一种扩散炉多工位传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉多工位传送装置，解决了现有的扩散炉用石英舟传送设备对多个石英舟进行传送时，不便于调节相邻两个石英舟之间的距离，在实际使用时，存在一定局限性的问题，其包括固定座，所述固定座的一侧设有活动座，活动座和固定座通过驱动组件连接，活动座的一侧固定连接有第一石英舟放置座，第一石英舟放置座的两侧均设有第二石英舟放置座，第二石英舟放置座和活动座通过滑动单元连接，第二石英舟放置座靠近第一石英舟放置座的一侧开设有螺纹槽，第一石英舟放置座的一侧开设有通孔；可以调节两个第二石英舟放置座之间的距离，进而便于根据实际需求，调节若干个石英舟之间的距离。调节若干个石英舟之间的距离。调节若干个石英舟之间的距离。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉多工位传送装置


[0001]本技术属于扩散炉
，具体为一种扩散炉多工位传送装置。

技术介绍

[0002]在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成PN结。随着光伏行业的发展，人们一直在追求产能的提升。其中，石英舟是扩散时的常用工具。
[0003]石英舟是用于承载硅片的器具，常规的扩散炉，炉管为石英材质，现有的石英舟的结构，使硅片放置在石英舟上后，然后通过驱动组件使得石英舟移动至指定位置。
[0004]目前现有的扩散炉用石英舟传送设备对多个石英舟进行传送时，不便于调节相邻两个石英舟之间的距离，在实际使用时，存在一定的局限性。

技术实现思路

[0005]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种扩散炉多工位传送装置，有效的解决了上述
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现以上目的，本技术采用以下的技术方案：
[0007]一种扩散炉多工位传送装置，包括固定座，所述固定座的一侧设有活动座，活动座和固定座通过驱动组件连接，活动座的一侧固定连接有第一石英舟放置座，第一石英舟放置座的两侧均设有第二石英舟放置座，第二石英舟放置座和活动座通过滑动单元连接，第二石英舟放置座靠近第一石英舟放置座的一侧开设有螺纹槽，第一石英舟放置座的一侧开设有通孔，第一石英舟放置座的一侧设有双向丝杆，双向丝杆贯穿通孔，固定座上设有与双向丝杆相配合的第一轴承，第一石英舟放置座的底部开设有凹槽，凹槽的顶部内壁与通孔的内壁相连通，凹槽内设有按压板，第一石英舟放置座的下方设有活动板，按压板的底部固定连接有固定板，固定板贯穿活动板，活动板的顶部与按压板的底部通过压缩弹簧连接，活动板和第一石英舟放置座通过调节单元连接。
[0008]作为本技术所述的一种扩散炉多工位传送装置的一种优选实时方案，其中，所述驱动组件包括两个设置于活动座底部的固定块，固定块与活动座固定连接，固定座的一侧设有螺纹杆和固定柱，固定柱的一端与固定座的一侧固定连接，螺纹杆的一端与固定座的一侧通过第二轴承连接，螺纹杆和固定柱分别贯穿两个固定块，且螺纹杆与固定块的连接方式为螺纹连接。
[0009]作为本技术所述的一种扩散炉多工位传送装置的一种优选实时方案，其中，所述固定座的底部固定连接有电机座，电机座的一侧设有驱动电机，驱动电机的输出端设有第一齿轮，第一齿轮的一侧设有第二齿轮，螺纹杆贯穿第二齿轮，且螺纹杆与第二齿轮固定连接。
[0010]作为本技术所述的一种扩散炉多工位传送装置的一种优选实时方案，其中，所述调节单元包括两个设置于第一石英舟放置座底部的螺纹柱，螺纹柱与第一石英舟放置座固定连接，螺纹柱贯穿活动板，螺纹柱的外部套设有螺母，且螺母的顶部与活动板的底部
相接触。
[0011]作为本技术所述的一种扩散炉多工位传送装置的一种优选实时方案，其中，所述按压板上设有防滑垫，防滑垫与双向丝杆相接触。
[0012]作为本技术所述的一种扩散炉多工位传送装置的一种优选实时方案，其中，所述滑动单元包括两个开设于活动座一侧的滑槽，滑槽内设有滑块，滑块的一侧与第二石英舟放置座的一侧固定连接。
[0013]作为本技术所述的一种扩散炉多工位传送装置的一种优选实时方案，其中，所述固定板的底部固定连接有拉环，双向丝杆上固定连接有把手，双向丝杆的两端分别位于两个螺纹槽内。
[0014]本技术具有以下有益效果：
[0015]1、若干个石英舟分别放置于第一石英舟放置座和第二石英舟放置座上，通过滑槽和滑块的配合，使得第二石英舟放置座可以相对活动座平稳的移动，通过驱动双向丝杆转动，改变双向丝杆位于螺纹槽内的长度，可以调节两个第二石英舟放置座之间的距离，进而便于根据实际需求，调节若干个石英舟之间的距离，便于实际使用，防滑垫与双向丝杆相接触，且压缩弹簧处于压缩状态，进而通过压缩弹簧对按压板施加向上的力，对双向丝杆进行固定，减少双向丝杆因非人为因素转动的可能，通过驱动螺母转动，调节活动板和第一石英舟放置座之间的距离，进而调节压缩弹簧的形变长度，可以调节按压板按压双向丝杆的力度；
[0016]2、通过固定座、活动座和驱动组件的设计，通过驱动电机驱动第一齿轮转动，进而通过第一齿轮和第二齿轮的配合，使得螺纹杆转动，进而通过螺纹杆和固定块的配合，使得活动座相对固定座移动，进而使得第一石英舟放置座和第二石英舟放置座移动，通过把手的设计，便于驱动双向丝杆转动。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其它的附图。
[0018]图1为本技术整体结构示意图；
[0019]图2为本技术活动座的结构示意图；
[0020]图3为本技术第一石英舟放置座剖切的结构示意图；
[0021]图4为图1中A处的局部放大结构示意图；
[0022]图5为图2中B处的局部放大结构示意图。
[0023]图中：1、固定座；2、活动座；3、第一石英舟放置座；4、第二石英舟放置座；5、螺纹槽；6、双向丝杆；7、通孔；8、第一轴承；9、凹槽；10、按压板；11、活动板；12、固定板；13、压缩弹簧；14、螺纹杆；15、固定柱；16、固定块；17、第二轴承；18、电机座；19、驱动电机；20、第一齿轮；21、第二齿轮；22、螺纹柱；23、螺母；24、防滑垫；25、拉环；26、把手；27、滑槽；28、滑块。
[0024]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0027]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉多工位传送装置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)的一侧设有活动座(2)，活动座(2)和固定座(1)通过驱动组件连接，活动座(2)的一侧固定连接有第一石英舟放置座(3)，第一石英舟放置座(3)的两侧均设有第二石英舟放置座(4)，第二石英舟放置座(4)和活动座(2)通过滑动单元连接，第二石英舟放置座(4)靠近第一石英舟放置座(3)的一侧开设有螺纹槽(5)，第一石英舟放置座(3)的一侧开设有通孔(7)，第一石英舟放置座(3)的一侧设有双向丝杆(6)，双向丝杆(6)贯穿通孔(7)，固定座(1)上设有与双向丝杆(6)相配合的第一轴承(8)，第一石英舟放置座(3)的底部开设有凹槽(9)，凹槽(9)的顶部内壁与通孔(7)的内壁相连通，凹槽(9)内设有按压板(10)，第一石英舟放置座(3)的下方设有活动板(11)，按压板(10)的底部固定连接有固定板(12)，固定板(12)贯穿活动板(11)，活动板(11)的顶部与按压板(10)的底部通过压缩弹簧(13)连接，活动板(11)和第一石英舟放置座(3)通过调节单元连接。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉多工位传送装置，其特征在于：所述驱动组件包括两个设置于活动座(2)底部的固定块(16)，固定块(16)与活动座(2)固定连接，固定座(1)的一侧设有螺纹杆(14)和固定柱(15)，固定柱(15)的一端与固定座(1)的一侧固定连接，螺纹杆(14)的一端与固定座(1)的一侧通过第二轴承(17)连接，螺纹杆(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵海军，孟庆昌，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：