一种新型硅片承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，横梁、竖梁通过法兰连接；所述法兰包括法兰本体，法兰本体与内侧的横梁固定件焊接，调节螺丝与横梁内孔螺纹连接；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定；横梁上设有槽口，槽口与固定装置位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固定装置上设有二个孔，其中第一个孔用来安装拉筋和放置在承载框上的托盘，第二个孔与第一个孔垂直，第二个孔中安装螺钉将拉筋和托盘顶紧固定。所述硅片放置框上设置有硅片卡点。本实用新型专利技术使用方便，可以有效提高镀膜效率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种新型硅片承载装置


[0001]本技术涉及一种硅片承载装置。

技术介绍

[0002]异质结电池需要经过清洗制绒、化学气相沉积、物理气相沉积、丝网印刷，其中物理气相沉积简称PVD，其作用是在硅片表面沉积一层透明导电膜，形成良好的欧姆接触、减少载流子的复合效率、钝化表面。一般通过磁控溅射来实现镀膜，利用离子源产生的离子，在高真空中经过加速聚集，形成高速的离子束流，轰击靶材表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使靶材表面的原子离开靶材并沉积在硅片表面而形成薄膜材料。硅片通过承载装置进入真空腔，进行镀膜。
[0003]现有的硅片承载装置由于结构等原因，影响使用性能和效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种使用方便、提高工作效率的硅片承载装置。
[0005]本技术的技术解决方案是：
[0006]一种新型硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，其特征是：横梁、竖梁通过法兰连接；所述法兰包括法兰本体，法兰本体与内侧的横梁固定件焊接，调节螺丝穿过竖梁上的螺丝孔、法兰本体上的螺丝孔后与横梁内孔螺纹连接，可以调节横梁和竖梁之间的距离；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉穿过所述横梁固定件上的螺钉孔，顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定；
[0007]横梁上设有槽口，槽口与固定装置位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固定装置上设有二个孔，其中第一个孔用来安装拉筋和放置在承载框上的托盘，第二个孔与第一个孔垂直，第二个孔中安装螺钉将拉筋和托盘顶紧固定。
>[0008]所述竖梁包括外侧梁体和内侧梁体，外侧梁体和内侧梁体通过焊接连接，竖梁上的螺丝孔设置在内侧梁体上。
[0009]所述横梁包括位于承载框上、下端的上、下横梁和位于承载框中部的中间横梁。
[0010]本技术使用方便，可以有效提高镀膜效率，降低生产成本。
附图说明
[0011]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。
[0012]图1是本技术一个实施例的结构示意图。
[0013]图2是竖梁的结构示意图。
[0014]图3是图2的左视图。
[0015]图4是横梁的结构示意图。
[0016]图5是边横梁与竖梁连接局部剖视图，即图1的A部放大图。
[0017]图6是中间横梁与竖梁的连接示意图，即图1的C部放大图。
[0018]图7是图1的D
‑
D剖视图。
[0019]图8硅片放置框的局部放大图。
具体实施方式
[0020]一种新型硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，横梁5、竖梁通过法兰3连接；所述法兰包括法兰本体14，法兰本体与内侧的横梁固定件12焊接，调节螺丝15穿过竖梁上的螺丝孔、法兰本体上的螺丝孔后与横梁内孔螺纹连接，可以调节横梁和竖梁之间的距离；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉13穿过所述横梁固定件上的螺钉孔，顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定；采用法兰连接，保证了横梁和竖梁垂直，装配简单，只需要将横梁插进去，拧紧螺钉。
[0021]横梁上设有槽口21，槽口与固定装置6位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固定装置上设有二个孔，其中第一个孔用来安装拉筋17和放置在承载框上的托盘9，第二个孔与第一个孔垂直，第二个孔中安装螺钉7将拉筋和托盘顶紧固定。拉筋通过螺钉7卡死，在后期运行过程中，不会因为振动掉落，通过拉筋使托盘不易变形。承载框与托盘的接触面积减少，避免由于接触导致的受热不均匀造成变形。可以通过微调固定装置在框架上面的位置调整托盘平面度。
[0022]所述竖梁包括外侧梁体1和内侧梁体2，外侧梁体和内侧梁体通过焊接连接，竖梁上的螺丝孔设置在内侧梁体上。这种结构的强度比原来主副梁提高3倍，并且制造成本低，外侧梁体可以直接由机床加工不需要折弯，节省工序，提高效率，降低成本。
[0023]所述横梁包括位于承载框上、下端的上、下横梁5和位于承载框中部的中间横梁16。
[0024]托盘上放置多个硅片放置框，通过增加放置框的数量提高生产效率，镀膜有效面积增多，提高镀膜效率，降低成产生本。所述硅片放置框上设置有硅片卡点8，放片台每条边上设置两个卡点，一个放片台总共设置8个卡点，在机械手放片的时候，卡点具有引导作用，可以使硅片顺利放进去。
[0025]图中还有：中间法兰10、将法兰固定到竖梁上的螺丝4、固定中间法兰的螺钉11、竖梁上固定块的装配位置18、边横梁上面的u型槽20，使横梁避开螺钉13，能够顺利插入。
[0026]图中还有螺钉15穿过竖梁上面的孔19。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，其特征是：横梁、竖梁通过法兰连接；所述法兰包括法兰本体，法兰本体与内侧的横梁固定件焊接，调节螺丝穿过竖梁上的螺丝孔、法兰本体上的螺丝孔后与横梁内孔螺纹连接，可以调节横梁和竖梁之间的距离；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉穿过所述横梁固定件上的螺钉孔，顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定；横梁上设有槽口，槽口与固定装置位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：高晗，吴明贵，刘小明，张帆，龚汉亮，
申请(专利权)人：南通玖方新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：