晶棒制造管理方法和晶棒制造管理系统技术方案

本公开提供了一种晶棒制造管理方法，其包括以下步骤：对通过将拉制的晶棒切割成多个晶锭并对每个晶锭的头尾进行切取而获得的薄片进行测试，以确定晶锭的品质参数；以及基于品质参数和晶锭所对应的拉制工艺参数评估晶锭的品质等级。本公开还涉及一种晶棒制造管理系统。通过上述方法和系统，实现了对拉晶品质和良率的准确统计，便于后续能够根据客户要求准确投入及产出相应品质的硅片。确投入及产出相应品质的硅片。确投入及产出相应品质的硅片。

【技术实现步骤摘要】
晶棒制造管理方法和晶棒制造管理系统


[0001]本公开涉及制造管理
，具体地，涉及晶棒制造管理方法和晶棒制造管理系统。

技术介绍

[0002]目前，直拉法是比较主流的单晶硅生长方法。硅片的制造总体上分为两个阶段，即，单晶晶棒拉制，并然后将晶棒切割成切片设备可以处理的小段晶锭；以及之后将晶锭切片、圆边、研磨、抛光、清洗等工序后得到硅片。
[0003]在晶棒拉制中，12寸晶棒的长度通常在2米以上，而晶棒不同位置由于拉晶工艺参数等的影响，品质存在差异。对于晶棒，头、尾两端和部分位置由于拉速波动或其它因素影响出现异常，导致所拉制的晶棒的这些部位切割出的晶圆出现瑕疵的比例较高，这些部位会经过切断工艺进行区分，切断的目的还包括将晶棒分段成切片设备可以处理的长度并对分段后的晶锭进行测试，根据测试结果，进行投产加工，以匹配不同的客户需求。但是，随着客户需求的多样化，对不同晶棒及晶锭的品质管理提出了更高的要求。且随着产能的不断增加，无法方便快捷地实现大量晶棒的品质和良率状况管理，导致晶圆厂投入晶锭容易出错。
[0004]此外，通常需要在晶棒拉制之前设定好拉晶相关参数，以使得可以基于所设定的拉晶相关参数拉制晶棒，并会给予该晶棒一物料号。但目前使用的物料号比较单一，例如只是简单的序列号，无法通过其识别出该晶棒拉晶相关关键参数，导致容易出现混料。
[0005]因此，需要提供一种能够更好地实现大量晶棒的品质和良率状况管理以及能够避免混料的晶棒制造管理方法和晶棒制造管理系统。

技术实现思路

[0006]本部分提供了本公开的总体概要，而不是对本公开的全部范围或所有特征的全面公开。
[0007]本公开的一个目的在于提供一种能够更好地实现大量晶棒的品质和良率状况管理的晶棒制造管理方法。
[0008]本公开的另一目的在于提供一种能够避免混料的晶棒制造管理方法。
[0009]为了实现上述目的中的一个或多个，提供了一种晶棒制造管理方法，其可以包括以下步骤：
[0010]对通过将拉制的晶棒切割成多个晶锭并对每个晶锭的头尾进行切取而获得的薄片进行测试，以确定晶锭的品质参数；以及
[0011]基于品质参数和晶锭所对应的拉制工艺参数评估晶锭的品质等级。
[0012]在上述晶棒制造管理方法中，该晶棒制造管理方法还可以包括基于品质等级和品质等级出现在晶锭上的起始位置和结束位置来获得满足该品质等级的良率。
[0013]在上述晶棒制造管理方法中，所述多个晶锭可以是通过将晶棒以固定长度切割而
获得的。
[0014]在上述晶棒制造管理方法中，品质参数可以包括：电阻、氧含量、碳含量、少数载流子寿命、晶体原生缺陷确认。
[0015]在上述晶棒制造管理方法中，该晶棒制造管理方法还可以包括制定用于表征拉制晶棒所依据的拉晶相关参数的晶棒料号。
[0016]在上述晶棒制造管理方法中，拉晶相关参数可以包括：要拉制的晶棒的直径、产品类型、掺杂物、拉晶炉编号、凹槽方向、电阻和氧含量。
[0017]在上述晶棒制造管理方法中，该晶棒制造管理方法还可以包括根据通过测试和评估获得的实际品质情况对晶棒料号进行更新。
[0018]本公开的另一目的在于提供一种能够更好地实现大量晶棒的品质和良率状况管理的晶棒制造管理系统。
[0019]为了实现上述目的，提供了一种晶棒制造管理系统，其可以包括：
[0020]测试模块，该测试模块用于对通过将拉制的晶棒切割成多个晶锭并对每个晶锭的头尾进行切取而获得的薄片进行测试，以确定晶锭的品质参数；
[0021]评估模块，该评估模块用于基于品质参数和晶锭所对应的拉制工艺参数评估晶锭的品质等级。
[0022]在上述晶棒制造管理系统中，该晶棒制造管理系统还可以包括：
[0023]显示录入模块，该显示录入模块可以显示品质参数、可以录入并显示品质等级、以及可以显示基于品质等级与该品质等级出现在晶锭上的起始位置和结束位置获得的满足该品质等级的良率。
[0024]在上述晶棒制造管理系统中，该显示录入模块还可以录入和显示表征拉制晶棒所依据的拉晶相关参数的晶棒料号。
[0025]根据本公开，通过从晶棒的不同位置切取薄片并对其进行测试和评估来获得晶棒不同位置的品质情况，由此实现对拉晶品质和良率的准确统计，以便于后续能够根据客户要求准确投入及产出相应品质的硅片。此外，通过制定用于表征拉制晶棒所依据的拉晶相关参数的晶棒料号，可以避免或至少降低因例如拉错晶棒或存放错误而导致的混料风险。
[0026]通过以下结合附图对本公开的示例性实施方式的详细说明，本公开的上述特征和优点以及其他特征和优点将更加清楚。
附图说明
[0027]图1为示意性地示出了根据本公开的实施方式的晶棒料号的制定方式的图表；以及
[0028]图2示意性地示出了根据本公开的实施方式的晶棒制造管理系统的录入界面。
具体实施方式
[0029]下面参照附图、借助于示例性实施方式对本公开进行详细描述。要注意的是，对本公开的以下详细描述仅仅是出于说明目的，而绝不是对本公开的限制。此外，在各个附图中采用相同的附图标记来表示相同的部件。
[0030]根据本公开的实施方式，提出了一种晶棒制造管理方法，其包括以下步骤：对通过
将拉制的晶棒切割成多个晶锭并对每个晶锭的头尾进行切取而获得的薄片进行测试，以确定该晶锭的品质参数；以及基于品质参数和晶锭所对应的拉制工艺参数评估晶锭的品质等级。
[0031]具体而言，在上述方法中，拉制完成的晶棒会被切割成多个晶锭，每个晶锭的头尾会被分别切取薄片，即头部薄片和尾部薄片。对于每个晶锭而言，这两个薄片会被测试，以确认实际的品质参数。需要说明的是，该测试例如可以在实验室由特定的设备执行。该品质参数例如可以包括电阻、氧含量、碳含量、少数载流子寿命(MCLT)、蚀刻坑位错(EPD)确认、晶体原生颗粒(COP)确认等。
[0032]接下来，基于所确定的实际品质参数并结合该晶锭所对应的拉制工艺参数，可以评估出该晶锭的品质等级。需要说明的是，拉制工艺参数例如可以是拉制速度，其可以在晶棒的拉制过程中持续地收集，并且品质等级例如可以为19nm、40nm、90nm等。另外，该评估可以由拉晶工程师做出或者可以由特定的设备执行。
[0033]通过上述方式，即从晶棒的不同位置切取薄片并对其进行测试和评估，可以获得晶棒不同位置的品质情况，实现对拉晶品质和良率的准确统计，从而有助于对晶棒的品质进行更好地管理，以便于后续能够根据客户要求准确投入相应品质的晶锭来生产硅片，避免出错并提升效率。
[0034]进一步地，根据本公开的实施方式的晶棒制造管理方法还可以包括基于品质等级和该品质等级出现在该晶锭上的起始位置和结束位置来获得满足该品质等级的良率。
[0035]具体而言，基于针对每个晶锭的两个薄片确定的品质等级，可以确定出该品质等级在该晶锭上出现的起始位置和结束位置，即该品质等级在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒制造管理方法，包括以下步骤：对通过将拉制的晶棒切割成多个晶锭并对每个晶锭的头尾进行切取而获得的薄片进行测试，以确定所述晶锭的品质参数；以及基于所述品质参数和所述晶锭所对应的拉制工艺参数评估所述晶锭的品质等级。2.根据权利要求1所述的晶棒制造管理方法，其特征在于，还包括基于所述品质等级和所述品质等级出现在所述晶锭上的起始位置和结束位置来获得满足所述品质等级的良率。3.根据权利要求1或2所述的晶棒制造管理方法，其特征在于，所述多个晶锭是通过将所述晶棒以固定长度切割而获得的。4.根据权利要求1或2所述的晶棒制造管理方法，其特征在于，所述品质参数包括：电阻、氧含量、碳含量、少数载流子寿命、蚀刻坑位错确认和晶体原生颗粒确认。5.根据权利要求1或2所述的晶棒制造管理方法，其特征在于，还包括制定用于表征拉制所述晶棒所依据的拉晶相关参数的晶棒料号。6.根据权利要求5所述的晶棒制造管理方法，其特征在于，所述拉晶相关参数包括：要拉制的晶棒的直径...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙介楠，陈曦鹏，韩聪，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：