【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件搬送领域，具体涉及一种半导体制造执行系统提前搬送的方法。
技术介绍
1、目前集成电路制造厂几乎都是全自动工厂，如何最大的提高搬送的效率来配合提供设备综合效率,扩大工厂产能，无疑是长期需要考虑的问题。在半导体集成电路制造车间，载具从设备的端口卸货，制造执行系统收到后才会下达搬送指令给物料控制系统，物料控制系统收到指令后会让自动物料搬送系统的小车去设备的端口上取走载具，载具会在设备的端口有一定的等待时间，这会影响工厂的生产效率，并且增加了生产风险。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，能实现一定程度的提前搬送，提高搬送效率。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术解决方案如下:
3、一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，包括以下步骤：
4、步骤一，当设备工艺完成后，设备自动化系统向制造执行系统发送请求指令；
5、步骤二，制造执行系统接收到请求指令后，检查设备是否满足提前搬送的条件；
6、步骤三，如果满足提前搬送的条件，则设备自动化系统的自动化模块发送执行指令给制造执行系统中的搬运模块，
7、步骤四，搬运模块向物料控制系统发送叫车请求指令；
8、步骤五，物料控制系统通过指令控制自动物料搬送系统提前叫车；
9、步骤六，制造执行系统给设备自动化系统回复出站结果。
10、作为优选的技术方案，对于出站
11、作为优选的技术方案，对于分拣完成的批次，在步骤二中，提前搬送的条件包括：系统执行分拣完成后的叫车动作；检查所在端口是否设置了搬送时间；当前批次对应的载具所有的分拣全都完成；端口支持自动搬送并且是pb类型。
12、作为优选的技术方案，在步骤二中，设备端口通讯状态为agv。
13、作为优选的技术方案，在步骤三中，提前搬送的条件满足时，设备自动化系统先记录载具历史，再发送执行指令。
14、作为优选的技术方案，在步骤四中，搬运模块把批次优先级转换为搬送优先级，生成叫车请求，然后再向物料控制系统发送叫车请求指令。
15、与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
16、(1)本专利技术的半导体制造执行系统提前搬送的方法，针对集成电路制造中固定缓冲区类型(设备端口类型是pb类型，可上可下)的设备，在批次出站事件时，通过跟物料控制系统接口通讯，发送传输阶段要求接口请求，实现了提前叫车的功能，从而提高了搬送效率。
17、(2)本专利技术的半导体制造执行系统提前搬送的方法，针对集成电路制造中的数据采集设备，在批次扫描完成事件时，通过跟物料控制系统接口通讯，发送传输阶段要求接口请求，实现了提前叫车的功能，从而提高了搬送效率。
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1.一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，对于出站的批次，在所述步骤二中，提前搬送的条件包括：系统打开了预测搬送的开关；所在端口设置了搬送时间；当前批次对应的载具是否是多批次作业，如果是，检查载具中是否还有在运行的批次，如果有，则将所有批次判定为等待状态；检查设备类型，设备类型不能是固定缓冲区设备；端口支持自动搬送并且是PB类型。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，对于分拣完成的批次，在所述步骤二中，提前搬送的条件包括：系统执行分拣完成后的叫车动作；检查所在端口是否设置了搬送时间；当前批次对应的载具所有的分拣全都完成；端口支持自动搬送并且是PB类型。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，在所述步骤二中，设备端口通讯状态为AGV。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，在所述步骤三中，提前搬送的条件满足时，设备自动
6.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，在所述步骤四中，所述搬运模块把批次优先级转换为搬送优先级，生成叫车请求，然后再向物料控制系统发送叫车请求指令。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，对于出站的批次，在所述步骤二中，提前搬送的条件包括：系统打开了预测搬送的开关；所在端口设置了搬送时间；当前批次对应的载具是否是多批次作业，如果是，检查载具中是否还有在运行的批次，如果有，则将所有批次判定为等待状态；检查设备类型，设备类型不能是固定缓冲区设备；端口支持自动搬送并且是pb类型。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，其特征在于，对于分拣完成的批次，在所述步骤二中，提前搬送的条件包括：系统执行分拣完成后...
【专利技术属性】
技术研发人员：张沛文，姜志，吴发明，姜罡，叶宇晖，王文瑞，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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