]23、液位控件
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24、进液口
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25、排液口一
[0036]30、储液区二
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31、排液口二
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32、排液口三
[0037]40、储液区三
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41、连扳
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42、排液口四
[0038]50、盖帽
具体实施方式
[0039]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
[0040]本实施例提出一种储液槽100，如图1所示，包括具有内腔的本体10，本体10内构设有具有加热功能的储液区一20和能够快速给水进行喷淋和溢流的储液区二30，储液区一20与储液区二30之间设有隔板11；至少在储液区一20中构造有用于加热溶液的加热装置21，且在储液区二30中设置有用于排液的排液口。在同一个储液槽100中，划分两个不同区域，以使加热和快给水的喷淋分开，储液区一20中持续蓄液、加热，且不会造成加热装置21干烧；储液区二20主要用于快速喷淋和缓冲溢流，当储液区一20中的溶液蓄满后会漫过隔板11进入储液区二30；在储液区二30中持续进行缓速溢流，当储液区二30中的水量达到可以快速喷淋的状态时，快速启动喷淋且同时溢流仍在进行；由于溢流的速度较小、喷淋的速度较大，则储液区二30中的溶液足矣对硅片进行快冲清洗，以确保清洗质量，保证清洗效率。
[0041]在本实施例中，本体10为长方体结构，这一结构不仅加工简单且对于同一上端口的其它类型的结构，长方体所承载的溶液体积较大；同时，也易于分割区域，各个区域有足
够的空间插置加热装置21；也有足够的平面来安装加热装置21。隔板11沿本体10的长度方向设置，也就是，隔板11使本体10分割成两个长方体的储液区一20和储液区二30。隔板11的设置使得储液区一20中始终蓄有溶液，因储液区一20中只有在清理其内溶液时才打开排液口一25，储液区一20始终是持续地进液而不排液，也就是始终存有溶液，故，隔板11的设置可保证储液区一20中的加热装置21不会出现干烧问题。
[0042]进一步的，如图2所示，加热装置21包括若干长条形且独立设置的加热管，所有加热管都被配置在储液区一20的端部并插值于储液区一20内；由于加热管长度较长，则加热装置21需要沿储液区一20的长度方向设置。由于作为加热区的储液区一20的温度基于不同工艺要求而不同，则加热的温度不一，故需至少在储液区一20内设置一组加热管；也可以设置若干组并排设置的加热管。在本体10的一端加工若干个安装孔22，当需要配置多个加热管时，即可打开安装孔22使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种储液槽，其特征在于，包括具有内腔的本体，所述本体内构设有储液区一和储液区二，所述储液区一与所述储液区二之间设有隔板；在所述储液区一中构造有用于加热溶液的加热装置；所述储液区二中设置有排液口。2.根据权利要求1所述的一种储液槽，其特征在于，所述加热装置配置在所述储液区一的端部并插值于所述储液区一内。3.根据权利要求1或2所述的一种储液槽，其特征在于，所述储液区二中也配置有所述加热装置，且所述储液区二中的所述加热装置与所述储液区一中的所述加热装置均构设在所述本体的同一端面。4.根据权利要求3所述的一种储液槽，其特征在于，所述加热装置包括若干加热管，所述储液区二中的所述加热管的数量不大于所述储液区一中的所述加热管的数量；所有所述加热装置的位置均低于所述隔板的高度；且所述隔板的高度低于所述本体的壁面高度。5.根据权利要求1
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2、4任一项所述的一种储液槽，其特征在于，所述储液区一和所述储液区二内均设有液位控件；所述储液区一中的所述液位控件的高度高于所述储液区一中的所述加热装置的高度且低于所述隔板的高度；所述储液区二中的所述液位控件...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，任志高，王欢，任亮，艾传令，王大伟，武治军，岑红霞，危晨，
申请(专利权)人：天津市环欧新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：