一种芯片刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术属于芯片刻蚀技术领域，尤其涉及一种芯片刻蚀设备，包括机身，机身下端固定有盒体，盒体左右两端均安装有风机，盒体内部滑动连接有延伸出其前端的方框架，方框架内部上下两侧分别设置有托盒和底盒；凹盒有利于将刻蚀头流出的刻蚀液收集，夹具夹持的芯片在刻蚀途中不会让刻蚀头流出的刻蚀液滴落到工作台上，电磁铁一与电磁铁二配合使用就可将夹具夹持的芯片稳固置于托盒内部，打开锁扣就能让方框架同时将托盒和底盒置于盒体内部，盒体对托盒和底盒形成了一个密闭的空间，依靠喷头对夹具夹持的芯片冲洗刻蚀液，抽出挡板以便于风机对冲洗之后的芯片风干，解决了现有的芯片刻蚀设备容易让刻蚀液污染工作台的问题。蚀设备容易让刻蚀液污染工作台的问题。蚀设备容易让刻蚀液污染工作台的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片刻蚀设备


[0001]本技术属于芯片刻蚀
，尤其涉及一种芯片刻蚀设备。

技术介绍

[0002]刻蚀按工艺主要分湿法刻蚀和干法刻蚀，干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀，湿法使用溶剂或溶液来进行刻蚀。通常在一些工艺尺寸较大的应用中采用湿法刻蚀，湿法刻蚀具有适应强、对硅片损伤小、应用广泛的特点，湿法刻蚀工艺得到芯片制造厂家的青睐。
[0003]目前，需要将芯片放置于夹具内，刻蚀头在对芯片刻蚀途中，刻蚀头流出的刻蚀液难免会滴落到工作台上，芯片在刻蚀之后会残留刻蚀液，在将芯片从夹具中取出途中，芯片表面残留的刻蚀液也会滴落到工作台上，工作台面变得脏污而容易腐蚀双手，使得工人工作的危险性增大。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种芯片刻蚀设备，解决了现有的芯片刻蚀设备容易让刻蚀液污染工作台的问题。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种芯片刻蚀设备，包括机身；
[0006]所述机身下端固定有盒体，所述盒体左右两端均安装有风机，所述盒体内部滑动连接有延伸出其前端的方框架，所述方框架内部上下两侧分别设置有托盒和底盒；
[0007]所述托盒内底端开设有渗透孔，所述托盒内部左右两端均安装有电磁铁一，所述托盒外表左右两端均安装有栅栏板，所述托盒内部前端安装有喷头，所述方框架前端左右两侧均滑动连接有设置在栅栏板外端的挡板；
[0008]所述方框架前端设置有一对限位块，所述方框架上端设置有固定在盒体前上端的工作台，所述工作台中部滑动连接有延伸出其前端的过滤板；
[0009]所述工作台上端设置有电磁铁二，所述电磁铁二内侧设置有多个凹盒。
[0010]在本技术较佳的技术方案中，所述方框架下端滑动连接有一对固定在盒体内底端的滑轨，所述限位块设置在滑轨前端，所述滑轨前端固定有设置在限位块之间的磁块，所述限位块后端下侧与滑轨前端转动连接。
[0011]在本技术较佳的技术方案中，所述托盒前端设置有位于喷头前方的输入管体，所述喷头与输入管体相通。
[0012]在本技术较佳的技术方案中，所述底盒内部安装有间隔滤网，所述底盒前端安装有贯通至其内部的输出管体，所述输出管体设置在间隔滤网下端。
[0013]在本技术较佳的技术方案中，所述工作台左右两端前侧均安装有扣接在方框架左右两端的锁扣。
[0014]在本技术较佳的技术方案中，所述工作台上端左右两侧均固定有设置在过滤板左右两端的支撑板，所述电磁铁二滑动连接在两块所述支撑板之间，所述电磁铁一的形
状与凹盒相匹配，所述凹盒内部均安装有夹具，所述电磁铁二的形状为矩形框体，所述电磁铁二上端均固定有贯穿出相近的所述支撑板上端的滑杆，前后相邻两根所述滑杆之间的上端固定有连接片，所述支撑板与电磁铁二之间插接有插杆。
[0015]在本技术较佳的技术方案中，所述机身前端安装有刻蚀头，所述机身上端前侧转动连接有设置在刻蚀头外侧的透明罩，所述过滤板、工作台和凹盒设置在透明罩下方。
[0016]在本技术较佳的技术方案中，所述机身内前端滑动连接有设置在盒体后方的栏板，所述栏板左右两端分别延伸出机身左右两端。
[0017]与现有技术相比，本技术实现的有益效果如下：
[0018]1、电磁铁二对多个凹盒起到稳固托起的作用，通过在电磁铁二内侧设置多个凹盒，通过凹盒来将多个夹具起到托起并隐蔽的作用，透明罩对刻蚀头、滑杆、连接片、电磁铁二、夹具、凹盒、支撑板起到密闭和防护的作用，凹盒有利于将刻蚀头流出的刻蚀液收集，夹具夹持的芯片在刻蚀途中不会让刻蚀头流出的刻蚀液滴落到工作台上；
[0019]2、通过在工作台上设置过滤板，滑动过滤板可以对工作台实现开启或者关闭的效果，插上插杆可以保持电磁铁二稳固在两片支撑板之间的位置，拔掉插杆可以让夹具夹持的芯片依靠电磁铁二传送到托盒内部，电磁铁一与电磁铁二配合使用就可以将夹具夹持的芯片稳固置于托盒内部，打开锁扣就能够让方框架同时将托盒和底盒置于盒体内部，盒体对托盒和底盒形成了一个密闭的空间，依靠喷头对夹具夹持的芯片进行冲洗刻蚀液，抽出挡板以便于风机对冲洗之后的芯片进行风干，有利于减少刻蚀液残留在芯片表面的现象，芯片在从夹具中取出途中不会使得芯片表面残留的刻蚀液滴落到工作台上。
附图说明
[0020]图1为本技术的整体外部结构示意图；
[0021]图2为本技术的方框架内部结构拆分示意图；
[0022]图3为本技术的结构A局部放大图。
[0023]图中：1
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机身、2
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盒体、3
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风机、4
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栏板、5
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插杆、6
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方框架、7
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挡板、8
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托盒、9
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底盒、10
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输入管体、11
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输出管体、12
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间隔滤网、13
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栅栏板、14
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喷头、15
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渗透孔、16
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电磁铁一、17
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过滤板、18
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工作台、19
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锁扣、20
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限位块、21
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磁块、22
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透明罩、23
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刻蚀头、24
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滑杆、25
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连接片、26
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电磁铁二、27
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夹具、28
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凹盒、29
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支撑板、30
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滑轨。
具体实施方式
[0024]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种芯片刻蚀设备，包括机身1；
[0025]所述机身1下端固定有盒体2，所述盒体2左右两端均安装有风机3，所述盒体2内部滑动连接有延伸出其前端的方框架6，所述方框架6内部上下两侧分别设置有托盒8和底盒9；
[0026]所述托盒8内底端开设有渗透孔15，所述托盒8内部左右两端均安装有电磁铁一16，所述托盒8外表左右两端均安装有栅栏板13，所述托盒8内部前端安装有喷头14，所述方框架6前端左右两侧均滑动连接有设置在栅栏板13外端的挡板7；
[0027]所述方框架6前端设置有一对限位块20，所述方框架6上端设置有固定在盒体2前上端的工作台18，所述工作台18中部滑动连接有延伸出其前端的过滤板17；
[0028]工作台18上端设置有电磁铁二26，电磁铁二26内侧设置有多个凹盒28；工作台18上端左右两侧均固定有设置在过滤板17左右两端的支撑板29，电磁铁二26滑动连接在两块支撑板29之间，电磁铁一16的形状与凹盒28相匹配，凹盒28内部均安装有夹具27，电磁铁二26的形状为矩形框体，电磁铁二26本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片刻蚀设备，包括机身（1），其特征在于：所述机身（1）下端固定有盒体（2），所述盒体（2）左右两端均安装有风机（3），所述盒体（2）内部滑动连接有延伸出其前端的方框架（6），所述方框架（6）内部上下两侧分别设置有托盒（8）和底盒（9）；所述托盒（8）内底端开设有渗透孔（15），所述托盒（8）内部左右两端均安装有电磁铁一（16），所述托盒（8）外表左右两端均安装有栅栏板（13），所述托盒（8）内部前端安装有喷头（14），所述方框架（6）前端左右两侧均滑动连接有设置在栅栏板（13）外端的挡板（7）；所述方框架（6）前端设置有一对限位块（20），所述方框架（6）上端设置有固定在盒体（2）前上端的工作台（18），所述工作台（18）中部滑动连接有延伸出其前端的过滤板（17）；所述工作台（18）上端设置有电磁铁二（26），所述电磁铁二（26）内侧设置有多个凹盒（28）。2.如权利要求1所述的一种芯片刻蚀设备，其特征在于：所述方框架（6）下端滑动连接有一对固定在盒体（2）内底端的滑轨（30），所述限位块（20）设置在滑轨（30）前端，所述滑轨（30）前端固定有设置在限位块（20）之间的磁块（21），所述限位块（20）后端下侧与滑轨（30）前端转动连接。3.如权利要求1所述的一种芯片刻蚀设备，其特征在于：所述托盒（8）前端设置有位于喷头（14）前方的输入管体（10），所述喷头（14）与输入管体（10）相通。4.如权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠辉，
申请(专利权)人：苏州达亚电子有限公司，
类型：新型
国别省市：