一种电路集成柜制造技术

本实用新型专利技术属于工业制造设备技术领域，公开了一种电路集成柜，用于扩散炉，包括设于扩散炉主体一侧的电路集成柜柜体，电路集成柜柜体与扩散炉主体之间设置有用于隔热的隔热框，电路集成柜柜体的顶部安装有用于将隔热框内部热量向外部排出的散热组件；本实用新型专利技术电路集成柜柜体与扩散炉主体之间设置有隔热框，可以减少扩散炉主体工作产生的热量对电路集成柜柜体造成的影响，且在正常使用过程中通过风机将隔热框中的热量经过散热管向外部排出，在风机散热效果不足的时候，可以通过半导体制冷片对冷却箱内部的介质进行冷却，以降低风机抽取空气的温度，进一步降低隔热框内部的温度，有效对电路集成柜柜体进行隔热保护。有效对电路集成柜柜体进行隔热保护。有效对电路集成柜柜体进行隔热保护。

【技术实现步骤摘要】
一种电路集成柜


[0001]本技术涉及工业制造设备
，具体为一种电路集成柜。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉的使用往往要配备电路集成柜加以控制，但是现有的电路集成柜在使用过程中由于装置整体本身产生热量，并且和扩散炉配合使用可能造成电路集成柜内部温度升高，这样会大大降低装置使用寿命。
[0003]申请号为202021912932.0的中国专利公开了一种带加热控制散热装置的太阳能扩散炉，太阳能扩散炉的左侧为加热控制变压电柜和控制电路板，太阳能扩散炉的右侧为炉膛区，炉膛区与左侧的加热控制变压电柜、控制电路板安装区通过隔热板分开，加热控制变压电柜和控制电路板安装区通过隔风板分割成上下两部，控制电路板的左侧安装出风口对着控制电路板的第一风扇，隔风板中央有通孔槽安装出风口对着下方的第二风扇。使用该技术能保证控制电路板的环境温度接近常温。
[0004]上述专利在实际使用过程中还存在一些较为明显的缺陷，该装置炉膛区与控制柜为相邻设置，并通过两个风扇对控制电路板进行散热，只能够对控制电路板进行被动散热，控制电路板仍然存在被高温威胁的危险，不能够有效对高温进行隔绝，由此，我们提出一种新型电路集成柜，以更适合扩散炉。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种电路集成柜，具备能够及时有效对电路集成柜进行隔热的优点，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
>[0006]为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0007]一种电路集成柜，包括电路集成柜柜体，所述电路集成柜柜体上设有用于隔热的隔热框，所述电路集成柜柜体的顶部安装有用于将隔热框内部热量向外部排出的散热组件；
[0008]所述散热组件包括固定安装于电路集成柜柜体顶部的冷却箱，所述电路集成柜柜体的顶部且位于冷却箱的正面固定安装有风机，所述风机的排风端连通有排气管，所述排气管远离风机的一端与隔热框的顶部连通。
[0009]优选的，所述冷却箱的内腔设有弯管，所述弯管的一端贯穿冷却箱并延伸至冷却箱的外部与风机的进风端连通，所述弯管的另一端贯穿冷却箱并延伸至冷却箱的外部安装有过滤组件。
[0010]优选的，所述过滤组件包括固定安装于冷却箱顶部的过滤壳，所述过滤壳的内腔固定安装有过滤板，所述弯管的一端与过滤壳的底部连通。
[0011]优选的，所述冷却箱内腔的底部固定安装有半导体制冷片，所述半导体制冷片的
果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0028]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的 结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术 要求的保护范围之内。
[0029]实施例1
[0030]请参阅图1
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图4，本技术提供一种电路集成柜，用于扩散炉，包括设于扩散炉主体1一侧的电路集成柜柜体2，电路集成柜柜体2与扩散炉主体1之间设置有用于隔热的隔热框3，电路集成柜柜体2的顶部安装有用于将隔热框3内部热量向外部排出的散热组件，散热组件包括风机5，在扩散炉主体1正常工作的过程中，风机5会抽取外部温度较低的空气通过排气管6进入隔热框3的内腔，隔热框3内腔底部的两角安装有导流块11，该导流块11表面呈弧形设置，可以有效对风机5抽取的空气进行导向，使气流能够环绕隔热框3内部一周并通过散热管12向外部排出；
[0031]为了对散热管12进行防护，在散热管12上方设置了防护罩13，防护罩13的底部固定安装有支撑杆14，支撑杆14的底端与隔热框3的顶部固定连接，通过支撑杆14将防护罩13固定在散热管12的上方，可以防止外部的杂物通过散热管12进入隔热框3的内腔；
[0032]本实施例中电路集成柜柜体2的顶部安装有冷却箱4，冷却箱4内腔的底部固定安装有半导体制冷片10，半导体制冷片10的散热端贯穿冷却箱4并延伸至冷却箱4的外部，冷却箱4的内腔设有弯管7，弯管7的一端贯穿冷却箱4并延伸至冷却箱4的外部与风机5的进风端连通；
[0033]当风机5不能够有效将隔热框3内部的热量向外部及时排出时，使用者可通过外置控制器打开半导体制冷片10，半导体制冷片10的工作会将冷却箱4内部的介质制冷，经过弯管7的空气会被冷介质冷却，此时制冷后的空气会被风机5抽取并通过排气管6排入隔热框3的内腔，以降低隔热框3内部的温度；
[0034]作为优选的，弯管7的另一端贯穿冷却箱4并延伸至冷却箱4的外部安装有过滤组件，过滤组件包括固定安装于冷却箱4顶部的过滤壳8，过滤壳8的内腔固定安装有过滤板9，弯管7的一端与过滤壳8的底部连通，通过过滤组件的设置，可以对风机5抽取的空气进行过滤，风机5抽取外部空气的时候，空气中携带的灰尘或者杂物会被过滤板9所过滤，以防止灰尘或者杂物进入风机5的内部对其内部结构造成损坏；
[0035]值得说明的是，冷却箱4的一侧开设有安装槽15，安装槽15的内腔固定安装有玻璃板16，通过安装槽15的设置，可以为玻璃板16提供安装空间，通过玻璃板16的设置，可以便于使用者掌握冷却箱4内部冷却介质的余量，当使用者发现冷却箱4内部介质余量不足的时候，可以通过冷却箱4顶部的加注管向冷却箱4的内部及时补充介质，在加注管的顶端设置有管盖，可以防止外部的杂物进入冷却箱4的内部。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电路集成柜，包括电路集成柜柜体（2），其特征在于：所述电路集成柜柜体（2）上设有用于隔热的隔热框（3），所述电路集成柜柜体（2）的顶部安装有用于将隔热框（3）内部热量向外部排出的散热组件；所述散热组件包括固定安装于电路集成柜柜体（2）顶部的冷却箱（4），所述电路集成柜柜体（2）的顶部且位于冷却箱（4）的正面固定安装有风机（5），所述风机（5）的排风端连通有排气管（6），所述排气管（6）远离风机（5）的一端与隔热框（3）的顶部连通。2.根据权利要求1所述的一种电路集成柜，其特征在于：所述冷却箱（4）的内腔设有弯管（7），所述弯管（7）的一端贯穿冷却箱（4）并延伸至冷却箱（4）的外部与风机（5）的进风端连通，所述弯管（7）的另一端贯穿冷却箱（4）并延伸至冷却箱（4）的外部安装有过滤组件。3.根据权利要求2所述的一种电路集成柜，其特征在于：所述过滤组件包括固定安装于冷却箱（4）顶部的过滤壳（8），所述过滤壳（8）的内腔固定安装有过滤板（9），所述弯管（7）的一端与过滤壳（...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵海军，孟庆昌，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：