【技术实现步骤摘要】
一种探针针头表面处理工艺
[0001]本专利技术属于探针加工工艺
,具体涉及一种探针针头表面处理工艺。
技术介绍
[0002]随着电子产品的更新换代,消费类电子需求量明显增大,对电子产品的功能要求越来越高,现今电子测试探针品质要求同样要求提高,。
[0003]目前的在线测试设备中的探针很多达不到测试需求,主要因为探针针头加工方法没有更好的处理针头表面的光洁度,在测试过程中会有卡顿现象存在,同时在测试过程中有针头掉落现象,严重影响测试的高标准和测试探针频发更换的浪费。
技术实现思路
[0004]本专利技术的第一个目的是提供一种探针针头表面处理工艺,解决现有探针在测试过程中针头容易卡顿,容易发生掉落的问题。
[0005]为了达到上述目的,本专利技术所采用的技术方案是:具体按照以下步骤实施:
[0006]步骤1,对针头表面进行预处理;
[0007]步骤2,在步骤1得到的针头表面镀上纳米金刚石涂层;
[0008]步骤3,在步骤2得到的纳米金刚石涂层镀上镍涂层;
[ ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针针头表面处理工艺,其特征在于,具体按照以下步骤实施:步骤1,对针头表面进行预处理;步骤2,在步骤1得到的针头表面镀上纳米金刚石涂层;步骤3,在步骤2得到的纳米金刚石涂层镀上镍涂层;步骤4,在步骤3得到的镍涂层镀上金涂层。2.根据权利要求1所述的探针针头表面处理工艺,其特征在于,在所述步骤1中,预处理包含抛光处理。3.根据权利要求2所述的探针针头表面处理工艺,其特征在于,所述步骤2具体操作如下:步骤2.1:将针头经超声波清洗并烘干后放置于反应炉中,并抽真空,将真空度保持在4.0
×
10
‑
3Pa~5.0
×
10
‑
3Pa之间;步骤2.2:向反应炉中注入氩气,保持真空度在4.0
×
10
‑3Pa~4.5
×
10
‑3Pa之间,开启离子源,离子源工作电压为2200V~2400V,工作时间为50
±
10min,之后产生的氩离子对探针针头的表面进行轰击,将针头表面活化;步骤2.3:关闭氩气,在针头和反应炉之间加载负偏压,开启钛电弧源使针头表面沉积钛过渡层;步骤2.4:将氮气通入反应炉,并保持真空度的稳定真空度保持在1.1
×
...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁崇亮,井高飞,付盼红,
申请(专利权)人:渭南木王智能科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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