下载晶棒制造管理方法和晶棒制造管理系统的技术资料

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本公开提供了一种晶棒制造管理方法,其包括以下步骤:对通过将拉制的晶棒切割成多个晶锭并对每个晶锭的头尾进行切取而获得的薄片进行测试,以确定晶锭的品质参数;以及基于品质参数和晶锭所对应的拉制工艺参数评估晶锭的品质等级。本公开还涉及一种晶棒制造管...
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