一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟，具体涉及石英舟技术领域，包括石英舟主体，所述石英舟主体的上表面开设有放置槽，且所述放置槽的内部滑动连接有滑动架，所述放置槽远离滑动架的一侧开设有一号固定卡槽，所述滑动架靠近一号固定卡槽的一侧开设有与一号固定卡槽对应的二号固定卡槽，所述滑动架与石英舟主体之间设置有调节机构。本实用新型专利技术通过设置滑动架，由于滑动架转动连接的螺纹杆与放置槽开设的螺纹孔螺纹连接，从而通过旋钮控制螺纹杆的转动能够带动滑动架在放置槽内滑动，从而调节一号固定卡槽与二号固定卡槽之间的距离，从而能够适应不同规格的硅片进行放置。进行放置。进行放置。

【技术实现步骤摘要】
一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟


[0001]本技术涉及石英舟
，更具体地说，本技术涉及一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟。

技术介绍

[0002]石英玻璃是良好的耐酸材料，除氢氟酸和300度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸，硝酸，盐酸，王水，中性盐类，碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍，相当于镍铬合金和陶瓷的150倍，它耐高温，耐热震，热膨胀系数特别小；石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面，因此常用石英舟放置硅片。
[0003]但是在实际使用时，由于硅片的尺寸较多，而常见的石英舟缺乏调节措施，从而不能适应不同规格的硅片的放置，因此需要进一步的改进。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟，包括石英舟主体，所述石英舟主体的上表面开设有放置槽，且所述放置槽的内部滑动连接有滑动架，所述放置槽远离滑动架的一侧开设有一号固定卡槽，所述滑动架靠近一号固定卡槽的一侧开设有与一号固定卡槽对应的二号固定卡槽，所述滑动架与石英舟主体之间设置有调节机构。
[0006]为了利用螺纹杆在螺纹孔上转动时能够带动滑动架在放置槽内滑动，从而调节一号固定卡槽与二号固定卡槽之间的距离，从而能够适应不同规格的硅片进行放置，所述调节机构包括转动连接在滑动架远离二号固定卡槽一侧的螺纹杆，所述放置槽远离一号固定卡槽的内壁开设有与石英舟主体外表面连通的螺纹孔，所述螺纹杆穿设于螺纹孔的内部，且所述螺纹杆与螺纹孔螺纹连接。
[0007]为了利用限位滑槽限制滑动架连接的限位杆在指定区域内滑动，从而滑动架在指定区域内滑动，从而避免调节时出现偏移，所述滑动架靠近螺纹孔的一侧固定安装有限位杆，且所述放置槽的内壁开设有与限位杆对应的限位滑槽，所述限位杆穿设于限位滑槽的内部。
[0008]为了能够通过旋钮控制螺纹杆的转动，所述螺纹杆穿设出螺纹孔的一端固定安装有旋钮。
[0009]为了便于通过刻度尺调整一号固定卡槽与二号固定卡槽之间的距离，所述石英舟主体靠近放置槽的表面开设有刻度尺。
[0010]为了能够将掉入放置槽的硅片或其他物体顺利的从通槽排出，所述放置槽靠近螺纹孔的底部开设有通槽。
[0011]为了能够在控制旋钮转动时增大摩擦力，从而控制旋钮连接的螺纹杆转动更便
利，所述旋钮的表面开设有摩擦槽。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013]1、与现有技术相比，通过设置滑动架，由于滑动架转动连接的螺纹杆与放置槽开设的螺纹孔螺纹连接，从而通过旋钮控制螺纹杆的转动能够带动滑动架在放置槽内滑动，从而调节一号固定卡槽与二号固定卡槽之间的距离，从而能够适应不同规格的硅片进行放置。
[0014]2、与现有技术相比，通过设置限位杆和限位滑槽，利用限位滑槽限制滑动架连接的限位杆在指定区域内滑动，从而滑动架在指定区域内滑动，从而避免调节时出现偏移；通过设置刻度尺，能够便于调整一号固定卡槽与二号固定卡槽之间的距离；通过设置通槽，能够将掉入放置槽的硅片或其他物体顺利的从通槽排出；通过设置摩擦槽，能够在控制旋钮转动时增大摩擦力，从而控制旋钮连接的螺纹杆转动更便利。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术放置槽结构示意图。
[0017]图3为本技术滑动架结构示意图。
[0018]图4为本技术图3中A处的放大结构示意图。
[0019]附图标记为：1、石英舟主体；2、放置槽；3、滑动架；4、一号固定卡槽；5、二号固定卡槽；6、螺纹杆；7、螺纹孔；8、限位杆；9、限位滑槽；10、旋钮；11、刻度尺；12、通槽；13、摩擦槽。
具体实施方式
[0020]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]如附图1、附图2和附图3所示的一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟，包括石英舟主体1，石英舟主体1的上表面开设有放置槽2，且放置槽2的内部滑动连接有滑动架3，放置槽2远离滑动架3的一侧开设有一号固定卡槽4，滑动架3靠近一号固定卡槽4的一侧开设有与一号固定卡槽4对应的二号固定卡槽5，滑动架3与石英舟主体1之间设置有调节机构。
[0022]在一个优选地实施方式中，如附图1、附图2、附图3和附图4所示，调节机构包括转动连接在滑动架3远离二号固定卡槽5一侧的螺纹杆6，放置槽2远离一号固定卡槽4的内壁开设有与石英舟主体1外表面连通的螺纹孔7，螺纹杆6穿设于螺纹孔7的内部，且螺纹杆6与螺纹孔7螺纹连接，以便于利用滑动架3转动连接的螺纹杆6与放置槽2开设的螺纹孔7螺纹连接，从而螺纹杆6的转动能够带动滑动架3在放置槽2内滑动，从而调节一号固定卡槽4与二号固定卡槽5之间的距离，从而能够适应不同规格的硅片进行放置。
[0023]在一个优选地实施方式中，如附图1、附图2和附图3所示，滑动架3靠近螺纹孔7的一侧固定安装有限位杆8，且放置槽2的内壁开设有与限位杆8对应的限位滑槽9，限位杆8穿设于限位滑槽9的内部，以便于利用限位滑槽9限制滑动架3连接的限位杆8在指定区域内滑动，从而滑动架3在指定区域内滑动，从而避免调节时出现偏移。
[0024]在一个优选地实施方式中，如附图1、附图2、附图3和附图4所示，螺纹杆6穿设出螺
纹孔7的一端固定安装有旋钮10，以便于通过旋钮10控制螺纹杆6的转动，从而能够控制滑动架3在放置槽2内滑动。
[0025]在一个优选地实施方式中，如附图2所示，石英舟主体1靠近放置槽2的表面开设有刻度尺11，以便于能够调整一号固定卡槽4与二号固定卡槽5之间的距离。
[0026]在一个优选地实施方式中，如附图3所示，放置槽2靠近螺纹孔7的底部开设有通槽12，以便于能够将掉入放置槽2的硅片或其他物体顺利的从通槽12排出。
[0027]在一个优选地实施方式中，如附图3和附图4所示，旋钮10的表面开设有摩擦槽13，以便于能够在控制旋钮10转动时增大摩擦力，从而控制旋钮10连接的螺纹杆6转动更便利。
[0028]本技术工作原理：在使用时，利用滑动架3转动连接的螺纹杆6与放置槽2开设的螺纹孔7螺纹连接，从而通过旋钮10控制螺纹杆6的转动能够带动滑动架3在放置槽2内滑动，从而能够调节放置槽2开设的一号固定卡槽4与滑动架3开设的二号固定卡槽5之间的距离，从而能够适应不同规格的硅片进行放置；利用限位滑槽9限制滑动架3连接的限位杆8在指定区域内滑动，从而滑动架3在指定区域内滑动，从而避免调节时出现偏移；通过设置刻度尺11，能够便于调整一号固定卡槽4与二号固定卡槽5之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟，包括石英舟主体（1），其特征在于：所述石英舟主体（1）的上表面开设有放置槽（2），且所述放置槽（2）的内部滑动连接有滑动架（3），所述放置槽（2）远离滑动架（3）的一侧开设有一号固定卡槽（4），所述滑动架（3）靠近一号固定卡槽（4）的一侧开设有与一号固定卡槽（4）对应的二号固定卡槽（5），所述滑动架（3）与石英舟主体（1）之间设置有调节机构。2.根据权利要求1所述的一种可适应不同硅片尺寸使用的石英舟，其特征在于：所述调节机构包括转动连接在滑动架（3）远离二号固定卡槽（5）一侧的螺纹杆（6），所述放置槽（2）远离一号固定卡槽（4）的内壁开设有与石英舟主体（1）外表面连通的螺纹孔（7），所述螺纹杆（6）穿设于螺纹孔（7）的内部，且所述螺纹杆（6）与螺纹孔（7）螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种可...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建平，朱国飞，费斌斌，
申请(专利权)人：苏州光协光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：