一种多通阀、管路结构及蚀刻机制造技术

本申请公开了一种多通阀、管路结构及蚀刻机，其中，多通阀包括第一通道；与第一通道导通的第二通道，第二通道上设置有第一阀门以及第二阀门；与第一通道导通的第三通道，第三通道上设置有第三阀门以及第四阀门；沿第二通道的延伸方向，第一阀门位于第二阀门与第一通道之间，沿第三通道的延伸方向，第三阀门位于第四阀门与第一通道之间。在本申请多通阀的多个通道中设置多个阀门，使得多个通道中不同温度的电子氟化液之间可以互不干扰，避免阀门因被两侧不同温度的电子氟化液影响而无法完全关闭，从而避免不同温度的电子氟化液互相混合。从而避免不同温度的电子氟化液互相混合。从而避免不同温度的电子氟化液互相混合。

A multi-way valve, pipeline structure and etching machine

【技术实现步骤摘要】
一种多通阀、管路结构及蚀刻机


[0001]本技术涉及蚀刻
，尤其是一种多通阀、管路结构及蚀刻机。

技术介绍

[0002]相关技术中，蚀刻机使用的是双通道制冷装置，两个通道中的控温液的温度不同，两个通道分别连接阀门的两端，最后合成一端接入静电吸盘 (Electrostatic Chuck，ESC)中，通过阀门控制制冷装置的两个通道的启闭，可以控制静电吸盘的温度。
[0003]使用双通道制冷装置控制静电吸盘的温度时，一个通道的阀门打开，而另一个通道的阀门处于关闭状态，阀门打开的通道中的控温液可以通入静电吸盘中，以调控静电吸盘的温度。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种多通阀、管路结构及蚀刻机，能够解决阀门因被两侧不同温度的控温液影响而无法完全关闭的问题。
[0005]本申请实施例，提供一种多通阀，包括：
[0006]第一通道；第二通道，与所述第一通道导通，所述第二通道上设置有第一阀门以及第二阀门；第三通道，与所述第一通道导通，所述第三通道上设置有第三阀门以及第四阀门。
[0007]其中，沿所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多通阀，其特征在于，包括：第一通道；第二通道，与所述第一通道导通，所述第二通道上设置有第一阀门以及第二阀门；第三通道，与所述第一通道导通，所述第三通道上设置有第三阀门以及第四阀门；其中，沿所述第二通道的延伸方向，所述第一阀门位于所述第二阀门与所述第一通道之间，沿所述第三通道的延伸方向，所述第三阀门位于所述第四阀门与所述第一通道之间。2.根据权利要求1所述的多通阀，其特征在于，所述第一阀门为逆止阀。3.根据权利要求1所述的多通阀，其特征在于，所述第三阀门为逆止阀。4.根据权利要求2或3所述的多通阀，其特征在于，所述第二阀门与所述第四阀门均为开关阀。5.一种管路结构，其特征在于，包括：第一管路，所述第一管路包括第一管道、第二管道、第三管道以及如权利要求1至4中任一项所述的多通阀；其中，所述第一管道的进口与所述第一通道的出口连通，所述第二管道的出口与所述第二通道的进口连通，所述第三管道的出口与所述第三通道的进口连通。6.根据权利要求5所述的管路结构，其特征在于，所述第一管道、第二管道以及所述第三管道均通过密封圈与所述多通阀密封连接。7.根据权利要求5所述的管路结构，其特征在于，所述管路结构还...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛昊，李福坤，王辅之，青义杰，周云龙，陈静，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：