一种多通阀、管路结构及蚀刻机制造技术

本申请公开了一种多通阀、管路结构及蚀刻机，其中，多通阀包括第一通道；与第一通道导通的第二通道，第二通道上设置有第一阀门以及第二阀门；与第一通道导通的第三通道，第三通道上设置有第三阀门以及第四阀门；沿第二通道的延伸方向，第一阀门位于第二阀门与第一通道之间，沿第三通道的延伸方向，第三阀门位于第四阀门与第一通道之间。在本申请多通阀的多个通道中设置多个阀门，使得多个通道中不同温度的电子氟化液之间可以互不干扰，避免阀门因被两侧不同温度的电子氟化液影响而无法完全关闭，从而避免不同温度的电子氟化液互相混合。从而避免不同温度的电子氟化液互相混合。从而避免不同温度的电子氟化液互相混合。

A multi-way valve, pipeline structure and etching machine

【技术实现步骤摘要】
一种多通阀、管路结构及蚀刻机


[0001]本技术涉及蚀刻
，尤其是一种多通阀、管路结构及蚀刻机。

技术介绍

[0002]相关技术中，蚀刻机使用的是双通道制冷装置，两个通道中的控温液的温度不同，两个通道分别连接阀门的两端，最后合成一端接入静电吸盘 (Electrostatic Chuck，ESC)中，通过阀门控制制冷装置的两个通道的启闭，可以控制静电吸盘的温度。
[0003]使用双通道制冷装置控制静电吸盘的温度时，一个通道的阀门打开，而另一个通道的阀门处于关闭状态，阀门打开的通道中的控温液可以通入静电吸盘中，以调控静电吸盘的温度。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种多通阀、管路结构及蚀刻机，能够解决阀门因被两侧不同温度的控温液影响而无法完全关闭的问题。
[0005]本申请实施例，提供一种多通阀，包括：
[0006]第一通道；第二通道，与所述第一通道导通，所述第二通道上设置有第一阀门以及第二阀门；第三通道，与所述第一通道导通，所述第三通道上设置有第三阀门以及第四阀门。
[0007]其中，沿所述第二通道的延伸方向，所述第一阀门位于所述第二阀门与所述第一通道之间，沿所述第三通道的延伸方向，所述第三阀门位于所述第四阀门与所述第一通道之间。
[0008]在本申请一些实施例中，所述第一阀门为逆止阀。
[0009]基于上述实施例，逆止阀又称为单向阀，所述第一阀门只允许控温液从所述第二通道向所述第一通道以及所述第三通道单方向流动，阻止控温液反方向流动，从而避免所述第一通道以及所述第三通道中的控温液流入所述第二通道中。
[0010]在本申请一些实施例中，所述第三阀门为逆止阀。
[0011]基于上述实施例，所述第三阀门只允许控温液从所述第三通道向所述第一通道单方向流动，阻止控温液反方向流动，从而避免所述第一通道以及所述第二通道中的控温液流入所述第三通道中。
[0012]在本申请一些实施例中，所述第二阀门与所述第四阀门均为开关阀。
[0013]基于上述实施例，所述第二阀门所述第二阀门可以控制第二通道的通断，所述第四阀门可以控制第三通道的通断。当所述第二阀门或所述第四阀门中的一个处于开启状态时，对应开启阀门的通道中的控温液可以向所述第一通道流动，此时，所述第二阀门或所述第四阀门中的另一个处于关闭状态。
[0014]本申请实施例还提供一种管路结构，包括第一管路，所述第一管路包括第一管道、第二管道、第三管道以及上述任一实施例中的多通阀。
[0015]其中，所述第一管道的进口与所述第一通道的出口连通，所述第二管道的出口与所述第二通道的进口连通，所述第三管道的出口与所述第三通道的进口连通。
[0016]在本申请一些实施例中所述第一管道、所述第二管道以及所述第三管道均通过密封圈与所述多通阀密封连接。
[0017]基于上述实施例，提高所述多通阀与所述第一管道、所述第二管道以及所述第三管道之间连接的密封性，防止管道中的控温液串流。
[0018]在本申请一些实施例中，所述管路结构还包括第二管路，所述第二管路包括第四管道、第五管道以及第六管道。
[0019]其中，所述第五管道与所述第四管道导通，所述第五管道上设置有第五阀门，所述第六管道与所述第四管道导通，所述第六管道上设置有第六阀门。
[0020]基于上述实施例，第二管路可以作为出液管路，不同温度的控温液可以分别通过第五管道和第六管道流出。第五阀门用于控制第五管道的启闭，第六阀门用于控制第六管道的启闭。
[0021]在本申请一些实施例中，所述第一管路为电子氟化液的进液管路，所述第二管路为电子氟化液的出液管路。
[0022]基于上述实施例，第一管路与第二管路均为独立设置，电子氟化液在两条管路中流动互不干扰。
[0023]在本申请一些实施例中，所述管路结构还包括第一导管，导通所述第二管道与所述第五管道，所述第一导管上设置有第七阀门；第二导管，导通所述第三管道与所述第六管道，所述第二导管上设置有第八阀门；所述第五管道包括第一出液口，所述第六管道包括第二出液口。
[0024]其中，沿所述第五管道的延伸方向，所述第一导管与所述第五管道的连通点位于所述第五阀门与所述第一出液口之间，沿所述第六管道的延伸方向，所述第二导管与所述第六管道的连通点位于所述第六阀门与所述第二出液口之间。
[0025]基于上述实施例，所述第二管道、所述第一导管以及所述第五管道连通形成自循环回路，所述第三管道、所述第二导管以及所述第六管道连通也形成自循环回路。
[0026]本申请实施例中还提供一种蚀刻机，包括制冷装置、静电吸盘以及上述任一实施例中的管路结构。
[0027]其中，所述第一管道的出口与所述静电吸盘连通，所述第二管道的进口与所述制冷装置连通，所述第三管道的进口与所述制冷装置连通。
[0028]本申请的有益效果为：
[0029]本申请在所述多通阀的进液通道中设置有逆止阀，逆止阀只允许电子氟化液单方向流动，而且阻止电子氟化液向反方向流动，从而使一条通道中电子氟化液不会流动到另一条通道中的开关阀的一侧，从而避免另一条通道中的开关阀因被两侧不同温度的电子氟化液损坏而无法完全关闭。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本申请一实施例中多通阀的剖面结构示意图；
[0032]图2为本申请一实施例中管路结构的整体结构示意图；
[0033]图3为本申请另一实施例中管路结构的结构示意图；
[0034]图4为本申请一实施例中蚀刻机的结构示意图。
[0035]附图标记：
[0036]1.多通阀；11.第一通道；12.第二通道；121.第一阀门；122.第二阀门； 13.第三通道；133.第三阀门；134.第四阀门；14.密封圈；2.管路结构；2a. 第一管路；21.第一管道；22第二管道；23.第三管道；2b.第二管路；24. 第四管道；25.第五管道；251.第一出液口；255.第五阀门；26.第六管道；262. 第二出液口；266.第六阀门；27.第一导管；277.第七阀门；28.第二导管；288. 第八阀门；31.制冷装置；32.静电吸盘。
具体实施方式
[0037]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图来进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0038]在相关技术中，蚀刻机可以使用双通道制冷装置，两个通道中的控温液的温度不同，两个通道分别连接阀门的两端，最后合成一端接入静电吸盘中，通过静电吸盘设定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多通阀，其特征在于，包括：第一通道；第二通道，与所述第一通道导通，所述第二通道上设置有第一阀门以及第二阀门；第三通道，与所述第一通道导通，所述第三通道上设置有第三阀门以及第四阀门；其中，沿所述第二通道的延伸方向，所述第一阀门位于所述第二阀门与所述第一通道之间，沿所述第三通道的延伸方向，所述第三阀门位于所述第四阀门与所述第一通道之间。2.根据权利要求1所述的多通阀，其特征在于，所述第一阀门为逆止阀。3.根据权利要求1所述的多通阀，其特征在于，所述第三阀门为逆止阀。4.根据权利要求2或3所述的多通阀，其特征在于，所述第二阀门与所述第四阀门均为开关阀。5.一种管路结构，其特征在于，包括：第一管路，所述第一管路包括第一管道、第二管道、第三管道以及如权利要求1至4中任一项所述的多通阀；其中，所述第一管道的进口与所述第一通道的出口连通，所述第二管道的出口与所述第二通道的进口连通，所述第三管道的出口与所述第三通道的进口连通。6.根据权利要求5所述的管路结构，其特征在于，所述第一管道、第二管道以及所述第三管道均通过密封圈与所述多通阀密封连接。7.根据权利要求5所述的管路结构，其特征在于，所述管路结构还...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛昊，李福坤，王辅之，青义杰，周云龙，陈静，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：