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本实用新型公开了用于CVD设备的大面积重载荷平板式加热器升降系统，包括平板式加热器、机架、腔体、承托面板、升降机构和多个密封支撑机构，腔体设于机架的顶部，升降机构设于机架上，密封支撑机构包括升降立柱和压缩波纹管，各升降立柱下端与升降机构的驱...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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