适用于晶圆片尺寸检测仪制造技术

本实用新型专利技术提供适用于晶圆片尺寸检测仪，涉及检测装置技术领域，以解决现有的检测仪在使用时，无法测量晶圆片整体的周长，无法对形状不规则的晶圆片进行检测的问题，包括安装机构；安装机构为检测仪本体，主体为矩形结构；支撑机构底部安装有测量机构；调节槽开设在旋转件内部；调节件安装在调节槽内部；测量件上的楔形齿与调节件上的齿轮相啮合。通过旋转调节件，使得上下两部分的测量件在调节槽内部反方向移动，使得测量件底部的矩形凸起与晶圆片侧边相接触，并通过与晶圆片相接触，对晶圆片起到辅助对中的作用，通过控制件上的电机带动旋转件旋转，使得旋转件带动测量件旋转，对晶圆片进行全方位的尺寸检测。片进行全方位的尺寸检测。片进行全方位的尺寸检测。

【技术实现步骤摘要】
适用于晶圆片尺寸检测仪


[0001]本技术属于检测装置
，更具体地说，特别涉及适用于晶圆片尺寸检测仪。

技术介绍

[0002]在生产晶圆片后需要对晶圆片尺寸进行检测，而此时便需要用到本装置；基于现有技术中发现，现有的检测仪在使用时，无法根据不同的晶圆片的厚度对晶圆片进行辅助固定，且现有的检测仪在使用时，无法根据不同尺寸大小的晶圆片进行调节测量，无法测量晶圆片整体的周长，无法对形状不规则的晶圆片进行检测，使用不够便捷。
[0003]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供适用于晶圆片尺寸检测仪，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供适用于晶圆片尺寸检测仪，以解决现有的检测仪在使用时，无法根据不同的晶圆片的厚度对晶圆片进行辅助固定，且现有的检测仪在使用时，无法测量晶圆片整体的周长，无法对形状不规则的晶圆片进行检测，使用不够便捷的问题。
[0005]本技术适用于晶圆片尺寸检测仪的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0006]适用于晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.适用于晶圆片尺寸检测仪，其特征在于：包括安装机构(1)；所述安装机构(1)为检测仪本体，且安装机构(1)包括有：主体(101)，主体(101)为矩形结构，主体(101)侧边为楔形结构；支撑机构(2)，所述支撑机构(2)包括有：支撑件(201)，支撑件(201)为L形结构，支撑件(201)顶部设有圆孔，且支撑件(201)安装在主体(101)顶部侧边；测量机构(3)，所述支撑机构(2)底部安装有测量机构(3)；固定机构(4)，所述测量机构(3)底部安装有固定机构(4)。2.如权利要求1所述适用于晶圆片尺寸检测仪，其特征在于：所述安装机构(1)还包括：底件(102)，底件(102)为圆台形结构，且底件(102)安装在主体(101)底部，并且底件(102)共设有四组；承载件(103)，承载件(103)为圆柱形结构，且承载件(103)安装在主体(101)顶部。3.如权利要求2所述适用于晶圆片尺寸检测仪，其特征在于：所述支撑机构(2)还包括：移动杆(202)，移动杆(202)为顶部凸起的圆柱形结构，移动杆(202)上套装有弹簧，且移动杆(202)安装在支撑件(201)上的圆孔内部。4.如权利要求3所述适用于晶圆片尺寸检测仪，其特征在于：所述支撑机构(2)还包括：控制件(203)，控制件(203)为圆柱形结构，控制件(203)底部安装有电机，且控制件(203)安装在移动杆(202)底部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，杨雪梅，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：