一种硅片的安全运输装置及其工作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片的安全运输装置及其工作方法，包括总装框架、承载机构、固定机构和转运机构，所述承载机构包括包括若干个架设在总装框架内的硅片托盘，所述固定机构包括检测部和机械固定部，所述检测部包括配合硅片托盘架设的视觉检测组件，所述机械固定部包括配合硅片托盘的膨胀固定组件，所述膨胀固定组件包括若干个与硅片托盘一一对应的膨胀单元，所述膨胀单元包括单元框架和贴合设置在单元框架内壁上的膨胀囊，所述转运机构包括配合承载机构的机械臂组件，本发明专利技术的优点在于通过膨胀囊抵触硅片，既可以保证硅片被固定，避免运输过程中发生损坏，同时又不会对硅片表面进行刚性抵触，有效避免了硅片表面可能发生的压裂和磨损。磨损。磨损。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片的安全运输装置及其工作方法


[0001]本专利技术涉及硅片运输领域，具体地说，是一种硅片的安全运输装置及其工作方法。

技术介绍

[0002]硅片的安全存取和运输是集成电路大生产线一个非常重要的技术指标；在生产过程中通常要求运输设备自身导致的硅片破片率应小于十万分之一。作为批量式硅片热处理系统，相对于单片式工艺系统，每个生产工艺所需的硅片传输、硅片放置和取片次数更多，因而对硅片传输、硅片放置和取片的安全性和可靠性要求更高。
[0003]光伏领域中所用的硅片，通常会经历磷扩处理、钝化处理以及电池制备环节，而这些环节都会在硅片的表面增加易损伤的结构。现有硅片包装方式采用泡沫塑料进行固定，硅片在盒内不能做到牢固不动，这些经过处理的硅片在运输的过程中，硅片易发生滑动，造成硅片间的相互摩擦容易而损伤表面结构，造成电池性能的下降。另外，光伏用的硅片厚度一般在170um到200um之间，属于易碎材料，因此运输过程中较易产生破碎，造成损失，而且长时间的运输过程会造成硅片的氧化等污染。

技术实现思路

[0004]专利技术目的：本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片的安全运输装置，其特征在于：包括总装框架、承载机构、固定机构和转运机构，所述承载机构包括包括若干个架设在总装框架内的硅片托盘，所述固定机构包括检测部和机械固定部，所述检测部包括配合硅片托盘架设的视觉检测组件，所述机械固定部包括配合硅片托盘的膨胀固定组件，所述膨胀固定组件包括若干个与硅片托盘一一对应的膨胀单元，所述膨胀单元包括单元框架和贴合设置在单元框架内壁上的膨胀囊，所述转运机构包括配合承载机构的机械臂组件。2.根据权利要求1所述的一种硅片的安全运输装置，其特征在于：所述承载机构包括若干组垂直设置的托盘转轴，所述硅片托盘均距设置在托盘转轴上。3.根据权利要求2所述的一种硅片的安全运输装置，其特征在于：所述硅片托盘转动连接在托盘转轴上。4.根据权利要求3所述的一种硅片的安全运输装置，其特征在于：所述膨胀单元彼此间隔配合托盘转轴设置，所述硅片托盘设置在相邻的膨胀单元之间。5.根据权利要求1所述的一种硅片的安全运输装置，其特征在于：所述视觉检测组件包括设...

【专利技术属性】
技术研发人员：周晓谋，顾飞，
申请(专利权)人：江苏和瑞鑫智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：