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本发明公开了一种硅片的安全运输装置及其工作方法，包括总装框架、承载机构、固定机构和转运机构，所述承载机构包括包括若干个架设在总装框架内的硅片托盘，所述固定机构包括检测部和机械固定部，所述检测部包括配合硅片托盘架设的视觉检测组件，所述机械固定...
该专利属于江苏和瑞鑫智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏和瑞鑫智能科技有限公司授权不得商用。

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