温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种半导体制造执行系统提前搬送的方法，包括：设备工艺完成后，设备自动化系统向制造执行系统发送请求指令；制造执行系统接收到请求指令后，检查设备是否满足提前搬送的条件；如果满足条件，则自动化模块通过搬运模块向物料控制系统发送叫车请求指...
该专利属于上海哥瑞利软件股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海哥瑞利软件股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。