一种片盒翻转组件以及浸泡池制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体行业晶片湿法处理领域，具体而言，涉及一种片盒翻转组件以及浸泡池，本实用新型专利技术解决的问题：晶盒在转动时无法准确的调整至水平状态的问题。为解决上述问题，本实用新型专利技术实施例提供一种片盒翻转组件包括：主动轴，主动轴设有第一传动端；转动组件，转动组件与第一传动端固定连接，转动组件相对主动轴倾斜设置；摆动连杆，摆动连杆与转动组件连接；晶盒，晶盒与转动组件连接，转动组件包括：旋转传动件；转动板，转动板远离主动轴一侧与旋转转动件连接，转动板上设有第一缺口；其中，旋转传动件穿过第一缺口与第一传动端连接。接。接。

【技术实现步骤摘要】
一种片盒翻转组件以及浸泡池


[0001]本技术涉及半导体行业晶片湿法处理领域，具体而言，涉及一种片盒翻转组件以及浸泡池。

技术介绍

[0002]目前，在半导体行业中，晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片。在晶圆撕金去胶工艺过程中，去胶液会残留在晶圆上，需要通过浸泡清洗等步骤去掉残留的去胶液，在浸泡池中不翻转片盒，无法彻底去除去胶液，但在翻转的过程中，晶盒无法准确的调整至水平状态。

技术实现思路

[0003]本技术解决的问题：晶盒在转动时无法准确的调整至水平状态的问题。
[0004]为解决上述问题，本技术实施例提供一种片盒翻转组件包括：主动轴，主动轴设有第一传动端；转动组件，转动组件与第一传动端固定连接，转动组件相对主动轴倾斜设置；摆动连杆，摆动连杆与转动组件连接；晶盒，晶盒与转动组件连接，转动组件包括：旋转传动件；转动板，转动板远离主动轴一侧与旋转转动件连接，转动板上设有第一缺口；其中，旋转传动件穿过第一缺口与第一传动端连接。
[0005]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：旋转传动件的设置将装置的竖直移动转化为转动板的转动，摆动连杆的设置让转动板转动的幅度得到了控制，让转动板在主动轴上升到最高点时能够准确的停留在水平位置，让晶盒的清洗变得更加便捷。。
[0006]在本技术的一个实施例中，旋转传动件包括：第一传动段，第一传动段与转动板贴合；第二传动段，第二传动段相对于主动轴倾斜设置并与摆动连杆固定连接，第二传动段上设有第二缺口，主动轴通过第二缺口与第二传动段连接；避让槽，避让槽设于第一传动段与第二传动段的连接处。
[0007]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一传动段的设置让主动轴的上升能够带动旋转传动件，第二缺口的设置让主动轴与第一传动段的连接更加牢固，第二传动段与第一传动段弯折连接的设置让第一传动段上升时能够带动第二传动段向下转动，避让槽的设置能够避免转动板在转动过程中与第一传动段接触。
[0008]在本技术的一个实施例中，转动板包括：第一安装位，第一安装位上设有晶盒；第二安装位，第二安装位上设有晶盒；连接段，连接段连接第一安装位与第二安装位，第一传动段与连接段固定连接。
[0009]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一安装位于第二安装位的设置让转动板能够同时带动多个晶盒进行转动，在增加了晶盒数量的同时，也能让多个晶盒的开口同时水平朝下，减少片胶的残留。
[0010]在本技术的一个实施例中，片盒翻转组件还包括：增距段，增距段设于转动板与晶盒之间，第一安装位与第二安装位上均设有增距段。
[0011]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：增距段的设置增加了转动板与晶盒之间的距离，避免了转动板与清洗液接触，增加了转动板的使用寿命，同时也让晶盒的拆卸更加便捷，增距段U型的设置也让增距段的整体重量降低，在转动时阻力更小。
[0012]在本技术的一个实施例中，片盒翻转组件还包括：连接组件，连接组件套设于主动轴的外部并与摆动连杆连接；固定件，固定件穿过第二传动段固定摆动连杆。
[0013]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：连接组件对第二传动段起到了限位的作用，固定件的设置让两侧的摆动连杆能够同时进行转动，进一步的限定了转动板的转动方向。
[0014]在本技术的一个实施例中，片盒翻转组件还包括：驱动装置，驱动装置连接主动轴相对第一传动端的另一端，安装套管与驱动装置连接，并通过法兰固定。
[0015]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：当主动轴需要上升或下降时，通过启动驱动装置来为主动轴的移动提供动力，法兰的设置让安装套管的连接更加稳定。
[0016]在本技术的一个实施例中，晶盒包括：晶盒本体；晶圆卡槽，晶圆卡槽设于晶盒本体的内壁；晶圆支撑杆，晶圆支撑杆至少有一个，晶圆支撑杆连接晶盒本体远离第一传动端的一侧。
[0017]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆支撑杆能够在转动过程中起到支撑圆晶的作用，避免圆晶掉落离开晶盒本体，晶圆卡槽的设置让圆晶能够卡设在卡槽中，避免圆晶在转动过程中发生偏移，同时也让一个晶盒本体能够放置多个圆晶，增加了清洗数量。
[0018]在本技术的一个实施例中，还包括：一种浸泡池，浸泡池包括浸泡池壳体，片盒翻转组件位于所述浸泡池壳体内，该片盒翻转组件具有上述片盒翻转组件全部技术特征，此处不再一一赘述。
附图说明
[0019]图1为本技术片盒翻转组件整体结构示意图；
[0020]图2为本技术旋转传动件结构示意图；
[0021]图3为本技术转动板结构示意图；
[0022]图4为本技术转动组件与晶盒连接示意图；
[0023]图5为本技术摆动连杆与旋转传动件连接示意图；
[0024]图6为本技术固定件具体结构示意图；
[0025]图7为本技术浸泡池整体结构示意图。
[0026]附图标记说明：
[0027]100
‑
片盒翻转组件；110
‑
主动轴；120
‑
晶盒；130
‑
连接组件；131
‑
安装套管；132
‑
连接台；140
‑
法兰；150
‑
摆动连杆；160
‑
增距段；200
‑
转动组件；210
‑
转动板；211
‑
第一安装位；212
‑
第二安装位；213
‑
第一缺口；214
‑
连接段；220
‑
旋转传动件；221
‑
第一传动段；222
‑
第二传动段；223
‑
避让槽；224
‑
第二缺口；230
‑
固定件；300
‑
驱动装置；310
‑
浸泡池。
具体实施方式
[0028]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0029]【第一实施例】
[0030]参见图1至图7，在一个具体的实施例中，片盒翻转组件100包括：主动轴110，主动轴110设有第一传动端；转动组件200，转动组件200与第一传动端固定连接，转动组件200相对主动轴110倾斜设置；摆动连杆150，摆动连杆150与转动组件200连接；晶盒120，晶盒120与转动组件200连接，转动组件200包括：旋转传动件220；转动板210，转动板210远离主动轴110一侧与旋转转动件连接，转动板210上设有第一缺口213；其中，旋转传动件220穿过第一缺口213与第一传动端连接。
[0031]主动轴110垂直本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片盒翻转组件，其特征在于，所述片盒翻转组件包括：主动轴，所述主动轴设有第一传动端；转动组件，所述转动组件与所述第一传动端固定连接，所述转动组件相对所述主动轴倾斜设置；摆动连杆，所述摆动连杆与所述转动组件连接；晶盒，所述晶盒与所述转动组件连接。2.根据权利要求1所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述转动组件包括：旋转传动件；转动板，所述转动板远离所述主动轴一侧与所述旋转传动件连接，所述转动板上设有第一缺口；其中，所述旋转传动件穿过所述第一缺口与所述第一传动端连接。3.根据权利要求2所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述旋转传动件包括：第一传动段，所述第一传动段与所述转动板贴合；第二传动段，所述第二传动段相对于所述主动轴倾斜设置并与所述摆动连杆固定连接，所述第二传动段上设有第二缺口，所述主动轴通过所述第二缺口与所述第二传动段连接；避让槽，所述避让槽设于所述第一传动段与所述第二传动段的连接处。4.根据权利要求3所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述转动板包括：第一安装位，所述第一安装位上设有所述晶盒；第二安装位，所述第二安装位上设有所述晶盒；连接段，所述连接段连接所述第一安装位与所述第二安装位，所述第一传动段与所述连接段固定连接；其中，所述第一安装位、所述第二安装位与所述连接段环绕形成所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘长伟，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：