本发明专利技术公开了用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀机体，所述刻蚀机体上设置有发射腔及真空腔，所述真空腔的内部设置有压载盘，所述发射腔的内部安装有支撑板，所述支撑板上安装有发射器，所述发射腔及真空腔之间设置有隔板；本发明专利技术的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，通过驱动组件，带动环形板在环形安装腔的内部滑动，在环形板运动的过程中，各个活塞杆靠向环形气囊的内部运动，在各个活塞杆推动的过程中，使环形气囊受力发生膨胀并与螺纹槽的内壁相抵，通过环形气囊与螺纹槽内部的支撑作用，避免离子在螺丝内部输送的过程中造成对螺丝撞击发生偏移，提高对压载盘上放置的晶圆的刻蚀加工效果。圆的刻蚀加工效果。圆的刻蚀加工效果。
【技术实现步骤摘要】
用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置
[0001]本专利技术涉及刻蚀机
，具体为用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置。
技术介绍
[0002]刻蚀是半导体行业内常用的一种技术，其刻蚀的可靠性和均匀性一直是业界对工艺良率、对产品的质量有着重要影响，同时刻蚀工艺对环境及机台本身的要求也不断提高。
[0003]刻蚀机在操作使用的过程中，发射腔内部的发射器将离子通过隔板上的螺丝发射至真空腔的内部并对压载盘上的晶圆进行刻蚀加工处理，但是离子在发生的过程中，在加速发射的离子轰击及高温作用下易造成螺丝受力发生偏移，降低对晶圆刻蚀加工的效果。
[0004]为此，我们提出用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀机体，所述刻蚀机体上设置有发射腔及真空腔，所述真空腔的内部设置有压载盘，所述发射腔的内部安装有支撑板，所述支撑板上安装有发射器，所述发射腔及真空腔之间设置有隔板，所述真空腔的内部通过移动组件连接有L型板，所述L型板上通过升降组件与压载盘相连接，所述隔板上开设有螺纹槽，所述螺纹槽上螺纹连接有螺丝，所述螺丝上设置有用于螺丝防护的防护机构，所述刻蚀机体上设置有用于真空腔内部抽气的抽气组件。
[0007]优选的，所述移动组件包括固定在真空腔内部的两个第一固定板，两个所述第一固定板上转动连接有丝杆，所述L型板与丝杆之间相互啮合设置，两个所述第一固定板之间安装有用于L型板导向的导向杆，所述第一固定板上安装有用于丝杆驱动的第一电机。
[0008]优选的，所述升降组件包括转动连接在L型板上的第一螺纹杆，所述第一螺纹杆上螺纹啮合连接有第一螺纹管，所述第一螺纹管的另一端与压载盘相固定，所述压载盘与L型板之间分别安装有第一滑动杆及第一固定杆，所述第一滑动杆滑动连接在第一固定杆上，所述L型板上安装有用于第一螺纹杆驱动的第二电机。
[0009]优选的，所述螺丝靠向真空腔的一侧滑动连接有安装板，所述安装板上开设有多个孔径不等的圆槽，所述发射腔上设置有用于安装板上圆槽切换的切换机构。
[0010]优选的，所述防护机构包括安装在螺丝外部的环形气囊，所述螺丝上开设有环形安装腔，所述环形安装腔上滑动连接有环形板，所述环形板靠向环形气囊的一侧固定有多个活塞杆，各个所述活塞杆滑动连接在环形气囊上，所述隔板上设置有用于环形板驱动的驱动组件。
[0011]优选的，所述驱动组件包括安装在隔板上的L型操作板，所述环形板上固定有传动板，所述传动板及L型操作板分别位于安装板的两侧，所述L型操作板及传动板相对的一端分别安装有电磁铁及铁块。
[0012]优选的，所述切换机构包括转动连接在真空腔内部的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆上螺纹啮合连接有第二螺纹管，所述第二螺纹管的另一端固定有连接板，所述连接板与安装板相固定，所述刻蚀机体上安装有用于第二螺纹杆驱动的第三电机，所述真空腔的内部设置有用于连接板运动导向的导向组件。
[0013]优选的，所述导向组件包括固定在真空腔内部的第二固定杆，所述第二固定杆上滑动连接有第二滑动杆，所述第二滑动杆与连接板相固定。
[0014]优选的，所述抽气组件包括安装在刻蚀机体上的出气管，所述出气管上安装有抽风机。
[0015]优选的，所述螺丝靠向发射腔的一侧安装有陶瓷保护套，所述陶瓷保护套及螺丝上开设有通孔。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017]本专利技术的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，通过驱动组件，带动环形板在环形安装腔的内部滑动，在环形板运动的过程中，各个活塞杆靠向环形气囊的内部运动，在各个活塞杆推动的过程中，使环形气囊受力发生膨胀并与螺纹槽的内壁相抵，通过环形气囊与螺纹槽内部的支撑作用，避免离子在螺丝内部输送的过程中造成对螺丝撞击发生偏移，提高对压载盘上放置的晶圆的刻蚀加工效果。
附图说明
[0018]图1为本专利技术整体结构示意图；
[0019]图2为本专利技术的移动组件及抽气组件结构示意图；
[0020]图3为本专利技术的防护机构结构示意图；
[0021]图4为本专利技术的防护机构内部结构示意图；
[0022]图5为图2中A处的放大图；
[0023]图6为图3中B处的放大图；
[0024]图7为图4中C处的放大图。
[0025]图中：1、刻蚀机体；2、发射腔；3、真空腔；4、支撑板；5、发射器；601、第一固定板；602、丝杆；603、导向杆；604、第一电机；7、L型板；801、第一螺纹杆；802、第一螺纹管；803、第二电机；804、第一滑动杆；805、第一固定杆；9、压载盘；10、隔板；11、螺纹槽；12、螺丝；13、陶瓷保护套；1401、环形气囊；1402、环形安装腔；1403、环形板；1404、活塞杆；15、安装板；16、圆槽；1701、L型操作板；1702、传动板；1703、电磁铁；1801、第二螺纹杆；1802、第二螺纹管；1803、连接板；1804、第二固定杆；1805、第二滑动杆；1806、第三电机；1901、出气管；1902、抽风机。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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7，本专利技术提供用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置技术方案：用于刻蚀
腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀机体1，刻蚀机体1上设置有发射腔2及真空腔3，真空腔3的内部设置有压载盘9，发射腔2的内部安装有支撑板4，支撑板4上安装有发射器5，发射腔2及真空腔3之间设置有隔板10，真空腔3的内部通过移动组件连接有L型板7，L型板7上通过升降组件与压载盘9相连接，隔板10上开设有螺纹槽11，螺纹槽11上螺纹连接有螺丝12，螺丝12上设置有用于螺丝12防护的防护机构，刻蚀机体1上设置有用于真空腔3内部抽气的抽气组件。
[0028]移动组件包括固定在真空腔3内部的两个第一固定板601，两个第一固定板601上转动连接有丝杆602，L型板7与丝杆602之间相互啮合设置，两个第一固定板601之间安装有用于L型板7导向的导向杆603，第一固定板601上安装有用于丝杆602驱动的第一电机604，将第一电机604进行启动，带动丝杆602进行转动，在丝杆602转动的过程中，通过丝杆602与L型板7之间的相互啮合传动及导向杆603对L型板7的导向作用，使L型板7及压载盘9受力在真空腔3的内部进行水平方向移动。
[0029]升降组件包括转动连接在L型板7上的第一螺纹杆801，第一螺纹杆801上螺纹啮合连接有第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀机体(1)，所述刻蚀机体(1)上设置有发射腔(2)及真空腔(3)，所述真空腔(3)的内部设置有压载盘(9)，所述发射腔(2)的内部安装有支撑板(4)，所述支撑板(4)上安装有发射器(5)，其特征在于：所述发射腔(2)及真空腔(3)之间设置有隔板(10)，所述真空腔(3)的内部通过移动组件连接有L型板(7)，所述L型板(7)上通过升降组件与压载盘(9)相连接，所述隔板(10)上开设有螺纹槽(11)，所述螺纹槽(11)上螺纹连接有螺丝(12)，所述螺丝(12)上设置有用于螺丝(12)防护的防护机构，所述刻蚀机体(1)上设置有用于真空腔(3)内部抽气的抽气组件。2.根据权利要求1所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述移动组件包括固定在真空腔(3)内部的两个第一固定板(601)，两个所述第一固定板(601)上转动连接有丝杆(602)，所述L型板(7)与丝杆(602)之间相互啮合设置，两个所述第一固定板(601)之间安装有用于L型板(7)导向的导向杆(603)，所述第一固定板(601)上安装有用于丝杆(602)驱动的第一电机(604)。3.根据权利要求2所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述升降组件包括转动连接在L型板(7)上的第一螺纹杆(801)，所述第一螺纹杆(801)上螺纹啮合连接有第一螺纹管(802)，所述第一螺纹管(802)的另一端与压载盘(9)相固定，所述压载盘(9)与L型板(7)之间分别安装有第一滑动杆(804)及第一固定杆(805)，所述第一滑动杆(804)滑动连接在第一固定杆(805)上，所述L型板(7)上安装有用于第一螺纹杆(801)驱动的第二电机(803)。4.根据权利要求1所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述螺丝(12)靠向真空腔(3)的一侧滑动连接有安装板(15)，所述安装板(15)上开设有多个孔径不等的圆槽(16)，所述发射腔(2)上设置有用于安装板(15)上圆槽(16)切换的切换机构。5.根据权利要求4所述的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，其特征在于：所述防护机...
【专利技术属性】
技术研发人员：李国强，
申请(专利权)人：河源市艾佛光通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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