一种全自动的半导体晶圆制造执行系统技术方案

本发明专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次模式；非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令，并且在接收到非生产批次的待机指令时，发出相应的非生产批次的待机指令；设备模块进入相应的非生产批次的待机状态；此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令；非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令，并且在接收到非生产批次的派工指令时，向设备模块发出相应的执行指令。其优点在于建立非生产批次的模式和各种状态，派工系统等外部系统可以透过查询直接判断当前系统是否派NPW批次还是生产批次到该设备，优化全自动效率；OEE分析可以直接透过设备状态分析。态分析。态分析。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动的半导体晶圆制造执行系统


[0001]本专利技术涉及一种制造执行系统，特别设计一种全自动的半导体晶圆制造执行系统。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆生产过程中，特别是12寸晶圆生产包含了NPW(Non
‑
Production Wafer)批次对设备的生产质量进行把关的场景，这些非生产批次性的生产时必备可少，且至关重要的过程。
[0003]现有的半导体晶圆生产MES(Manufacturing Execution System)系统，NPW状态是无法从系统的设备状态中获取的，这继承了20年前系统设计先后顺序的历史包袱。由于NPW状态没反应在设备状态上在这种情况下，需要了解设备现状时需要匹配当前设备究竟处于什么状态，非常不直观且浪费系统查询资源。派工系统只向设备查询状态，无法正确的判断是否何种状态，至少要向设备以外进行查询，才能判断是否派NPW批次。这种设计方式也会造成OEE没法计算NPW状态时间占比。

技术实现思路

[0004]本专利技术提出了一种全自动的半导体晶圆制造执行系统；不改造或升级设备硬件本身的情况下，建立非生产批次的模式和各种状态，派工系统等外部系统可以透过查询直接判断当前系统是否派NPW批次还是生产批次到该设备，优化全自动效率；OEE分析可以直接透过设备状态分析NPW所占用的实际时间；克服现有技术中的缺陷。
[0005]本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，包括，非生产批次NPW模块、批次性生产模块和设备模块；其中，非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次模式；非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令，并且在接收到非生产批次的待机指令时，发出相应的非生产批次的待机指令；设备模块进入相应的非生产批次的待机状态；此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令；非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令，并且在接收到非生产批次的派工指令时，向设备模块发出相应的执行指令；批次性生产模块接收批次性生产指令，并在接收批次性生产指令时，向设备模块发出批次性生产的执行指令；设备模块在接收到相应的非生产批次的执行指令后，设备模块进入相应的非生产批次的生产模式状态；当设备模块接收到批次的派工生产指令后，进入相应的批次性生产模式状态。
[0006]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：非生产批次性模式包括：暖机Season模式；暖机Season模式为：当非生产批次NPW模块接收暖机Season待机指令时，发出暖机Season的待机指令；设备模块进入暖机Season待机状态；在暖机Season待机状态下，当非生产批次NPW模块接收暖机Season的派工指令时，向设备模块发出暖机Season的执行指令；设备模块在接收到暖机Season的执行指令后，设备模块进入相应的执行状态；当设备模块相应非生产批次的派工生产后，设备模块进入批次性
生产模式状态。
[0007]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：非生产批次性模式包括：监测Monitor模式；监测Monitor模式为：当非生产批次NPW模块接收监测Monitor待机指令时，发出监测Monitor的待机指令；设备模块进入监测Monitor待机状态；在监测Monitor待机状态下，当非生产批次NPW模块接收监测Monitor的派工指令时，向设备模块发出监测Monitor的执行指令；设备模块在接收到监测Monitor的执行指令后，设备模块进入相应的执行状态；当设备模块测量后将数据提交测量判断模块进行判断，测量结果是否符合设定阈值；若测量判断模块判断符合设定阈值，则设备模块完成监测Monitor派工生产，设备模块进入批次性生产模式状态。
[0008]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：若测量判断模块判断不符合设定阈值，设备模块进入等待状态；待等待状态解除后，设备模块再进入相应的状态。
[0009]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：还包括计时模块和OEE模块；计时模块分别对非生产批次NPW控制模块、批次性生产控制模块、设备模块的各个状态进行计时；获得操作时间和计划工作时间；OEE模块根据获得计时模块获得的时间，计算可用率。
[0010]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：计时模块获得操作时间和计划工作时间。
[0011]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：可用率＝操作时间/计划工作时间。
[0012]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：OEE模块还计算设备效率。
[0013]进一步，本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，还可以具有以下特征：设备效率OEE＝可用率*表现性*质量指数。
[0014]本专利技术提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，派工系统在决定需要派生产批次还是NPW批次时，无需检查两个状态(设备状态，NPW状态)，而是直接由设备状态获得；人工介入时可以使用设备所处状态判断设备当前NPW阶段，避免重复派工或者操作失误；OEE分析可以加入NPW占用时间，并且细分NPW状态群组下子状态的占用时间，以提升生产效率。
附图说明
[0015]图1是全自动的半导体晶圆制造执行系统的暖机Season模式流程图。
[0016]图2是全自动的半导体晶圆制造执行系统的监测Monitor模式流程图。
具体实施方式
[0017]为了更加清晰的说明本专利技术的实现方式，以下结合附图及实例，对本专利技术进行进一步详细说明。此处所描述的具体例子仅仅用于解释本
技术实现思路
，并不用于限定本实施方式。
[0018]实施例
[0019]一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，包括：非生产批次NPW模块、批次性生产模块和设备模块。
[0020]非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次性模式。非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令，并且在接收到非生产批次的待机指令时，发出相应的非生产批次的待机指令。设备模块进入相应的非生产批次的待机状态。此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令，其他派工指令均不接收。
[0021]非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令，并且在接收到非生产批次的派工指令时，向设备模块发出相应的非生产批次的执行指令。
[0022]设备模块在接收到相应的非生产批次的执行指令后，设备模块进入相应的状态，即进入相应非生产批次的派工生产。
[0023]批次性生产控制模块与现有的技术相同，接收批次性生产指令，并在接收批次性生产指令时，向设备模块发出批次性生产的执行指令。
[0024]当设备模块接收到批次性生产的执行指令后，进入批次性生产模式状态。
[0025]设备模块当然包括生产的机械设备，以及控制机械设备完成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：包括，非生产批次NPW模块、批次性生产模块和设备模块；其中，非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次模式；非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令，并且在接收到非生产批次的待机指令时，发出相应的非生产批次的待机指令；设备模块进入相应的非生产批次的待机状态；此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令；非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令，并且在接收到非生产批次的派工指令时，向设备模块发出相应的执行指令；批次性生产模块接收批次性生产指令，并在接收批次性生产指令时，向设备模块发出批次性生产的执行指令；设备模块在接收到相应的非生产批次的执行指令后，设备模块进入相应的非生产批次的生产模式状态；当设备模块接收到批次的派工生产指令后，进入相应的批次性的生产模式状态。2.如权利要求1所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：其中，非生产批次性模式包括：暖机Season模式；暖机Season模式为：当非生产批次NPW模块接收暖机Season待机指令时，发出暖机Season的待机指令；设备模块进入暖机Season待机状态；在暖机Season待机状态下，当非生产批次NPW模块接收暖机Season的派工指令时，向设备模块发出暖机Season的执行指令；设备模块在接收到暖机Season的执行指令后，设备模块进入相应的执行状态；当设备模块相应非生产批次的派工生产后，设备模块进入批次性生产模式状态。3.如权利要求1所述的全自动的半导体晶圆制造执行系统，其特征在于：其中，非生产批次性模式包括：监测Monitor模式；监测M...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶宇晖，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：