本实用新型专利技术公开了用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器、机架、腔体、承托面板、升降机构和多个密封支撑机构，腔体设于机架的顶部，升降机构设于机架上，密封支撑机构包括升降立柱和压缩波纹管，各升降立柱下端与升降机构的驱动端连接，升降立柱上端伸入腔体内，承托面板设于升降立柱的上端，平板式加热器位于承托面板上，压缩波纹管套在升降立柱外，其上端与腔体连接、下端与升降立柱或升降机构的驱动端连接。本实用新型专利技术承托面板为多点支撑、受力均匀解决了大面积重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题以及采用压缩波纹管实现升降立柱与腔体的密封，解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题。的真空密封问题。的真空密封问题。
【技术实现步骤摘要】
用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统
[0001]本技术涉及太阳能光伏领域，尤其涉及一种用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统。
技术介绍
[0002]在太阳能光伏领域当中，薄膜沉积是至关重要的工艺环节之一，其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜并成长的过程。薄膜沉积主要通过CVD(化学气相沉积设备)设备实现，薄膜沉积过程中，极板间的放电是影响薄膜成效的的重要工艺环节之一，极板间距是靠加热器的升降来调节的，现有升降方式主要的技术难点是升降位置的真空密封。其次是大面积重载荷的平板式加热器在升降过程中的平行平稳性。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种承托面板为多点支撑、受力均匀，确保平板式加热器在升降过程中的平行度和平稳性，解决了大面积重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题以及解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题，避免了特气泄漏，提高了设备的安全性的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器、机架、腔体、承托面板、多个密封支撑机构和用于驱动多个密封支撑机构升降的升降机构，所述腔体设于机架的顶部，所述升降机构设于机架上并位于腔体的下方，所述密封支撑机构包括升降立柱和压缩波纹管，各升降立柱下端均与升降机构的驱动端连接，所述升降立柱上端伸入腔体内，所述承托面板设于升降立柱的上端，所述平板式加热器设于腔体内并位于承托面板上，所述压缩波纹管套在升降立柱外，所述压缩波纹管的上端与腔体连接、下端与升降立柱或升降机构的驱动端连接。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进，所述压缩波纹管的上端设有上连接法兰、下端设有下连接法兰，所述上连接法兰与腔体连接，所述升降立柱的下端与下连接法兰连接。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构的驱动端设有升降连接法兰，所述下连接法兰与升降连接法兰连接。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构包括驱动电机和四个丝杠升降机，所述驱动电机通过换向器和传动轴分别与四个丝杠升降机连接，所述密封支撑机构的数量与丝杠升降机的数量对应。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构包括驱动电机和两个丝杠升降机，所述驱动电机通过换向器和传动轴分别与两个丝杠升降机连接，所述密封支撑机构的数量与丝杠升降机的数量对应。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进，所述升降机构包括两个驱动电机和四个丝杠升降机，每个驱动电机通过换向器和传动轴分别与两个丝杠升降机连接，所述密封支撑机构的数量与丝杠升降机的数量对应。
[0011]作为上述技术方案的进一步改进，所述平板式加热器升降系统还包括导向机构，所述导向机构包括上导向座、下导向座和导向轴，所述上导向座设于机架的顶部，下导向座设于机架的底部，所述导向轴的上端、下端分别与上导向座、下导向座连接，所述导向轴上套有直线轴承，所述直线轴承通过连接板与升降立柱连接。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进，所述平板式加热器升降系统还包括定位机构，所述定位机构包括感应片和与感应片配对的位置感应开关，所述感应片安装在升降立柱上，所述位置感应开关设于机架上。
[0013]作为上述技术方案的进一步改进，所述机架包括顶板、底板和连接顶板与底板的侧板，所述底板的下端设有加强纵筋和加强横筋，所述腔体设于顶板上，所述升降机构设于底板上。
[0014]作为上述技术方案的进一步改进，所述承托面板与升降立柱之间设有陶瓷垫块。
[0015]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0016](1)本技术的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，采用了多个密封支撑机构，承托面板为多点支撑，使承托面板受力均匀，从而平板式加热器的升降为多点支撑，确保其在升降过程中的平行度和平稳性，解决CVD设备大面积，重载荷平板式加热器在真空环境下的平行、平稳升降问题；同时，通过密封支撑机构实现升降机构与平板式加热器的密封连接，采用压缩波纹管实现升降立柱与腔体的密封，压缩波纹管内部处于真空环境，外部处于大气环境，波纹管寿命达到百万次，拥有优秀的真空密封隔离效果，解决了平板式加热器的升降位置的真空密封问题，避免了特气泄漏，提高了设备的安全性。
[0017](2)本技术的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，采用单电机控制四联动升降机同升同降驱动的方式，使承托面板受力均匀，确保其在升降过程中的平行度和平稳性，同时只需要一个驱动电机，大大降低了成本。此外，采用伺服电机与滚珠丝杆升降机的驱动方式，提高了设备的运动精度。
[0018](3)本技术的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，设置感应片和与感应片配对的位置感应开关，进而判断升降是否到达设定位置，从而将平板式加热器控制在设定的位置上，提高了设备的定位精准度，确保升降系统每次升降前后都能自动初始化复位，调整间距，消除误差。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例1的平板式加热器升降系统的结构示意图。
[0020]图2是本技术实施例1的升降机构的结构示意图。
[0021]图3是本技术实施例2的升降机构的结构示意图。
[0022]图4是本技术实施例3的升降机构的结构示意图。
[0023]图中各标号表示：
[0024]1、平板式加热器；2、机架；21、顶板；22、底板；23、侧板；24、加强纵筋；25、加强横筋；3、腔体；4、承托面板；41、陶瓷垫块；5、密封支撑机构；51、升降立柱；52、压缩波纹管；53、
上连接法兰；54、下连接法兰；6、升降机构；601、升降连接法兰；61、驱动电机；62、丝杠升降机；63、换向器；64、传动轴；65、垫板；66、减速机；7、导向机构；71、上导向座；72、下导向座；73、导向轴；74、直线轴承；75、连接板；8、定位机构；81、感应片；82、位置感应开关；83、支杆；84、安装面板。
具体实施方式
[0025]以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。
[0026]实施例1
[0027]如图1和图2所示，本实施例的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器1、机架2、腔体3、承托面板4、多个密封支撑机构5和用于驱动多个密封支撑机构5升降的升降机构6。腔体3设于机架2的顶部，升降机构6设于机架2上并位于腔体3的下方，密封支撑机构5包括升降立柱51和压缩波纹管52，各升降立柱51下端均与升降机构6的驱动端连接，升降立柱51上端伸入腔体3内，承托面板4设于升降立柱51的上端，平板式加热器1设于腔体3内并位于承托面板4上，压缩波纹管52本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，其特征在于：包括平板式加热器(1)、机架(2)、腔体(3)、承托面板(4)、多个密封支撑机构(5)和用于驱动多个密封支撑机构(5)升降的升降机构(6)，所述腔体(3)设于机架(2)的顶部，所述升降机构(6)设于机架(2)上并位于腔体(3)的下方，所述密封支撑机构(5)包括升降立柱(51)和压缩波纹管(52)，各升降立柱(51)下端均与升降机构(6)的驱动端连接，所述升降立柱(51)上端伸入腔体(3)内，所述承托面板(4)设于升降立柱(51)的上端，所述平板式加热器(1)设于腔体(3)内并位于承托面板(4)上，所述压缩波纹管(52)套在升降立柱(51)外，所述压缩波纹管(52)的上端与腔体(3)连接、下端与升降立柱(51)或升降机构(6)的驱动端连接。2.根据权利要求1所述的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，其特征在于：所述压缩波纹管(52)的上端设有上连接法兰(53)、下端设有下连接法兰(54)，所述上连接法兰(53)与腔体(3)连接，所述升降立柱(51)的下端与下连接法兰(54)连接。3.根据权利要求2所述的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，其特征在于：所述升降机构(6)的驱动端设有升降连接法兰(601)，所述下连接法兰(54)与升降连接法兰(601)连接。4.根据权利要求1至3任意一项所述的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，其特征在于：所述升降机构(6)包括驱动电机(61)和四个丝杠升降机(62)，所述驱动电机(61)通过换向器(63)和传动轴(64)分别与四个丝杠升降机(62)连接，所述密封支撑机构(5)的数量与丝杠升降机(62)的数量对应。5.根据权利要求1至3任意一项所述的用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，其特征在于：所述升降机构(6)包括驱动电机(61)和两个丝杠升降机(62)，所述驱动电机(61)通过换向器(63)和传动轴(64)分别与两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：张单辉，杨彬，李斯，罗彩文，陈臻阳，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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