【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产领域，具体涉及mes系统流程卡在半导体生产中的应用。
技术介绍
1、现有前道晶圆生产系统在生产过程中，需要人为自制流程卡，手工打印，很不方便，在产品、模块、工步进行升版,也不能及时进行更新，更有可能造成配方使用错误,造成严重的生产问题。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种采用流程卡的半导体生产系统，可以提高生产效率、标准化操作、加强质量控制，从而提高产品质量，降低生产成本。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术解决方案如下:
3、一种采用流程卡的半导体生产系统，包括prp建模模块、打印模块和流程模块，prp建模模块对半导体生产过程中的各个工序进行拆分和建模，打印模块将产品相关的信息与流程卡模板结合，打印出相应的流程卡，流程模块实现流程卡的生成、分发、追踪和异常处理。
4、作为优选的技术方案，prp建模模块根据产品的特性和工艺要求，将工序划分为不同步骤，并定义每个步骤所需的参数、设备和人员资源，用于流程卡管理模块的配置。
5、作为优选的技术方案，流程卡上的产品相关信息包括工序、工艺参数、物料清单、质量要求。
6、作为优选的技术方案，打印模块支持三种打印模式，分别为：全流程打印、剩余流程打印和当前模块打印。
7、作为优选的技术方案，对于流程模块，流程卡生成是根据产品的特性和prp建模模块的定义，根据自定义配置模板生成符合要求的流程卡，并与产品关联；流程卡分
8、作为优选的技术方案，流程卡分发通过移动设备、条码扫描器或者集成的工艺设备完成。
9、作为优选的技术方案，流程卡的生成、分发、追踪和异常处理形成一个闭环的生产管理流程，每个工序操作人员通过扫描流程卡上的条码来记录工序的开始和结束，确保流程顺利进行，如果出现异常情况，则操作人员及时记录并通知对应人员处理问题，整个过程通过mes系统实时监控和记录。
10、与现有技术相比，本专利技术的采用流程卡的半导体生产系统有益效果为：
11、(1)提高生产效率：mes系统打印流程卡明确了每个工序的步骤和要求，帮助工人准确理解工作流程，从而减少错误和重复工作，提高生产效率。
12、(2)标准化操作：mes系统打印流程卡中包含了工作的标准操作程序，能够规范工作流程，降低产品升级带来的变异性，提高产品质量可靠性。
13、(3)质量控制：mes系统打印流程卡中可设置各项检查点和质量要求，包括recipe和mask，帮助监控和控制产品质量，及时发现和纠正问题，确保产品符合要求。
14、(4)节约人力和成本：mes系统自动打印流程卡，可以提高工人自主性和独立操作的能力，减少对工艺工程师的依赖，通过excel打印流程卡，耗时耗力，节约人力资源和培训成本。
15、本专利技术通过系统自动打印流程卡，提升半导体工厂的产量，杜绝人为操作，减少错误风险，节省了大量人力，并提高产品良率，提升工厂技术人员的生产效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，包括PRP建模模块、打印模块和流程模块，所述PRP建模模块对半导体生产过程中的各个工序进行拆分和建模，所述打印模块将产品相关的信息与流程卡模板结合，打印出相应的流程卡，所述流程模块实现流程卡的生成、分发、追踪和异常处理。
2.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，所述PRP建模模块根据产品的特性和工艺要求，将工序划分为不同步骤，并定义每个步骤所需的参数、设备和人员资源，用于流程卡管理模块的配置。
3.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，所述流程卡上的产品相关信息包括工序、工艺参数、物料清单、质量要求。
4.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，所述打印模块支持三种打印模式，分别为：全流程打印、剩余流程打印和当前模块打印。
5.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，对于所述流程模块，流程卡生成是根据产品的特性和PRP建模模块的定义，根据自定义配置模板生成符合要求的流程卡，并与产品关联
6.根据权利要求5所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，流程卡分发通过移动设备、条码扫描器或者集成的工艺设备完成。
7.根据权利要求5所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，流程卡的生成、分发、追踪和异常处理形成一个闭环的生产管理流程，每个工序操作人员通过扫描流程卡上的条码来记录工序的开始和结束，确保流程顺利进行，如果出现异常情况，则操作人员及时记录并通知对应人员处理问题，整个过程通过MES系统实时监控和记录。
...【技术特征摘要】
1.一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，包括prp建模模块、打印模块和流程模块，所述prp建模模块对半导体生产过程中的各个工序进行拆分和建模，所述打印模块将产品相关的信息与流程卡模板结合，打印出相应的流程卡，所述流程模块实现流程卡的生成、分发、追踪和异常处理。
2.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，所述prp建模模块根据产品的特性和工艺要求，将工序划分为不同步骤，并定义每个步骤所需的参数、设备和人员资源，用于流程卡管理模块的配置。
3.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，所述流程卡上的产品相关信息包括工序、工艺参数、物料清单、质量要求。
4.根据权利要求1所述的一种采用流程卡的半导体生产系统，其特征在于，所述打印模块支持三种打印模式，分别为：全流程打印、剩余流程打印和当前模块打印。
5.根据权利要求1所述的一种采用流程卡...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉亮，姜罡，叶宇晖，姜志，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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