一种石英舟缓存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，提供了一种石英舟缓存装置，包括箱体和保护机构，所述保护机构设置于箱体的内腔；本实用新型专利技术通过保护机构的设置，可用于对石英舟进行放置缓存，同时对其进行缓冲以及对其进行遮挡防护，从而避免其受损，从而提高了其防护的全面性，经防潮机构的设置，可用于对其进行干燥处理，以使其内部处于一个干燥的环境，以避免内部较为潮湿对内部的部件以及石英舟造成损坏，利用第一防护海绵、第二防护海绵和转条的设置，可用于对其进行两侧以及底部进行保护，以防止出现划伤或是划痕，以避免其无法销售或是使用，而横板和挡板则用于存储物品或是档案，以便于工作人员交接工作或是随时取出需要的工具。人员交接工作或是随时取出需要的工具。人员交接工作或是随时取出需要的工具。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟缓存装置


[0001]本技术属于扩散炉
，尤其涉及一种石英舟缓存装置。

技术介绍

[0002]扩散炉主要用于对单晶硅或多晶硅等进行退火等，而单晶硅或多晶硅片插放在石英舟或者叫石英管上，石英舟或石英管为放置单晶硅或多晶硅的放置架，进行加热或退火时，直接将插放有单晶硅或多晶硅片的石英舟或石英管放置在炉体内，石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石，石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面。
[0003]其中石英舟还用于：化工、冶金、电工、科研等方面，在化工方面：可做高温耐酸性气体的燃烧、冷却的和通风装置，酸性溶液的蒸发，冷却吸物收，贮存装置,蒸馏水,盐酸、硝酸、硫酸等的制备和其它物理化学实验用品。
[0004]而在石英舟缓存时需要用到缓存装置，但现有的缓存装置不具有保护的功能，由于在缓存时直接将石英舟与在外暴露，并且不具有对其进行缓冲防护，以导致其在缓存时容易受到刮伤或是碰撞以及外界因素的影响对其造成损坏。

技术实现思路

[0005]基于上述背景，本技术的目的是提供一种石英舟缓存装置，以使其具备保护的功能，以避免其因各种不稳定的因素对其造成损伤，从而保证其缓存时的完整性。
[0006]为实现以上目的，本技术采用以下的技术方案：
[0007]一种石英舟缓存装置，包括箱体和保护机构，所述保护机构设置于箱体的内腔，所述保护机构中的连接板安装于箱体内腔上下两部和中部；
[0008]所述保护机构还包括有限位放置框、支架、螺纹杆、卡罩、弹簧、伸缩杆和放置板；
[0009]所述限位放置框安装于连接板顶部的两侧，所述支架安装于放置框的顶部，所述螺纹杆设置于支架的顶部，所述卡罩活动连接于螺纹杆的一端，所述弹簧安装于连接板顶部的两侧，所述伸缩杆安装于连接板顶部的中心处，所述放置板安装于伸缩杆和弹簧的一端，所述支架顶部的中心处开设有螺纹孔，所述螺纹杆通过螺纹孔与支架螺纹连接。
[0010]优选的，所述箱体的一侧安装有干燥箱，所述干燥箱的内腔设置有防潮机构，所述防潮机构包括隔板、加热管、风机、分流管、输送管和出风管。
[0011]优选的，所述隔板安装于干燥箱内腔的下部，所述加热管的两侧均安装有支板，所述支板的顶部与隔板底部的两侧安装。
[0012]优选的，所述风机安装于干燥箱内腔一侧的中部，所述分流管连通与风机的出气端，所述输送管连通于分流管的一端，所述出风管连通于输送管的表面。
[0013]优选的，所述输送管表面的两侧均套接有连接套管，所述连接套管的底部安装有支块，所述支块的底部与放置板的顶部安装，所述风机的进气端通过管道贯穿隔板并延伸至干燥箱内腔的下部。
[0014]优选的，所述限位放置框的内壁安装有第一防护海绵，所述放置板的顶部安装有第二防护海绵，所述螺纹杆的另一端安装有转条。
[0015]优选的，所述箱体内腔的下部且位于下部连接板的下方安装有横板，所述横板顶部的中心处安装有挡板，所述挡板的顶部与下部连接板的底部安装。
[0016]优选的，所述干燥箱一侧的上部开设有通口，所述通口的内腔安装有防护隔网。
[0017]本技术具有以下有益效果：
[0018]本技术通过保护机构的设置，可用于对石英舟进行放置缓存，同时对其进行缓冲以及对其进行遮挡防护，从而避免其受损，并且避免其内部落入粉尘或是蚊虫的等杂物，从而提高了其防护的全面性。
[0019]本技术经防潮机构的设置，可用于对其进行干燥处理，以使其内部处于一个干燥的环境，以避免内部较为潮湿对内部的部件以及石英舟造成损坏，从而辅助其进行缓存工作。
[0020]本技术利用第一防护海绵、第二防护海绵和转条的设置，可用于对其进行两侧以及底部进行保护，以防止出现划伤或是划痕，以避免其无法销售或是使用，而横板和挡板则用于存储物品或是档案，以便于工作人员交接工作或是随时取出需要的工具。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其它的附图。
[0022]图1为整体结构示意图；
[0023]图2为连接板结构示意图；
[0024]图3为弹簧结构示意图；
[0025]图4为风机结构示意图。
[0026]附图标号说明：
[0027]1、箱体；2、保护机构；21、连接板；22、限位放置框；23、支架；24、螺纹杆；25、卡罩；26、弹簧；27、伸缩杆；28、放置板；3、防潮机构；31、隔板；32、加热管；33、风机；34、分流管；35、输送管；36、出风管；4、干燥箱。
[0028]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0031]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0032]参见图1
‑
4，一种石英舟缓存装置，包括箱体1和保护机构2，保护机构2设置于箱体1的内腔，保护机构2中的连接板21安装于箱体1内腔上下两部和中部；
[0033]其中，保护机构2还包括有限位放置框22、支架23、螺纹杆24、卡罩25、弹簧26、伸缩杆27和放置板28；
[0034]值得说明的是，如图2和3所示，限位放置框22安装于连接板21顶部的两侧，支架23安装于放置框22的顶部，螺纹杆24设置于支架23的顶部，卡罩25活动连接于螺纹杆24的一端，弹簧26安装于连接板21顶部的两侧，伸缩杆27安装于连接板21顶部的中心处，放置板28安装于伸缩杆27和弹簧26的一端，支架23顶部的中心处开设有螺纹孔，螺纹杆24通过螺纹孔与支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟缓存装置，其特征在于，包括箱体(1)和保护机构(2)，所述保护机构(2)设置于箱体(1)的内腔，所述保护机构(2)中的连接板(21)安装于箱体(1)内腔上下两部和中部；所述保护机构(2)还包括有限位放置框(22)、支架(23)、螺纹杆(24)、卡罩(25)、弹簧(26)、伸缩杆(27)和放置板(28)；所述限位放置框(22)安装于连接板(21)顶部的两侧，所述支架(23)安装于放置框(22)的顶部，所述螺纹杆(24)设置于支架(23)的顶部，所述卡罩(25)活动连接于螺纹杆(24)的一端，所述弹簧(26)安装于连接板(21)顶部的两侧，所述伸缩杆(27)安装于连接板(21)顶部的中心处，所述放置板(28)安装于伸缩杆(27)和弹簧(26)的一端，所述支架(23)顶部的中心处开设有螺纹孔，所述螺纹杆(24)通过螺纹孔与支架(23)螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种石英舟缓存装置，其特征在于，所述箱体(1)的一侧安装有干燥箱(4)，所述干燥箱(4)的内腔设置有防潮机构(3)，所述防潮机构(3)包括隔板(31)、加热管(32)、风机(33)、分流管(34)、输送管(35)和出风管(36)。3.根据权利要求2所述的一种石英舟缓存装置，其特征在于，所述隔板(31)安装于干燥箱(4)内腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟庆昌，赵海军，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：