本实用新型专利技术涉及半导体芯片焊接技术领域，尤其是一种助焊剂回收装置及真空焊接设备，助焊剂回收装置包括：回收舱、冷凝机构、过滤组件及安全泄压机构，其主要利用抽真空机构在对真空腔抽气时，含有雾状悬浮的助焊剂等氧化物的废气预先经过过滤组件进行过滤，去除废气中的液体和固体氧化物，防止冷却区因积累过多的污垢而影响换热系数；随后废气进入到冷却区，气态助焊剂发生相变冷凝形成液态助焊剂，液态助焊剂在气流作用下向回收区流动，并产生堆积，经过过滤和冷凝出阻焊剂的废气最终通过洁净区进入抽真空机构，从而保证废气不会对抽真空机构产生影响，提高了设备的使用寿命。提高了设备的使用寿命。提高了设备的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
助焊剂回收装置及真空焊接设备
[0001]本技术涉及半导体芯片焊接
，尤其是一种助焊剂回收装置，此外，本技术还涉及一种包括上述助焊剂回收装置的真空焊接设备。
技术介绍
[0002]真空共晶焊，也叫真空回流焊或真空可控气氛共晶炉，具有温度均匀一致、超低温安全焊接、无温差、无过热、工艺参数可靠稳定、无需复杂工艺试验、环保成本运行低等特点，在半导体产品生产中得到广泛应用。
[0003]真空共晶焊的主体部分为真空腔体，芯片在焊接过程中，焊料中常含有助焊剂，助焊剂是由松脂，增粘剂，活性剂等用溶剂调制而成，具有很强的粘性，且有腐蚀性，其在焊接加热过程时，会挥发成为雾状蒸汽悬浮在还原气保护体或真空腔体内。当蒸汽不被及时回收，其在回流焊炉内的浓度超过一定浓度时，一方面会滴落进而粘附在焊接元件上形成残留物，从而影响焊接质量，另一方面，雾状蒸汽冷却或遇到冷壁时，会附着在真空腔壁或腔体内其他零部件上，形成粘性较强的液体，从而腐蚀真空腔体及其他零部件，同时会影响真空腔体的真空度；此外，悬浮在还原保护气体或真空舱中的雾状助焊剂在抽真空时，会对粘附在真空泵的管道和零件上，造成腐蚀，影响真空泵的使用寿命。
[0004]现有技术公开的真空共晶炉，没有对助焊剂的回收处理功能，或处理效果不理想，导致助焊剂不受控制而腐蚀真空腔体及各部件，影响产品焊接质量和设备使用寿命。
[0005]专利CN215145522U公开了一种具有助焊剂回收功能的真空舱，包括舱体，舱体内侧壁均设置有回收装置，其中回收装置包括连接在舱体内侧壁的安装板，安装板顶部开设有回收槽，回收槽连接有导流板，导流板均向上倾斜布置,当助焊剂在真空舱内壁附着较多时则顺着往下流，流在导流板上后，将自动流入回收槽中，避免流到真空舱底部。该方案只能对附着在真空腔体内壁的助焊剂进行回收，无法解决助焊剂对其他零件的腐蚀问题，且回收的助焊剂仍在腔体内部的回收槽中，当遇到高温回收槽中的助焊剂会挥发，因此，该方案不能从根本上解决问题。
[0006]专利CN215545644U一种用于半导体焊接炉的助焊剂的回收装置，包括冷却室和冷却水管，所述冷却室上部设置有进气口，所述进气口和焊接装置连接，所述冷却室下部设置有出气口，所述冷却室内部设置有导风板，所述导风板交替设置在所述冷却室相对的两个侧壁上，所述冷却水管设置在相邻两块所述导风板之间。所述冷却水管为螺旋状，所述冷却水管设置有多根，相邻两根冷却水管平行设置，以此在焊接过程中形成蒸汽形态的助焊剂进行回收，防止焊炉内部形成助焊剂堆积，该方案主要用于其在线式回流焊，通过离心风机实现腔体内部气体循环，需要额外通入N2，加上冷却水管对热气进行冷却，冷却后的 N2在离心风机的作用下再次进去腔体，N2中残留的助焊剂可能存在二次污染的风险。
技术实现思路
[0007]本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中助焊剂在回收过程中容易
随气流进入到抽真空机构内，导致的抽真空机构发生腐蚀的问题，现提供一种助焊剂回收装置，此外，本技术还涉及一种包括上述助焊剂回收装置的真空焊接设备；该助焊剂回收装置能够及时对真空焊接炉内的雾状悬浮的助焊剂进行回收处理，提高产品焊接质量，同时保护真空焊接设备内部零件以及真空泵不被腐蚀，延长设备使用寿命。
[0008]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种助焊剂回收装置，包括：
[0009]回收舱，具有内腔；
[0010]冷凝机构，配置在内腔中，将内腔分为至少包括冷却区、回收区和洁净区，并用于至少对冷却区提供冷量使冷却区内气体中含有的气态助焊剂冷凝形成液态助焊剂，所述回收区用于汇聚液态助焊剂；
[0011]过滤组件，与回收舱的进气口连通，用于过滤气体，过滤组件的出口端和冷却区连通，冷却区通过回收区和洁净区连通，洁净区用于和抽真空机构连通；
[0012]以及安全泄压机构，与内腔连通，用于在内腔的压力超过阈值时处于打开状态，使内腔泄压。
[0013]本方案中抽真空机构在对真空腔抽气时，含有雾状悬浮的助焊剂等氧化物的废气预先经过过滤组件进行过滤，去除废气中的液体和固体氧化物，防止冷却区因积累过多的污垢而影响换热系数；随后废气进入到冷却区，气态助焊剂发生相变冷凝形成液态助焊剂，液态助焊剂在气流作用下向回收区流动，汇聚在回收区，防止冷却区因液态助焊剂过多而影响换热效率，经过过滤和冷凝出阻焊剂的废气最终通过洁净区进入抽真空机构，从而保证废气不会对抽真空机构产生影响，提高了设备的使用寿命；
[0014]安全泄压机构则可有效避免因回收舱压力过大，引起的安全隐患或抽真空机构过载的问题。
[0015]进一步地，所述冷却区围绕设置在洁净区的外侧，且冷却区的横截面面积和洁净区的横截面面积均小于回收区的横截面面积；
[0016]所述冷却区的一端和过滤组件的出口端连通，另一端和回收区连通；所述洁净区的一端和回收区连通，另一端和抽真空机构连通，所述抽真空机构抽真空时，冷却区的气体流动方向与回收区的气体流动方向相反；
[0017]上述布局方式，以下优点：
[0018]第一，废气从冷却区流动至回收区时，废气流动路径的横截面面积变大，废气的流速在回收区得以降低，夹带在废气中的微小液滴易于沉积至回收区的底部，从而增加助焊剂的回收率，提高废气的助焊剂去除率；
[0019]第二，废气从冷却区流动至回收区时，会撞击到回收区的内壁，产生反向流动，在撞击过程中，夹带在废气中的微小液滴容易附着在回收区的内壁上，从而进一步增加助焊剂的回收率以及进一步提高废气的助焊剂去除率；
[0020]第三，冷却区围绕设置在洁净区的外侧，一方面具有结构紧凑的优点，另一方面冷却区的冷量可以传递至洁净区，使洁净区亦具备能够对废气中的助焊剂进行冷凝的能力，使经过冷却区冷凝及回收区沉积液态助焊剂后的废气在洁净区再次能够冷凝，确保废气的洁净度。
[0021]为了便于制造及装配，进一步地，所述冷凝机构包括固定管和配置在固定管外的冷凝管；
[0022]所述固定管的首端和回收舱密封固定连接，固定管的尾端和插入到内腔中，所述内腔的内周壁和固定管的外周壁之间形成所述冷却区，所述内腔中位于固定管的尾端所在端具有一个区间为回收区，所述固定管的内周围合成洁净区；
[0023]所述冷凝管布置在冷却区内。
[0024]为了便于提高结构的紧凑性，进一步地，所述过滤组件包括过滤网和过滤网板，所述过滤网板套设在固定管外，并与固定管固定连接，所述过滤网板将内腔的内周壁和固定管的外周壁之间的空间分为位于固定管首端的过滤区和位于固定管尾端的冷却区，所述过滤网板贯穿有若干通孔，所述过滤区和冷却区通过所述通孔连通，所述过滤网填充在过滤区内；通过将过滤组件内置在回收舱内，相对于外置的过滤组件而言，可提高结构的紧凑性，同时降低密封难度。
[0025]进一步地，所述过滤网为气液过滤网或丝网除沫器。
[0026]为了便于更换过滤网及冷凝管的装卸和维护，进一步地，所述固定管的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种助焊剂回收装置，其特征在于：包括：回收舱(1)，具有内腔；冷凝机构(2)，配置在内腔中，将内腔分为至少包括冷却区(12)、回收区(13)和洁净区(14)，并用于至少对冷却区(12)提供冷量使冷却区(12)内气体中含有的气态助焊剂冷凝形成液态助焊剂，所述回收区(13)用于汇聚液态助焊剂；过滤组件(3)，与回收舱(1)的进气口(111)连通，用于过滤气体，过滤组件(3)的出口端和冷却区(12)连通，冷却区(12)通过回收区(13)和洁净区(14)连通，洁净区(14)用于和抽真空机构(6)连通；以及安全泄压机构(4)，与内腔连通，用于在内腔的压力超过阈值时处于打开状态，使内腔泄压。2.根据权利要求1所述的助焊剂回收装置，其特征在于：所述冷却区(12)围绕设置在洁净区(14)的外侧，且冷却区(12)的横截面面积和洁净区(14)的横截面面积均小于回收区(13)的横截面面积；所述冷却区(12)的一端和过滤组件(3)的出口端连通，另一端和回收区(13)连通；所述洁净区(14)的一端和回收区(13)连通，另一端和抽真空机构(6)连通，所述抽真空机构(6)抽真空时，冷却区(12)的气体流动方向与回收区(13)的气体流动方向相反。3.根据权利要求2所述的助焊剂回收装置，其特征在于：所述冷凝机构(2)包括固定管(22)和配置在固定管(22)外的冷凝管(23)；所述固定管(22)的首端和回收舱(1)密封固定连接，固定管(22)的尾端和插入到内腔中，所述内腔的内周壁和固定管(22)的外周壁之间形成所述冷却区(12)，所述内腔中位于固定管(22)的尾端所在端具有一个区间为回收区(13)，所述固定管(22)的内周围合成洁净区(14)；所述冷凝管(23)布置在冷却区(12)内。4.根据权利要求3所述的助焊剂回收装置，其特征在于：所述过滤组件(3)包括过滤网(31)和过滤网板(32)，所述过滤网板(32)套设在固定管(22)外，并与固定管(22)固定连接，所述过滤网板(32)将内腔的内周壁和固定管(22)的外周壁之间的空间分为位于固定管(22)首端的过滤区(11)和位于固定管(22)尾端的冷却区(12)，所述过滤网板(32)贯穿有若干通孔(321)，所述过滤区(11)和冷却区(12)通过所述通孔(321)连通，所述过滤网(31)填充在过滤区(11)内。5.根据权利要求3所述的助焊剂回收装置，其特征在于：所述固定管(22)的首端固定有法兰盘(21)，所述法兰盘(21)与回收舱(1)可拆卸的密封固定连接，并开设有用于和抽真空机构(6)连通的出气口(211)，出气口(211)和洁净区(14)连通；所述法兰盘(21)...
【专利技术属性】
技术研发人员：戚国强，潘兵，杨友志，刘元，许建磊，
申请(专利权)人：快克智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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