本申请提供一种光学图像与LIBS检测区域配准方法、设备、介质及程序产品，方法包括：采集待测样品的光学图像、三维形貌数据及光谱检测数据，并基于光学图像和三维形貌数据建立样本空间坐标系，光谱检测数据采集自待测样品表面预设的光谱检测区域；在样...

本发明提供一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法，在MES系统中配置RTD模块和GTM模块，RTD模块负责管理和计算，当载具从设备上作业结束出站后，RTD模块响应将EAP系统发起的将载具搬送到N2STK的请求，若此时N2...

本发明涉及一种产品生产时快速实现腔室禁限运行的方法，包括以下步骤：制造执行系统提供一个接口，在制造执行系统上增加PLC工作数据地址区域搭配自动化生产控制系统；制造执行系统提供消息接口，产生腔室禁限信号，并把禁限信号通过工作数据发送给CV...

本发明提供一种基于边缘检测结合ROI区域特征提取的圆形轮廓检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，对图像进行预处理，包括梯度计算、梯度增强与噪声抑制、边缘强化与ROI自适应选择；步骤2，对图像进行特征点提取，包括通过梯度信息提取边缘...

本发明提供一种面向晶圆叠图分析的小样本扩充与识别方法，包括以下步骤：步骤1：对叠图样本进行自动分类，得到不同的分类结果；步骤2：根据分类结果进行相应的缺陷模拟，得到相应的缺陷结果；步骤3：将步骤2所得的不同类型的缺陷结果进行缺陷融合，生...

本发明提供一种基于深度学习与图像处理的针痕检测方法及系统，该针痕检测方法包括以下步骤：步骤1：建立针痕图像数据集，针痕图像数据集中包括不同类型针痕图像；步骤2：对针痕图像进行图像预处理；步骤3：对预处理后的针痕图像进行数据标注；步骤4：...

本发明涉及一种基于AI对话式构建编排算子生成流程的方法，包括：以对话形式向软件平台描述要构建的图像处理流程，提交需求描述；软件平台通过自然语言处理技术，对需求描述进行分析和解析，提取关键信息；根据提取的关键信息，生成对应的图像处理流程编...

本发明涉及一种基于大模型AI的自动化机器视觉算子界面生成方法，包括：通过软件平台上传算子包；同时提供输入界面渲染生成提示词；算子界面生成领域大模型，所述领域大模型读取完算子包代码和提示词信息后，自动进行分析和处理，并根据提示词和结构生成...

本发明提供一种半导体划伤自动分析系统，其特征在于，包括：晶圆缺陷图获取模块，用于获取由检测机台检测得到的defectmap；新坐标系定义模块，对defectmap的坐标进行重新定义；簇分析模块，基于DBSCAN聚类算法分析晶圆缺陷图中是...

本发明涉及一种物料检测响应系统的工作方法，系统包括任务模块、显示界面和响应模块，工作方法包括以下步骤：创建任务；更新物料信息并同步显示；运输车到达检查点时，通过响应模块查找绑定的线体人员并提示对物料进行过账检查；确认纸质工单的流程及生产...

本发明涉及一种智能光学显微镜自动对准系统，包括图像预处理模块、直线检测与特征提取模块、偏倚量计算模块和循环调整模块，图像预处理模块对光学显微镜图像进行增强对比度和去噪处理，直线检测与特征提取模块自动检测图像参数最佳阈值并进行特征点提取，...

本发明涉及一种智能光学显微镜多焦点图像融合技术,包括图像、焦点提取、图像合成、平滑处理、结果保存。图像合成过程中采用融合算法，包括拉普拉斯金字塔融合和小波变换融合。本发明的智能光学显微镜多焦点图像融合技术，用于实现对高度差缺陷的全面观察...

本发明提供一种一种针对跨楼层取消任务后返回关联点的方法及系统针对跨楼层取消任务后返回关联点的方法。该方法其特征在于，包括：设置返回点：在每个楼层设置至少一个返回点，对每个返回点设置一个返回点编号；设备与返回点关联：对每台设备设置一个设备...

本发明提供一种针对OCAP异常区搬送处理方法，构建MCS系统与MES系统、ACC系统、AHMS系统、机台的通信连接，其特征在于：在所述MCS系统中设置搬送交通管制模块以及异常区任务自动检查模块，所述搬送交通管制模块用于对异常区实施搬送交...

本发明提供一种通过报表系统协助整半导体生产热批批次的方法，其特征在于：设置RPT报表系统，将所述RPT报表系统与MES系统通讯连接，从所述MES系统获取半导体的生产数据，并对获取的数据进行处理生成热批次报表，然后将所述热批次报表反馈给所...

本发明涉及一种基于逐步逆向建模的推荐预测方法，包括以下步骤：数据预处理；特征工程；特征排序，设置特征排序方法；逆向建模策略；推荐值生成；字符特征逆处理；预测与评估。本发明的逐步逆向建模的推荐预测方法通过逆向建模策略和先进的特征工程技术，...

本发明提供了一种替代搬运后智能返回功能的方法，其特征在于，包含如下步骤：S1.当物料完成加工后，根据下一站制程的位置获取离其最接近的仓库；S2.判断最接近的仓库是否具有存储空间，当结果为“是”时，指令搬运设备将物料搬运至该最接近的仓库；...

本发明提供一种半导体实时异常单处理的生产控制系统，其特征在于：包括设备报警信号采集单元、异常单创建单元、签核管控单元、异常单执行处理单元、异常单关闭单元，其中，设备报警信号采集单元用于采集加工设备故障发出的报警信号；异常单创建单元根据报...

本发明涉及一种基于形状优先级排序和递归放置算法的几何形状填充方法，包括以下步骤：创建多边形对象和基础图形；形状放置判断与形状优先级排序；确定最优图形并尝试在基础多边形内放置最优图形；成功放置并更新基础多边形，放置失败则跳过当前图形；递归...

本发明涉及一种基于可视化管理平台规划布局的方法，包括：在可视化管理平台开发端进行可视化布局设置；在平台管理端进行可视化布局权限控制；对设计端架构进行自定义设置；通过定时任务将数据传输到可视化管理平台。本发明的基于可视化管理平台规划布局的...