【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片镀膜，具体为一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板。
技术介绍
1、石墨载板一般用于搭载硅片，然后通过移动载板来移动硅片，从而进行镀膜加工；
2、引用专利号为cn211265431u的国家专利，该专利公开了一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，包括石墨载板本体、分隔杆、搭载孔和承载板，本技术使用石墨载板时，通过将硅片放置在搭载孔中，因硅片的规格不同，选择合适的承载板一、承载板二或承载板三进行放置硅片，硅片放置在承载板一上时，对于方形的硅片，将硅片的拐角处插入承载板二一侧的卡接槽上，对硅片进行固定，若将硅片放在承载板二上，位于其上端的硅片一端与承载板三一侧的卡接槽连接，承载板三上也可以放置硅片，位于承载板一、承载板二和承载板三上端的硅片的规格不同；
3、上述专利安装了硅片放在承载板二上，位于其上端的硅片一端与承载板三一侧的卡接槽连接，承载板三上也可以放置硅片，但是现有的硅片规格各有不同，载板的承载位置一般为固定的，不利于搭载不同规格的硅片。
4、因此，设计实用性强的一种用于搭载不同尺寸硅片...
【技术保护点】
1.一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板，包括石墨烯载板机构（1），所述石墨烯载板机构（1）包括载板（11），所述载板（11）的底部固定连接有底座（13），所述载板（11）的顶部开设有放置槽（12），其特征在于：所述载板（11）的底部固定连接有尺寸调节机构（2），所述载板（11）的内壁固定连接有气流清理机构（3）；
2.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板，其特征在于：所述第一挤压板（24）的两端固定连接有两个第一挤压板（24），所述第一挤压板（24）的外壁固定连接有第二挤压板（25）。
3.根据权利要求2所述的一种用于搭载...
【技术特征摘要】
1.一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板，包括石墨烯载板机构（1），所述石墨烯载板机构（1）包括载板（11），所述载板（11）的底部固定连接有底座（13），所述载板（11）的顶部开设有放置槽（12），其特征在于：所述载板（11）的底部固定连接有尺寸调节机构（2），所述载板（11）的内壁固定连接有气流清理机构（3）；
2.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板，其特征在于：所述第一挤压板（24）的两端固定连接有两个第一挤压板（24），所述第一挤压板（24）的外壁固定连接有第二挤压板（25）。
3.根据权利要求2所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板，其特征在于：所述第二挤压板（25）外壁远离第一挤压板（24）的一端固定连接有引导板（26）。
4.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板，其特征在于：所述气流清理机构（3）包括第二气流孔（31），所述第二气流孔（31）开设在放置槽（12）内底部...
【专利技术属性】
技术研发人员：高晗，葛金华，
申请(专利权)人：南通玖方新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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