【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片设备，涉及一种防止导轨条撞击的硅片承载装置。
技术介绍
1、硅片需要经过多道工序才能成为电池片，其中有一道工序是等离子增强型化学气相淀积pecvd，其目的是为了减少光的反射损失，增强吸收光的强度，从而提高电池效率。此道工序中需要硅片承载装置，用于装载硅片，并带动硅片在各个加工工位之间移动，实现硅片的镀膜或其他加工。
2、硅片承载装置放在设备带轮组成的导轨上面，导轨条和带轮直接接触，带轮旋转带动承载装置移动。由于导轨条在设备内快速移动的过程中，特别是承载装置导轨条两端侧面，会与带轮摩擦并且产生粉末，从而影响产品质量。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的上述问题，本申请提供了一种防止导轨条撞击的硅片承载装置。
2、本技术的技术方案如下：
3、一种防止导轨条撞击的硅片承载装置，包括承载框和承载盘，承载盘定位安装在承载框上，承载盘上设有一个或多个存放槽，在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽中，加工时通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载框设置有横向支撑杆和纵向支撑杆，承载框的顶部和底部安装有导轨条，导轨条装配有缓冲片一、缓冲片二、缓冲片三和缓冲片四。
4、作为本技术的一种优选实施方式：横向支撑杆的数量设置为多个。
5、作为本技术的一种优选实施方式：相邻的横向支撑杆之间安装有连接杆。
6、作为本技术的一种优选实施方式：横向支撑杆和纵向支撑杆相互垂直。
7、作为本技术的一种
8、作为本技术的一种优选实施方式：缓冲片一、缓冲片二、缓冲片三和缓冲片四通过锁紧螺钉进行定位。
9、本技术的有益效果是：
10、本技术一种防止导轨条撞击的硅片承载装置，承载盘上设有一个或多个存放槽，在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽中，加工时通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载框设置有横向支撑杆和纵向支撑杆，导轨条装配有采用铝材制作的缓冲片一、缓冲片二、缓冲片三和缓冲片四，材质相对比较软，具有缓冲减振作用，能够防止导轨条撞击导轨轮产生粉末，从而避免污染真空环境，便捷可靠。
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1.一种防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：包括承载框（1）和承载盘（2），所述承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，所述承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在所述存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，所述承载框（1）设置有横向支撑杆（8）和纵向支撑杆（10），所述承载框（1）的顶部和底部安装有导轨条，所述导轨条装配有缓冲片一（4）、缓冲片二（5）、缓冲片三（6）和缓冲片四（7）。
2.根据权利要求1所述的防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：所述横向支撑杆（8）的数量设置为多个。
3.根据权利要求2所述的防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：相邻的横向支撑杆（8）之间安装有连接杆（9）。
4.根据权利要求1所述的防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：所述横向支撑杆（8）和纵向支撑杆（10）相互垂直。
5.根据权利要求1所述的防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：所述承载框（1）为四边形结构，所述缓冲片一（4）、缓冲片二（5）、缓冲
6.根据权利要求1-5任一项所述的防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：所述缓冲片一（4）、缓冲片二（5）、缓冲片三（6）和缓冲片四（7）通过锁紧螺钉（11）进行定位。
...【技术特征摘要】
1.一种防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：包括承载框（1）和承载盘（2），所述承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，所述承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在所述存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，所述承载框（1）设置有横向支撑杆（8）和纵向支撑杆（10），所述承载框（1）的顶部和底部安装有导轨条，所述导轨条装配有缓冲片一（4）、缓冲片二（5）、缓冲片三（6）和缓冲片四（7）。
2.根据权利要求1所述的防止导轨条撞击的硅片承载装置，其特征在于：所述横向支撑杆（8）的数量设置为多个。
3.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：高晗，杨宗明，刘小明，王小东，张帆，
申请(专利权)人：南通玖方新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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