一种探针针头表面处理工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种探针针头表面处理工艺，具体按照以下步骤实施：步骤1，对针头表面进行预处理；步骤2，在步骤1得到的针头表面镀上纳米金刚石涂层；步骤3，在步骤2得到的纳米金刚石涂层镀上镍涂层；步骤4，在步骤3得到的镍涂层镀上金涂层。该探针针头表面处理工艺，解决了现有探针在测试过程中针头容易卡顿，容易发生掉落的问题。生掉落的问题。生掉落的问题。

A surface treatment process of probe tip

【技术实现步骤摘要】
一种探针针头表面处理工艺


[0001]本专利技术属于探针加工工艺
，具体涉及一种探针针头表面处理工艺。

技术介绍

[0002]随着电子产品的更新换代，消费类电子需求量明显增大，对电子产品的功能要求越来越高，现今电子测试探针品质要求同样要求提高，。
[0003]目前的在线测试设备中的探针很多达不到测试需求，主要因为探针针头加工方法没有更好的处理针头表面的光洁度，在测试过程中会有卡顿现象存在，同时在测试过程中有针头掉落现象，严重影响测试的高标准和测试探针频发更换的浪费。

技术实现思路

[0004]本专利技术的第一个目的是提供一种探针针头表面处理工艺，解决现有探针在测试过程中针头容易卡顿，容易发生掉落的问题。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：具体按照以下步骤实施：
[0006]步骤1，对针头表面进行预处理；
[0007]步骤2，在步骤1得到的针头表面镀上纳米金刚石涂层；
[0008]步骤3，在步骤2得到的纳米金刚石涂层镀上镍涂层；
[0009]步骤4，在步骤3得到的镍涂层镀上金涂层。
[0010]作为本专利技术的一种优选的技术方案，在所述步骤1中，预处理包含抛光处理。
[0011]作为本专利技术的一种优选的技术方案，所述步骤2具体操作如下：
[0012]步骤2.1：将针头经超声波清洗并烘干后放置于反应炉中，并抽真空，将真空度保持在4.0
×
10
‑
3Pa～5.0/>×
10
‑
3Pa之间；
[0013]步骤2.2：向反应炉中注入氩气，保持真空度在4.0
×
10
‑3Pa～4.5
×
10
‑3Pa之间，开启离子源，离子源工作电压为2200V～2400V，工作时间为50
±
10min，之后产生的氩离子对探针针头的表面进行轰击，将针头表面活化；
[0014]步骤2.3：关闭氩气，在针头和反应炉之间加载负偏压，开启钛电弧源使针头表面沉积钛过渡层；
[0015]步骤2.4：将氮气通入反应炉，并保持真空度的稳定真空度保持在1.1
×
10
‑2Pa～1.2
×
10
‑2Pa之间，使针头表面沉积氮化钛过渡层；
[0016]步骤2.5：开启以石墨为阴极电极的脉冲电弧放电，同时向反应炉内通入碳氢化合物气体，由脉冲放电形成的碳离子和碳的高能中性原子与碳氢化合物气体分子碰撞，生成新的碳离子飞向针头表面形成纳米金刚石涂层。
[0017]作为本专利技术的一种优选的技术方案，在所述步骤2中，纳米金刚石涂层的厚度为1μm～2μm。
[0018]作为本专利技术的一种优选的技术方案，所述步骤3具体如下进行：
[0019]步骤3.1：将步骤2得到的针头经超声波清洗并烘干后，放置于反应炉中，并抽真
空；
[0020]步骤3.2：开启镍基合金靶的电源，并充入氮气，采用射频或中频辉光放电，对针头进行等离子改性；
[0021]步骤3.3：使靶上蒸发出来的被蒸发物质和气体发生电离，在电场的加速作用下，使被蒸发的镍基合金涂与针头表面。
[0022]作为本专利技术的一种优选的技术方案，所述步骤4具体如下进行：
[0023]步骤4.1：将步骤2得到的针头经超声波清洗并烘干后，放置于反应炉中，并抽真空；
[0024]步骤4.2：开启金基合金靶的电源，并充入氮气，采用射频或中频辉光放电，对针头主体进行等离子改性；
[0025]步骤4.3：使靶上蒸发出来的被蒸发物质和气体发生电离，在电场的加速作用下，使被蒸发的金基合金涂与针头表面。
[0026]本专利技术的有益效果是：本专利技术的一种探针针头表面处理工艺，其原理是在针头表面依次镀上纳米金刚石涂层、镍涂层和金涂层，从而减小摩擦卡顿问、提高产品硬度、防止针头掉落以及提高产品热导率。
附图说明
[0027]此处说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0028]图1为本专利技术的一种探针针头表面处理工艺得到的针头的结构示意图。
[0029]图中：1.针头，2.纳米金刚石涂层，3.镍涂层，4.金涂层。
具体实施方式
[0030]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0031]在本专利技术的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0032]本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。
[0033]如图1所示，本专利技术的一种探针针头表面处理工艺，具体按照以下步骤实施：
[0034]步骤1，对针头1表面进行抛光处理；
[0035]步骤2，在步骤1得到的针头1表面镀上纳米金刚石涂层2，具体操作如下：
[0036]步骤2.1：将针头1经超声波清洗并烘干后放置于反应炉中，并抽真空，将真空度保持在4.0
×
10
‑
3Pa～5.0
×
10
‑
3Pa之间；
[0037]步骤2.2：向反应炉中注入氩气，保持真空度在4.0
×
10
‑3Pa～4.5
×
10
‑3Pa之间，开启离子源，离子源工作电压为2200V～2400V，工作时间为50
±
10min，之后产生的氩离子对
探针针头的表面进行轰击，将针头表面活化；
[0038]步骤2.3：关闭氩气，在针头1和反应炉之间加载负偏压，开启钛电弧源使针头1表面沉积钛过渡层；
[0039]步骤2.4：将氮气通入反应炉，并保持真空度的稳定真空度保持在1.1
×
10
‑2Pa～1.2
×
10
‑2Pa之间，使针头表面沉积氮化钛过渡层；
[0040]步骤2.5：开启以石墨为阴极电极的脉冲电弧放电，同时向反应炉内通入碳氢化合物气体，由脉冲放电形成的碳离子和碳的高能中性原子与碳氢化合物气体分子碰撞，生成新的碳离子飞向针头1表面形成纳米金刚石涂层2；
[0041]步骤3，在步骤2得到的纳米金刚石涂层2镀上镍涂层3；具体如下进行：
[0042]步骤3.1：将步骤2得到的针头1经超声波清洗并烘干后，放置于反应炉中，并抽真空；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针针头表面处理工艺，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，对针头表面进行预处理；步骤2，在步骤1得到的针头表面镀上纳米金刚石涂层；步骤3，在步骤2得到的纳米金刚石涂层镀上镍涂层；步骤4，在步骤3得到的镍涂层镀上金涂层。2.根据权利要求1所述的探针针头表面处理工艺，其特征在于，在所述步骤1中，预处理包含抛光处理。3.根据权利要求2所述的探针针头表面处理工艺，其特征在于，所述步骤2具体操作如下：步骤2.1：将针头经超声波清洗并烘干后放置于反应炉中，并抽真空，将真空度保持在4.0
×
10
‑
3Pa～5.0
×
10
‑
3Pa之间；步骤2.2：向反应炉中注入氩气，保持真空度在4.0
×
10
‑3Pa～4.5
×
10
‑3Pa之间，开启离子源，离子源工作电压为2200V～2400V，工作时间为50
±
10min，之后产生的氩离子对探针针头的表面进行轰击，将针头表面活化；步骤2.3：关闭氩气，在针头和反应炉之间加载负偏压，开启钛电弧源使针头表面沉积钛过渡层；步骤2.4：将氮气通入反应炉，并保持真空度的稳定真空度保持在1.1
×
...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁崇亮，井高飞，付盼红，
申请(专利权)人：渭南木王智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：