下载适用于晶圆片尺寸检测仪的技术资料

文档序号:34589780

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本实用新型提供适用于晶圆片尺寸检测仪,涉及检测装置技术领域,以解决现有的检测仪在使用时,无法测量晶圆片整体的周长,无法对形状不规则的晶圆片进行检测的问题,包括安装机构;安装机构为检测仪本体,主体为矩形结构;支撑机构底部安装有测量机构;调节槽...
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