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本发明公开了一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板,本发明涉及硅片镀膜技术领域,包括石墨烯载板机构,所述石墨烯载板机构包括载板,所述载板的底部固定连接有底座,所述载板的顶部开设有放置槽,所述载板的底部固定连接有尺寸调节机构,所述载板的内壁固定...该专利属于南通玖方新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通玖方新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨烯载板,本发明涉及硅片镀膜技术领域,包括石墨烯载板机构,所述石墨烯载板机构包括载板,所述载板的底部固定连接有底座,所述载板的顶部开设有放置槽,所述载板的底部固定连接有尺寸调节机构,所述载板的内壁固定...